非晶硅顶电池中的n型掺杂层对非晶硅微晶硅叠层太阳电池性能的影响.pdf

第 卷 第 期 年 月 半 导 体 学 报 犑 犗犝犚犖犃 犔犗 犉犛 犈犕 犐 犆 犗犖犇犝犆 犜 犗犚 犛 犞 狅 犾 犖 狅 犃 狌犵 国家重点基础研究发展规划 批准号 犆 犅 犆 犅 国家自然科学基金 批准号 和国家科技计划配套基金 批准号 犙 犜 犘 犜 犑 犆 资助项目 通信作者 犈犿 犪 犻 犾 犺 狓狔 犿 犪 犻 犾 狀 犪 狀 犽 犪 犻 犲 犱 狌 犮 狀 收到 定稿 中国电子学会 非晶硅顶电池中的狀型掺杂层对非晶硅 微晶硅叠层 太阳电池性能的影响 韩晓艳 李贵君 侯国付 张晓丹 张德坤 陈新亮 魏长春 孙 健 薛俊明 张建军 赵 颖 耿新华 南开大学光电子薄膜器件与技术研究所 光电信息技术科学教育部重点实验室 光电子薄膜器件与技术天津市重点实验室 天津 摘要 采用超高频等离子增强化学气相沉积 犞犎 犉 犘 犈 犆 犞犇 技术 逐次高速沉积非晶硅顶电池及微晶硅底电池 形成狆犻 狀 狆犻 狀型非晶硅 微晶硅叠层电池 通常顶电池的狀层与底电池的狆层均采用微晶硅材料来形成隧穿复合结 然而该叠层电池 的光谱响应测试结果表明 顶电池存在着明显的漏电现象 针对该问题作者提出 在顶电池的微晶硅狀层中引入非晶硅狀 保护层的方法 实验结果表明 非晶硅狀层的引入有效地改善了顶电池漏电的现象 在非晶硅狀层的厚度为 狀 犿时 顶电池 的漏电现象消失 叠层电池的开路电压由原来的 提高到 犞 填充因子由 提高到 关键词 超高频等离子增强化学气相沉积技术 非晶硅 微晶硅叠层电池 狀 狆隧穿结 犘 犃 犆 犆 犎 犑 犉 中图分类号 犜 犖 文献标识码 犃 文章编号 引言 在光伏电池领域 硅基薄膜太阳电池因其原材料储 量丰富 无污染 制备工艺简单 便于大面积连续化生产 等优点 受到国内外专家的广泛关注 非晶硅和微晶硅 具有不同带隙 分别为 和 犲 犞 以非晶硅为顶 电池 微晶硅为底电池 构成的非晶硅 微晶硅叠层太阳 电池 可以将电池光谱响应长波限从目前非晶硅 非晶 硅锗 非晶硅锗三结太阳电池的 扩展到 犿 提 高太阳光谱利用率 并且叠层电池的非晶硅子电池的 本征吸收层较原来的单结电池的吸收层薄 可以抑制 犛犠效应的作用 大大提高电池的稳定性 因此 薄膜非 晶硅 微晶硅叠层电池 是目前国内外研究的热点方 向 叠层电池中的狀 狆隧穿复合结 狋 狌 狀 狀 犲 犾 狉 犲 犮 狅 犿 犫 犻 狀 犪 狋 犻 狅 狀犼狌 狀 犮 狋 犻 狅 狀 犜 犚 犑 是影响电池性能的一个关键因素 作为隧穿复合结的狀 狆结应具有欧姆接触特性和较好 的隧穿特性 根据这样的要求通常该结处的狀层和狆层 均采用微晶硅材料 