ESD静电接地标准 (2).doc

文件名称:ESD静电接地标准版本文件编号:TCSS8E-QP-08-19页 码:第 10 页 共 10页A/0ESD静电接地标准版本变 更 履 历编制发行日期 1. 适用范围本标准场所适用于于公司内部静电防护工程的设计、使用、管理、维护和检测。2. 目的本标准制定了静电产生及静电放电控制的程序和最基本需求，以有效控制静电的产生和泄放，从而提高产品的成品率、质量和可靠性。这些程序和需求适用于所有涉及静电敏感器件、组件或产品的生产、组装、测试、维修、包装和存储等所有环节。 3. 职责2.1工程部（兼）2.1.1 负责工作区域内防静电设施的规划和安装2.1.2 ESD异常处理。2.2质量部2.2.1 负责对防静电设施进行验收，定期的ESD专项测试（如接地检测等）。2.2.2 负责制作防静电培训教材，员工防静电知识提高培训。2.2.3 防静电器材等标识日常检验和维护。2.3人事部2.3.1 新入员工防静电知识基本培训。4. 相关文件电子行业标准 SJ/T 10694-1996 电子产品制造防静电系统测试方法 国家军用标准 GJB 3007-97 防静电工作区技术要求5. 术语5.1接地：电气连接到能供给或接受大量电荷的物体(如大地、舰船戒运载工具外壳等)。其分为软接地和硬接地。5.1.1 硬接地：直接与大地电极导电性连接的一种接地方式、5.1.2 软接地：通过一足够限制流过人体的电流达到安全值的电阻连接到大地电极的一种接地方式（电阻值一般为1M欧姆）。5.2 接地电极：埋于地下与大地保持良好的电气连接的金属体或金属体组。它可以是杆状的、板状的或网状的，为接地系统提供接大地的基准点。5.3导电材料：其表面电阻率小于1105/或体积电阻率小于1104cm。为效果一般的防静电材料。5.4绝缘材料：其表面电阻率大于或等于11012/以上；或体积电阻率大于或等于11111cm.以上。5.5 防静电工作区：配备各种防静电设备和器材、能限制静电电位、能对静电进行有效泻放，具有确定的边界和专门标记，适用于从事静电防护操作的场所。6. 防静电接地设施6.1专用防静电地线防静电专用接地设施装置包括接地电极、接地主干线、接地支干线。接地电极即为接触大地的电极棒，其对地电阻要求为4欧姆以下。接地主干线横跨各EPA工作区，一般使用厚度为3mm、宽度为25mm的紫铜皮或截面积不小于100 mm2铜皮，接地干线的连接方式必须为钎焊。接地支干线指横跨整个线体，其一端与主干线连接，而另一端与防静电工作台接地线连接的方式，接地支干线采用铜芯截面积应不小于4 mm2的多股敷塑导线，接地线颜色以黄绿色线为宜。无论何种防静电地线其与防静电地极之间阻值小于4欧姆。专用防静电地线使用过程中，尽可能不与三相五线制地线短接。6.2三相五线制的地线如使用三相五线制供电，其大地线也可以作为防静电地线（但零线、地线不得连接）使用。6.3人员人体防护装置包括工作服、工鞋、手腕、手套等接地方式：工作服装、工鞋、手套等通过腕带或地板进行软接地。6.4防静电器材器材静电防护装置包括地板、静电安全工作台、周转容器（包括印制板架、周转箱、防静电泡沫、元件盒、包装袋等）等。6.5 地板/地垫系统由防静电地坪或防静电地垫和地坪导电网组成，其接地口应设接地标识。接地方式：如为静电耗散型地板，其防静电导电网通过接口与地线直接接地。接地/等电位相连接系统应被使用，以保证静电放电敏感物件、人员和所有其它导电体(如移动设备），处在同样的电位。任何一个实施方案，可从表格1中选择。技术要求实施方案测试方法强制限定接地/等电位相连接系统设备接地导体ANSI/ESD S6.11.0欧姆阻抗辅助接地ANSI/ESD S6.125欧姆到设备接地导体等电位相连接ANSI/ESD S6.11.0x109 欧姆1表格1 ：接地及等电位连接之要求6.6静电安全工作台6.6.1静电安全工作台是防静电工作区的基本组成部份，它由工作台、防静电桌垫、腕带和接大地线等组成。防静电工作台表面由静电耗散材料构成，防静电工作台上应不少于两个腕带接头，供操作人员、供技术人员、检验人员或其它人员使用。静电安全工作台上不允许堆放塑料盒（片）、橡皮、透明胶、玻璃等易产生静电的杂物，图纸资料等应装入防静电文件袋内。6.6.2安装要求6.6.2.1防静电台垫的尺寸应符合工作台面的大小。6.6.2.2防静电台垫必须正面（即防静电面，绿色和灰色）朝上、背面（即导电面，黑色）朝下铺设。6.6.2.3防静电台垫通过防静电线缆进行软接地到防静电支干地线上。