蔡司场发射扫描电镜操作培训课件.ppt

蔡司场发射扫描电镜操作培训 微纳科学技术研究院 ZeissUltra55场发射扫描电镜 SEM SEM的特点 表 界 面形貌分析 分辨率高 可达纳米级 放大倍数连续调节范围大 十几倍 几十万倍 连续可调 使用非常方便 三维立体效果好 扫描电镜图像景深大 样品制备简单 导电样品只要尺寸大小适于样品台安装 可以直接观察 非导电样品通过表面镀导电膜层处理即可 综合分析能力强 可安装多种附件 分别检测不同的信号 可以分析成分 含量及分布 如能谱仪 EDS 操作方便 快捷 安全规则 设备的电源一定要确保持续和稳定 当设备出现短路 起火等重大紧急故障时 切断设备电源和UPS电源 电源开关见下图红圈 安全规则 当样品台移动的时候 一定要在TV模式下 确保其不会碰撞到探头 尤其是在样品台上升的过程中 要求WD 8mm 安全规则 平时观测时 注意不要碰到左边的操纵杆 以免样品高度和倾斜度发生变化 损坏镜头和探测器 安全规则 开关仓门时必须轻拉轻推 避免撞击 震动极易损坏探测器 安全规则 样品一定要粘牢在样品台上 样品高度应基本一致 样品表面平整 样品大小不得超出大样品台边缘 3英寸硅片一次只能放入一片 高度不得超过30mm 重量不得超过500g 安全规则 不允许放入 液体 有机 生物 不耐热 熔融蒸发 松动粉末或碎屑等有挥发物样品 电镜镜筒最怕污染 无VP模式 凡是不导电样品必须镀导电膜 安全规则 样品台一定要卡紧在样品室基座上 左右不得晃动 样品台的安装 请注意图片上箭头方向 样品台背面 卡槽 安全规则 样品观测结束后 一律将高压关掉 EHTOFF 否则会影响灯丝寿命 如需要回收样品 则取出样品后必须抽真空 否则会增加抽真空的时间和难度 关上氮气瓶阀门 把重新设定的参数改回 安全规则 数据刻录一定要用实验室提供的光盘专门在此机器上刻录 禁止使用在其它机器上刻录过的光盘 禁止使用U盘和移动硬盘 安全规则 设备的电源一定要保持持续和稳定 无需开关硬件电源 每次实验后只需关闭电脑显示器电源 注意事项 制样过程中 手不能直接接触小样品架及样品台 防止手上的油脂等杂质污染真空系统 要戴手套 需要倾斜样品时 需经电镜管理老师同意 不得自行倾斜样品 放置电镜的台子不能放置其它物体 不能将身体靠在台子上 电镜室温度范围 21 4 C 湿度 65 使用者不得更改计算机内之任何设定或私自加载任何软件 不得将样品台 小样品架等电镜室内的物品携出SEM实验室 样品台须放在干净的培养皿中操作 不能直接放在桌子上或其它不洁净物体上面 用完后 样品台放入培养皿中盖好 测试时须换鞋 不得携带任何食物入内 测试完后打扫卫生 保持扫描电镜室干净整洁 测试完后必须进行登记 电镜室隔间 隔间放有高纯氮气钢瓶 水循环机 UPS电源 干泵 空气压缩机 由于隔间内无空调 水循环机给机器降温散热量很大 所以隔间门要打开 不得关闭 尤其在夏天 否则水循环机负荷太大会损坏 操作软件简介说明 Smart软件的启动双击桌面上的快捷键或者在开始菜单中选择STARTPROGRAMS SMARTSEM SMARTSEMUSERINTERFACE 操作软件简介 软件启动后 自动对设备的硬件进行检测 当设备出现硬件问题时 软件将自动出现提示 操作软件简介 自检完毕后 在EMserverlogon对话框中输入用户名和密码 进入SmartSem软件 操作软件简介 软件简介 SEMControl面板 启动快捷键Ctrl g 操作软件简介 点击此处 可以选择灯丝的开关和高压的开关 严禁擅自更改FilI和ExtractorV处的数值 如需更改 请先取得服务工程师的同意 双击或者拉动滑块可以改变不同的EHT SEMControl Gun界面 操作软件简介 SEMcontrol Detector面板 选择不同的探头 选择SE2探头收集极电压值 选择两种不同探头的信号进行混合 混合信号时 两个探头的信号比例 调节图像的亮度 调节图像对比度 操作软件简介 SEMControl Aperture面板 选择不同的尺寸的光阑 激活此处 可进行光阑对中 光阑对中 灯丝对中 像散校准 电子束移动 高电流模式 观察六孔光阑的位置和形状 操作软件简介 SEMControl Scan面板 选择图像存储的分辨率 扫描速度 图像的冻结是以手动形式还是扫完整幅图片后 积分次数或者是平均次数 图像噪音去除的六种方式选择 帧平均 帧积分 线平均 线积分 像素平均 连续平均 操作软件简介 SEMControl