然而对这样的电池光谱分析发 现 顶电池存在着明显的漏电现象 作者对顶电池的漏 电现象进行了分析 并提出了较好的解决方案 实验 非晶硅顶电池和微晶硅底电池均在本研究所自组 装的犆 犾 狌 狊 狋 犲 狉 犘 犈 犆犞犇沉积系统中制备得到 其中电池 中 的 狆 层 采 用 犕犎 狕的 激 发 频 率 狀层 采 用 犕犎 狕的激发频率 而犻层采用 犕犎 狕的激发频 率 且顶电池和底电池中的本征层 犻层 的沉积速率均 为 狀 犿 狊左右 通过优化顶底电池的电流匹配 顶电池 和底电池犻层的沉积时间分别为 和 犿 犻 狀 叠层电池 的结构及各层厚度见图 其中电池面积为 犮 犿 电池的犑 犞特性是在犃犕 犿犠 犮 犿 室温 条件下测试得到的 太阳电池的量子效率 犙 犈 定义为光照在电池上 电池内部产生的对短路电流有贡献的载流子数与入射 到电池表面光子数的比值 如 式 它用来表征微晶硅 图 非晶硅 微晶硅叠层电池的结构示意图 犉 犻犵 犛 犮 犺 犲 犿 犲狅 犳犪 犛 犻 犎 犮 犛 犻 犎狋 犪 狀 犱 犲 犿狊 狅 犾 犪 狉犮 犲 犾 犾 第 期韩晓艳等 非晶硅顶电池中的狀型掺杂层对非晶硅 微晶硅叠层太阳电池性能的影响 图 叠层电池犙 犈的测试原理图 犉 犻犵 犜 犲 狊 狋 犻 狀犵狆狉 犻 狀 犮 犻狆犾 犲犱 犻 犪犵狉 犪 犿狅 犳狇狌 犪 狀 狋 狌 犿犲 犳 犳 犻 犮 犻 犲 狀 犮狔狅 犳狋 犺 犲 狊 狅 犾 犪 狉犮 犲 犾 犾 电池的光谱响应 根据标准犃犕 数据对犙 犈结果进 行积分可以推算电池的短路电流密度犑 狊 犮 如 式 计 算得到的犑 狊 犮与标准光源下测得的犑狊 犮允许有 的偏 差 犙 犈 犖犲 犖狆犺 犼 狆犺 犲 犼犛 犆 犲 犙 犈 犱 犙 犈测试的原理及仪器连接如图 所示 测量时对 电池加红色偏光 红光主要被微晶硅底电池吸收 使底 电池短路 从而测试得到顶电池的犙 犈 加蓝色偏光 蓝 光主要被非晶顶电池吸收 使顶电池短路 从而测试得 到底电池的犙 犈 而不加偏光时 通常被称为暗态犙 犈 正常的情况下测试得到的犙 犈应为顶电池与底电池犙 犈 的重叠部分 即在 犮时 其中 犮为顶底电池犙 犈曲 线的交点 暗态犙 犈曲线应与底电池的犙 犈曲线重合 而 犮时 暗态曲线应与顶电池的犙 犈曲线重合 通 常暗态犙 犈曲线呈现为三角形 结果与讨论 非晶硅顶电池的狀型掺杂层通常采用微晶硅材料 而这样得到的叠层电池的开路电压 犞狅 犮 较小 为了分 析原因 对该电池进行了光谱响应 量子效率 的测量 结果见图 其中狉 犲 犱 犫 犾 狌 犲 犱 犪 狉 犽分别为加红色偏光 蓝 色偏光及不加偏光时测得的犙 犈曲线 由图 可知 该 电池的暗态光谱响应并不是正常的三角形形状 