每块台垫一般情况下接一根防静电线缆，如防静电胶垫过长，需要每3米另接一根。6.6.2.4各个防静电工作台的接地线不能相互串接，应以并联方式与接地支干线连接。6.6.2.5接地方式：防静电工作台上的胶垫必须通过防静电腕带进行软接地。6.7周转容器周转容器指在防静电区域内暂时周转的容器，主要包括周转箱、印制板架、元器件存放盒、防静电泡棉等。防静电泡沫可以无防静电标识。接地方式：防静电容器一般情况下不要求直接接地而要求间接接地，比如通过其它防静电材料（防静电地板、防静电胶垫等）间接接地。6.8包装材料包装材料包括直接包装材料、间接包装材料、外包装材料。直接包装材料指直接与产品接触的包装袋，如防静电屏蔽袋；间接包装材料指产品其它防护包装，如单板的防震袋等；外包装材料指产品运输、周转包装，如纸箱等。6.9设备/仪器/工具6.9.1设备/仪器/工具（电源工具类）6.9.1.1三相设备如SMT、波峰焊机、插件流水线等，设备金属本体与三相五线制地线硬接地连接，该类设备金属外壳无需外加接防静电地线。6.9.1.2使用单相电源的设备、仪器和工具必须选用三芯电源插座和三芯电源插头，并确保其金属体与插座内的地线可靠连接，以使设备的金属外壳能够自动接保护地。为防止假接地，要求金属外壳需再加接设备地线起双重保护，即电烙铁、电批等应加强接地。6.9.1.3设备上的台面根据实际需要可以铺设防静电台垫并进行软接地，但是台垫的铺设不得影响设备的正常运行或带来其他危害。接地方式：设备上的导体部件采用硬接地。6.9.2工装/工具（非电源工具类）6.9.2.1材料使用原则：工装、工具（非电源类）结构应使用导体材料和防静电材料进行设计，不应使用容易产生静电的普通塑料材料，在工程中常用的橡胶、塑料、化纤、有机玻璃等高分子材料都属工装慎用材料，有防静电要求时必须对这些材料进行防静电处理或用防静电材料取代，并保证这些部件具有接地通路。6.9.2.2金属类工装/工具接地方式：a.如果工装、工具接触到静电敏感器件部分，优先采用间接软接地（即通过胶皮间接接地），其次采用直接硬接地（即工装直接接地）6.9.2.3 如果工装、工具未接触到静电敏感器件部分，优先采用直接硬接地（即工装直接接地）6.9.2.4非金属类工装/工具接地方式：a.装备上的静电耗散材料应具有软接地通路，即可通过胶皮等进行软接地。7. 防静电区人员防静电规范7.1各类人员的防静知识培训要求及职责有可能进入静电敏感区域的人员或有可能接触静电敏感器件的人员都应接受防静电知识培训，这既是对每位员工的基本要求，也是减少静电危害的根本方法和途径之一。7.1.1所有新员工在接受入厂培训时，必须接受ESD知识的培训。培训结束后，由管理部组织ESD的考试，合格者才能上岗。7.1.2所有在职人员必须每年接受不少于2小时的ESD知识再培训。培训内容包括介绍ESD的新技术，新规范等。7.1.3在静电敏感区域内工作的生产人员及与静电敏感器件有直接或间接接触(包括静电感应)的作业人员，必须接受ESD基本知识和防静电工艺规程操作要求的培训，作为上岗考核的必考内容之一。考核不合格者不得安排在有防静电要求的岗位工作。上岗考核的有效期为一年，一年后必须进行重新培训考核。7.1.4工艺人员必须接受并通过ESD较为专业知识培训，掌握电子工业产品的防静电工艺技术，在生产过程中指导生产作业人员落实防静电措施，并对他们进行静电防护日常教育。7.1.5品质控制管理人员必须接受并通过ESD较为专业知识培训，熟悉各类ESSD的静电敏感性能及其防护知识，监督防静电工艺规程的贯彻执行，评估防静电工程实施效果。7.1.6采购部人员必须接受ESD基本知识培训，熟悉ESSD的品种、型号、标志方法和静电防护常识，严格遵守物料或产品在采购和运输过程中静电防护的规范。7.1.7仓储，转运人员必须接受ESD基本知识培训，懂得在储存和转运过程中防护ESSD静电器件及相关的存放操作要求。7.1.8检验和试验人员(包括外购件入厂检验试验和产品检验人员)必须接受较为ESD专业知识培训，熟练掌握ESSD的检测知识和防静电器件的检测方法，严格按设计技术文件要求和工艺规程进行检验和试验。7.1.9负责防静电接地和布生产线的人员，应接受较为专业的ESD知识培训，熟悉防静电接地系统要求，掌握地桩、地线、及其它防静电设施的敷设或安装。7.1.10生产管理人员应了解ESD基本知识，严格按静电敏感器件的设计文件要求和工艺规程组织生产，并开展对生产员工的静电防护日常教育。7.1.11计量检定人员也应了解ESD基本知识，尤其是关于防静电仪器的校验知识，要定期调校防静电检测器材，保证其安全、有效。