PSS蓝宝石图形化衬底.doc

PSS蓝宝石图形化衬底rat404na 发表于: 2010-4-23 14:08 来源: 半导体技术天地 国内的尖端水平是不是就士兰明芯和上海蓝光啊，中镓半导体什么来头？还请高人指教？做PSS的还有没有其他的公司和科研单位？ 猫子掉毛 at 2010-4-26 16:09:40 蓝光PSS技术很强吗？rat404na at 2010-4-27 11:53:22 目前国内做PSS的就士兰明芯声称量产了吧，蓝光在研发阶段，具体不详。HP-led at 2010-5-02 10:53:13 现在流行的是采用韩国专利的PSS，大陆很多公司都可以做了。exculiburguo at 2010-5-02 11:22:12 请问前辈量产的是湿法PSS还是干法PSS？wusiyifeng at 2010-5-02 16:33:54 士蓝和三安的PSS都是瞎扯 其实都是买台湾人的PSS 自己在长一些低端的外延 什么时候牛皮吹破了 害死的还是我们这些散户alfred5000 at 2010-5-05 15:21:02 做干法刻蚀蓝宝石，什么厂家的设备比较好？rat404na at 2010-5-05 17:54:28 弄来弄去换汤不换药啊，国内有没有一家PSS做的比较靠谱儿的kyohung at 2010-5-07 17:01:43 建議各位可以考慮跟台灣這邊的合晶、中美晶進行2 PSS wafer的採買至於PSS 乾式會用到的ICP-ETCHER，或是濕式會用到的PECVD各位可以跟我聯繫我們的機台比國外大廠便宜很多但是效能卻絲毫不差連合晶和中美晶都是我們的客戶當然機台最重要的就是入廠時跟著進去的AE我可以私底下推薦兩位我們公司最優秀的AE進入各位廠內替大家服務我的email：easymiss at 2010-5-19 15:50:39 真正在做的多的都闷着乐，做的自己在用，呵呵eface at 2010-6-14 11:34:58 中镓半导体的PSS技术是引进韩国的，亮度可以提升30%左右，且现在已经量产了。wdbjbs at 2010-6-14 20:45:56 中镓和蓝光都和北京大学有关系，做的相当不错，现在基本上主要都是干法yunfeng1009 at 2010-6-16 19:42:26 这年头什么都涨价啊，动不动就是先上涨50%，狂晕曲子 at 2010-10-19 16:07:25 中镓PSS产品质量好,目前已在量产中,本人是在里面从事PSS的,有需要可以联系.kevinliu657 at 2010-10-21 16:31:23 曲子 是中镓的工程师，那一定认识我们公司的Luis了，PSS刻蚀设备就是他装的。uranusgbl at 2010-10-21 23:31:18 PSS量产基本是不什么难事.有台ICP就能做的东西。haha855 at 2010-10-29 18:33:28 三安的是用WBPSS,早已经量产很久了。happy99 at 2010-10-30 19:12:39 蓝宝石衬底加工QQ群：63146598蓝宝石衬底长晶、掏棒、滚磨、切片、倒角、研磨、抛光、清洗、检测、PSS、外延等技术交流，欢迎大家参与！jinxing929 at 2011-2-15 15:15:39 做干法PSS刻蚀, 韩国TOP工程公司(原美国BMR)的ICP Etcher可以满足要求,如有需要请联系 金先生相对于普通蓝宝石衬底，在PSS衬底上生长氮化镓外延层可以减少外延缺陷，外延层晶体质量明显提高。另外，蓝宝石的折射率为1.8，氮化镓的折射率为2.4，由于折射率的差异，当光从外延层进入图形衬底时，会形成反射，从而改善GaN基发光二极管出光率。基于PSS衬底的外延材料制成的LED器件参数表明，其20mA下光功率水平相比普通蓝宝石衬底制作的器件光功率增加约30，因此采用PSS衬底是提高氮化镓基发光二极管出光效率的一种有效方法。通常PSS衬底的主要制作方法如下：在蓝宝石衬底上制作图形化的掩膜，通常采用的是SiO2或金属掩膜；刻蚀蓝宝石；去掉掩膜，得到图形化的蓝宝石衬底。尽管目前这种方法已经进入大规模批量生产阶段，但是相关的研究工作还在进行，主要集中在图形形貌优化，提高刻蚀工艺的重复性、一致性以及降低生产成本等方面。由于制作工艺存在一定难度，目前PSS衬底价格比普通蓝宝石衬底上价格高，主要是因为蓝宝石衬底比较坚硬，无论是干法刻蚀还是湿法腐蚀，整片图形做好一致性、均匀性都有一定难度，制作过程对设备和工艺要求很高，这是导致PSS衬底价格偏高的一个主要因素。杭州士兰明芯科技有限公司的技术团队，走不同的技术路线，立足于公司现有条件，实现蓝宝石衬底图形化，进入规模生产阶段，其性能到达目前市售的国外同类产品水品，但制作成本更低。除满足本公司使用外，还可对外销售。5# 发表于 2010-3-24 11:58:21 |只看该作者 | 我是做芯片的，对PSS不是很了解，所以想知道PSS的一些相关知识和那些厂家在做。% j2 s% |. w2 E0 目前各家好像用的都是干蚀刻，目前正在向湿式蚀刻方向发展。7 f1 a2 J L! u / H干蚀刻是用SiO2做阻挡进行蚀刻，湿蚀刻应该是用PR做阻挡吧。上海微高精密机械工程有限公司由中国电子科技集团公司第45研究所与上海微电子装备有限公司于2003年在上海成立的合资公司。公司以中电集团第45研究所第一研究室技术团队为基础组建。45所第一研究室从“六五”起一直从事光刻机的研制开发工作，先后完成我国“六五”、“八五”、“九五”期间的1.5微米、0.8微米、0.5微米光刻机的研制任务，承担并完成了国家、部委各项光刻机相关的研制开发任务，为我国军用集成电路装备的研制做出了重要贡献。公司主营业务为光刻机关键核心分系统研制开发，二手半导体设备翻新、再造、技术服务、备品备件销售。公司主要承担“十五”863重大专项“100nm光刻机”中的“工件台掩模台系统、掩模硅片自动对准系统、掩模硅片自动传输与预对准系统”等六个核心分系统的研制开发；“十一五”起，继续承担国家02重大专项中“90nm光刻机”上述六个核心分系统的研制开发任务。在二手半导体设备业务方面，专注于光刻机和轨道系统的翻新改造与技术服务，累计翻新Nikon光刻机超过100台，数台轨道系统，用户有主流大厂，中电集团