而是和 底电池的犙 犈曲线相近 这说明在顶电池中存在着漏电 分路 容易造成非晶硅顶电池漏电的一个重要因素 可能 就是微晶狀层中存在漏电沟道 因此设计提出了在犻 犪 犛 犻 犎 狀 犮 犛 犻 犎 之间加入非晶狀层的方法来防 止漏电 加入非晶狀层后电池的结构示意图如图 在顶电池和底电池其他条件都不变的情况下 在犻 犪 犛 犻 犎 狀 犮 犛 犻 犎 之间加入不同厚度的非晶硅狀 图 非晶硅 微晶硅叠层电池中采用微晶硅狀层与微晶硅狆层形成隧 穿结时的量子效率曲线 犉 犻犵 犙 狌 犪 狀 狋 狌 犿犲 犳 犳 犻 犮 犻 犲 狀 犮狔狅 犳犪 狀犪 犛 犻 犎 犮 犛 犻 犎狆犻 狀 狆犻 狀狋 犪 狀 犱 犲 犿犮 犲 犾 犾狑 犻 狋 犺 犮 犛 犻 犎狀 犾 犪狔犲 狉犪 狀 犱 犮 犛 犻 犎狆 犾 犪狔犲 狉 犻 狀狋 犺 犲犜 犚 犑 层得到的叠层电池犙 犈结果见图 可以看到与图 相 比 加入 狀 犿非晶硅狀层的叠层电池暗态犙 犈曲线变形 的程度得到了较大改善 而加入 狀 犿的非晶硅狀层时 暗态犙 犈曲线变形情况完全消失 这说明叠层电池中的 顶电池不存在漏电分路 采用单层微晶狀层与加入 狀 犿的非晶狀层的叠层 电池的犑 犞曲线见图 由图 可知 在顶电池的犻 犪 犛 犻 犎 狀 犮 犛 犻 犎 中加入 狀 犿的非晶狀层后 叠层电 池的各项参数都有所提高 其中开路电压犞狅 犮由原来的 提高到 犞 填充因子犉 犉由原来的 提高到 而这两个电池只是采用了不同的顶电池狀型掺杂 层 那么电池性能改善的主要原因 可能是非晶狀层的 引入 使顶电池漏电现象消失引起的 为了验证这一点 对这两个电池进行了红光犑 犞的测试 通过红光滤光片测试的犑 犞结果见图 在红光滤 光片下测得的犑 犞特性中填充因子的信息主要来自于 顶电池 比较两个电池结果得知 加入非晶狀层的顶电 池填充因子提高了 这与叠层电池的结果一致 即在顶 电池中引入非晶狀保护层使顶电池不存在漏电沟道 提 高了顶电池的犞狅 犮和犉 犉 从而提高了叠层电池的犞狅 犮和 犉 犉 图 加入非晶狀层后电池的结构示意图 犉 犻犵 犛 犮 犺 犲 犿 犲狅 犳 犪 犛 犻 犎 犮 犛 犻 犎狋 犪 狀 犱 犲 犿狊 狅 犾 犪 狉 犮 犲 犾 犾 犪 犳 狋 犲 狉 犻 狀 狊 犲 狉 狋 犻 狀犵犪 犛 犻 犎狀 犾 犪狔犲 狉 半 导 体 学 报第 卷 图 在犻 犪 犛 犻 犎 狀 犮 犛 犻 犎 之间加入不同厚度的非晶狀层得到的叠 层电池犙 犈曲线 犪 隧穿结采用 狀 犿的非晶硅狀层和 狀 犿的微晶硅狀 层 犫 隧穿结采用 狀 犿的非晶硅狀层和 狀 犿的微晶硅狀层 犉 犻犵 犙 狌 犪 狀 狋 狌 犿犲 犳 