7.1.12由于工种变化或者转到新的部门，如从非EPA转移到EPA，从行政部门转到产品开发部门等，需要进行适应新环境ESD控制要求的再培训。7.2人体静电防护系统7.2.1防静电工作服防静电工作服是指为防止静电荷积累，用防静电织物作为面料而制成的工作服，样式有连体式、分体式等。防静电工作服主要用来泄放人体高绝缘性能的服装所产生的静电或减少人体静电产生。7.2.1.1防静电服使用要求:1)进入防静电区域的人员必须按规定穿防静电大褂衣，严禁穿一般合成纤维工作服。2)大褂衣可在普通防静电工作区域使用。3)防静电衣必须在更衣室更换，不允许在ESD区域穿或脱防静电衣。4)禁止在防静电衣上附加或佩带与工作无关的金属物品或装饰品。5)防静电大褂衣应保持清洁，工作服的洗涤应尽量采用简易方法进行， 采用中性洗涤剂，要避免受到较强的机械和化学操作的洗涤。7.2.2防静电帽防静电帽的相关规定请参照防静电服。防静电帽应正确佩戴，帽沿朝前头发不能露出防静电帽外后脑部分的短细的头发不能超过防静电衣领外。7.2.3防静电工作鞋作业人员必须穿防静电鞋，经过人体综合电阻测试合格后，方可进入静电敏感区域工作。7.2.4防静电腕带7.2.4.1防静电腕带是通过腕带与皮肤的直接接触和静电线接地的方式，将人体皮肤表面静电泄放掉装置，由松紧圈和接地组件构成。松紧圈的要求是体积电阻率100cm 接地组件必须串接一定数值的电阻，以确保操作者意外触及高电压时不致发生人身伤害。该电阻的选择原则是，一方面应保证操作者在触及线电压时流过人体的电流不大于5mA，另一方面又要保证人体所带的静电能通过该电阻很快泄放，使皮肤上的静电压小于200V，一般该电阻阻值取为106。7.2.4.2因无绳防静电腕带的性能对环境湿度依赖性太强，禁止使用无绳腕带。 7.2.4.3进入静电敏感区域应将防静电环连接好，与皮肤完全接触，保证防静电环正常有效的工作。7.2.4.4腕带佩带方法：将腕带扎于手腕处，不能松动，手腕感觉四周握紧。 保证手腕带内表面与皮肤良好接触，接地线与EBP连接。7.2.4.5每班开工前，每位员工都应自检防静电环是否正常，并作好记录，只有测试合格，才可以进入静电敏感区域工作。7.2.4.6防静电线的有效长度是2.5米，在使用防静电环的过程中，不可过度拉扯而超过它的有效长度，不可折断防静电线，不可冲洗防静电环，拔插时不可通过拉防静电线来完成，不可在防静电环金属片上加水等，要注意正确使用和妥善保护好防静电环。7.2.4.7先戴好防静电环，再拿静电敏感器件ESSD，先放下静电敏感器件ESSD，再拔防静电环。7.3临时或外来人员的防静电管理7.3.1临时(外来)人员，包括参观人员、非本区域联系工作人员、临时施工人员，进入防静电区域时，必须遵守防静电区域和生产过程的各项防静电要求。7.3.2临时(外来)人员在参观或作业过程中，不得靠近操作静电敏感器件的工作人员，也不得靠近或徒手接触含有静电敏感器件的在制品或成品。7.4防静电区的防静电操作规范7.4.1所有的ESSD(静电敏感器件)及其部件的操作必须在静电安全工作台上进行。7.4.2进入静电敏感区域的所有电子元器件都应视为ESSD来对待。7.4.3贮存和运输ESSD及其部件时，应妥善进行防静电包装。7.4.4拒绝接受未包装在防静电容器里的ESSD。7.4.5所有用非ESD材料包装的电子元器件都应在指定的静电泄放区域，经过拆包和静电泄放处理后，方可用防静电中转工具将其转到静电敏感区域。7.4.6不允许在静电敏感区域内存放和处理非ESD的材料，不允许在非静电敏感区域内存放和处理未包装的ESSD，不允许非ESD的材料与ESSD混放。7.4.7进入静电敏感区域的人员，都要必须穿好防静电工作服，必须戴上防静电环，腕带必须与皮肤有良好接触并将腕带接入可靠的防静电接地系统中，防静电鞋和脚必须与防静电地板或ESD地垫保持良好接触，防静电帽也必须按规定戴好。7.4.8重要工位上应配备腕带监控器，以随时监控腕带是否处于正常状态。7.4.9不得随意拆除和改变ESSD的封装，运送全过程应在防静电容器中进行，清点也尽可能在原包装内完成。7.4.10测试ESSD时必须遵守加电和去电顺序，严禁带电插拔ESSD。7.4.11持拿ESSD，应持其外壳两端，严禁人手触及其引脚或接线片，特别是空悬的输入端。7.4.12 ESSD器件的引脚或接线片，特别是空悬的输入端不可放在金属桌面上，容易引起导通，短路等ESD事件，从损坏ESSD器件。7.4.13装配ESSD时，尤其是MOS管等