Stage界面 样品台目前所在的位置 双击数据区 输入你想要去的位置 输入后 样品台移动到你输入的位置 点击功能块 输入你要移动的距离 例如 现在样品台X Y的位置在64 125 64 485你想让X和Y方向各移动2mm 你可在XY激活后输入2 2后点击OK即可 激活此处 样品台泄真空时 Z方向自动下降到最低点 激活此处 样品的上升时 SEM的工作距离自动进行更改 激活此处 样品台控制器失效 操作软件简介 SEMControl Vacuum界面 点击Pump 样品室开始抽真空 点击Vent 泄掉样品室内的真空 激活此处 当机器在Standby状态时 真空泵停止工作 操作软件简介 快捷键 详细说明见下 操作软件简介 操作软件简介 操作软件简介 操作软件简介 数据区 显示电镜当前的一些参数 控制真空 灯丝开关 EHT的开关 当Gun或者EHT出现绿勾时 代表正在工作 Vac出现绿勾时 代表真空已经达到工作要求 2020 1 30 33 可编辑 操作软件简介 显示鼠标左键和中键当前的功能 操作软件简介 基本介绍 操作软件简介 导出保存设定 保存设定 预览或更改保存设定 导入注解 保存设定管理 保存注解 操作软件简介 点击DisplayLUT 可以对图片的明亮对比度 三元色进行修改 跳出对话框 操作软件简介 双击或者Ctrl A 跳出注解对话框 操作软件简介 选择注解对象 选择鼠标控制 撤销上次更改 导入注解 保存注解 删除所有注解 导出区域选择 加入文字注解 导出参数 插入用户bmp格式图片 圆型注解区 长方形注解区 注解区直线 粘帖面板 放大区域 微标尺 固定长度标尺 点对点距离测量 角度测量 正四边形测量 圆测量 左右宽测量 上下宽测量 可移动左右宽测量 可移动上下宽测量 操作软件简介 激活对话框后调出状态栏 激活对话框后调出用户工具栏 操作软件简介 数据区控制 激活后 屏幕上显示米字准线 操作软件简介 常见问题 当使用AsB探头时 如果看不见影像 请先检查一下左图的设置是否在 high 然后检查工作距离 EHT是否过低 光阑尺寸是否过小 操作软件简介 样品台进行初始化 常见问题 当水冷机出现不正常工作后 重新启动水冷机并使之正常工作 有时会发生样品台不能动 重新启动电镜 EMServer提示样品台没有初始化 这时需要初始化样品台 操作软件简介 连续中心点 激活此功能后 屏幕上出现一个十字座标 拖动十字座标到感兴趣点 点击鼠标左键 感兴趣点将自动移到屏幕中心 操作软件简介 样品台导航器 显示样品座的位置和一些参数 请注意 这只代表样品座的位置 不是样品的位置 操作电镜的基本流程 将样品放入样品室 抽真空 抽真空时手推紧一下仓门 真空度达到5 00e 005mbar以下时 可打开设定的高压 取像 移动样品台 使样品在物镜正下方 调节样品和物镜之间的工作距离 选择需要的光阑和探头 放大倍率到最小 使用鼠标聚焦 调节光阑对中和像散 提高放大倍数 再聚焦 调节光阑对中和像散 如此类推 至需要的放大倍数 用去除噪音的模式 取得高质量的图片保存到指定的硬盘目录中 关闭高压 泄真空 取出样品 操作电镜的基本流程 样品台控制器 当1号操纵杆上下移动 控制样品台上下移动 当1号操纵杆左右移动 控制样品台左右倾斜 当2号操纵杆上下左右移动 控制样品台前后左右移动 当旋拧2号操纵杆 控制样品台顺时或逆时旋转 操作电镜的基本流程 图片保存 当图片冻结后 鼠标移动到图片上 点击鼠标右键后 选择Sendto 然后选择需要保存图片的格式 操作电镜的基本流程 选中需要保存的图片格式后 跳出左边的对话框 选择你要保存的目录 输入要保存图片的名字 保存图片 操作电镜的基本流程 调出图片 请注意只有TIFF格式的图片才能SmartSem软件中调出 鼠标移动到屏幕中央 点击鼠标右键 点击ImportTiff 操作电镜的基本流程 点击ImportTIFF后 跳出以下对话框 选择要调入图片的文件夹 选择要调入的图片 实验举例 观察银纳米结构材料的表面形貌SEM的各项功能演示 银纳米结构材料制样 Ag微球水溶液 将Ag微球水溶液超声处理2分钟 银纳米结构材料制样 用移液枪取10ul分散均匀的Ag微球涂在清洁的硅片表面 放在红外灯下烘干 银纳米结构材料制样 用导电胶把样品固定在样品台上 放入SEM腔室观测 不同放大倍数下Ag微球表面形貌 5KV 10k Inlens探测器 5KV 25k Inlens探测器 不同放大倍数下Ag微球表面形貌 5KV 40k Inlens探测器 5KV 10