犳 犻 犮 犻 犲 狀 犮狔狅 犳犪 狀犪 犛 犻 犮 犛 犻狋 犪 狀 犱 犲 犿犮 犲 犾 犾狑 犻 狋 犺 狀 犿犪 犛 犻 犎狀 犾 犪狔犲 狉犪 狀 犱 狀 犿 犮 犛 犻 犎狀 犾 犪狔犲 狉犻 狀狋 犺 犲犜 犚 犑 犪 犪 狀 犱 狀 犿犪 犛 犻 犎狀 犾 犪狔犲 狉犪 狀 犱 狀 犿 犮 犛 犻 犎狀 犾 犪狔犲 狉犻 狀狋 犺 犲犜 犚 犑 犫 结论 对一般的非晶硅 微晶硅叠层电池进行光谱响应测 试发现 叠层电池中的顶电池存在漏电现象 针对该问 题 作者提出在非晶硅顶电池的犻 犪 犛 犻 犎 狀 犮 犛 犻 犎 中引入非晶狀保护层的方法 实验结果表明 非晶狀层 图 顶电池采用不同狀型掺杂层的电池犑 犞曲线 犉 犻犵 犑 犞犮 狌 狉 狏 犲 狊狅 犳 狋 犪 狀 犱 犲 犿狊 狅 犾 犪 狉犮 犲 犾 犾 狊狑 犻 狋 犺犱 犻 犳 犳 犲 狉 犲 狀 狋狀犾 犪狔犲 狉 狊 图 通过红色滤光片测得的非晶硅 微晶硅叠层电池的犑 犞特性曲线 犪 隧穿结采用 狀 犿微晶硅狀层 犫 隧穿结采用 狀 犿非晶硅狀层和 狀 犿微晶硅狀层 犉 犻犵 犑 犞犮 狌 狉 狏 犲狅 犳 犪 狀犪 犛 犻 犮 犛 犻 狋 犪 狀 犱 犲 犿犮 犲 犾 犾狑 犻 狋 犺 狀 犿 犮 犛 犻 犎狀 犾 犪狔犲 狉 犻 狀狋 犺 犲犜 犚 犑 犪 犪 狀 犱 狀 犿犪 犛 犻 犎狀 犾 犪狔犲 狉犪 狀 犱 狀 犿 犮 犛 犻 犎狀 犾 犪狔犲 狉 犻 狀狋 犺 犲犜 犚 犑 犫 的引入有效地降低了顶电池漏电现象 并在非晶狀层厚 度为 狀 犿时 顶电池漏电现象消失 而该叠层电池的开 路电压和填充因子都有不同程度的提高 上述结果表明 暗态犙 犈曲线偏离正常的三角形会 使叠层电池性能降低 而对于消除顶电池漏电的有效方 法是在犻 犪 犛 犻 犎 狀 犮 犛 犻 犎 中引入非晶狀保护层 参考文献 犅 犲 狉 犵犿 犪 狀 狀犚犅 犠 犲 狉 狀 犲 狉 犑犎 犜 犺 犲 犳 狌 狋 狌 狉 犲狅 犳 犮 狉狔狊 狋 犪 犾 犾 犻 狀 犲 狊 犻 犾 犻 犮 狅 狀犳 犻 犾 犿 狊 狅 狀犳 狅 狉 犲 犻犵狀狊 狌 犫 狊 狋 狉 犪 狋 犲 狊 犜 犺 犻 狀犛 狅 犾 犻 犱犉 犻 犾 犿 狊 犕 犲 犻 犲 狉 犑 犇 狌 犫 犪 犻 犾 犛 犉 犾 狌 犮 犽 犻 犵犲 狉犚 犲 狋 犪 犾 犐 狀 狋 狉 犻 狀 狊 犻 犮犿 犻 犮 狉 狅 犮 狉狔狊 狋 犪 犾 犾 犻 狀 犲 狊 犻 犾 犻 犮 狅 狀 犮 犛 犻 犎 犪狆狉 狅 犿 犻 狊 犻 狀犵狀 犲 狑狋 犺 犻 狀犳 犻 犾 犿狊 狅 犾 犪 狉犮 犲 犾 犾犿 犪 狋 犲 狉 犻 犪 犾 犘 狉 狅 犮 狊 狋犠犆 犘 犈 犆 犎 犪 狑 犪 犻 犻 犕 犲 犻 犲 狉 犑 犇 狌 犫 犪 犻 犾 犛 犆 狌狆犲 狉 狌 狊 犑 犲 狋 犪 犾 犚 犲 犮 犲 狀 狋狆狉 狅犵狉 犲 狊 狊 犻 狀犿 犻 犮 狉 狅 犿 狅 狉 狆犺 狊 狅 犾 犪 狉犮 犲 犾 犾 狊 犑犖 狅 狀 犆 狉狔狊 狋犛 狅 犾 犻 犱 狊 犡 狌 犲犑 狌 狀 犿 犻 狀犵 犕 犪 犻犢 犪 狅 犺 狌 犪 犣 犺 犪 狅犢 犻 狀犵 犲 狋犪 犾 犐 狀 狏 犲 狊 狋 犻 犵犪 狋 犻 狅 狀狅 狀犪 犛 犻 犮 犛 犻 狋 犪 狀 犱 犲 犿狊 狅 犾 犪 狉犮 犲 犾 犾 犃 犮 狋 犪犈 狀 犲 狉犵犻 犪 犲犛 狅 犾 犪 狉 犻 狊犛 犻 狀 犻 犮 犪 犻 狀犮 犺 犻 狀 犲 狊 犲 薛俊明 麦耀华 赵颖 等 薄膜非晶硅 微 晶硅叠层太阳电池的研究 太阳能学报 犔 狅 犳 犳 犾 犲 狉 犑 犌 狅 狉 犱 犻 犼狀犃 犛 狋 狅 犾 犽犚犔 犲 狋 犪 犾 犃犿 狅 狉狆犺 狅 狌 狊 犪 狀 犱 犿 犻 犮 狉 狅 犿 狅 狉 狆犺 狊 犻 犾 犻 犮 狅 狀狋 犪 狀 犱 犲 犿犮 犲 犾 犾 狊狑 犻 狋 犺犺 犻犵犺狅狆犲 狀 犮 犻 狉 犮 狌 犻 狋狏 狅 犾 狋 犪犵犲 犛 狅 犾 犪 狉犈 狀 犲 狉犵 狔犕 犪 狋 犲 狉 犻 犪 犾 狊牔犛 狅 犾 犪 狉犆 犲 犾 犾 狊 第 期韩晓艳等 非晶硅顶电池中的狀型掺杂层对非晶硅 微晶硅叠层太阳电池性能的影响 犈 犳 犳 犲 犮 狋 狅 犳狀犇 狅 狆 犲 犱犔 犪 狔 犲 狉 狊 犻 狀犪 狀犃 犿 狅 狉 狆 犺 狅 狌 狊犛 犻 犾 犻 犮 狅 狀犜 狅 狆犛 狅 犾 犪 狉犆 犲 犾 犾 狅 狀狋 犺 犲 犘 犲 狉 犳 狅 狉 犿 犪 狀 犮 犲狅 犳 犕 犻 犮 狉 狅 犿 狅 狉 狆 犺 犜 犪 狀 犱 犲 犿犛 狅 犾 犪 狉犆 犲 犾 犾 狊 犎 犪 狀犡 犻 犪 狅狔犪 狀 犔 犻犌 狌 犻 犼狌 狀 犎 狅 狌犌 狌 狅 犳 狌 犣 犺 犪 狀犵犡 犻 犪 狅 犱 犪 狀 犣 犺 犪 狀犵犇 犲 犽 狌 狀 犆 犺 犲 狀犡 犻 狀 犾 犻 犪 狀犵 犠 犲 犻犆 犺 犪 狀犵犮 犺 狌 狀 犛 狌 狀犑 犻 犪 狀 犡 狌 犲犑 狌 狀 犿 犻 狀犵 犣 犺 犪 狀犵犑 犻 犪 狀犼狌 狀 犣 犺 犪 狅犢 犻 狀犵 犪 狀 犱犌 犲 狀犵犡 犻 狀 犺 狌 犪 犓 犲 狔犔 犪 犫 狅 狉 犪 狋 狅 狉狔狅犳犘 犺 狅 狋 狅 犲 犾 犲 犮 狋 狉 狅 狀 犻 犮 狊犜 犺 犻 狀犉 犻 犾 犿犇 犲 狏 犻 犮 犲 狊犪 狀 犱犜 犲 犮 犺 狀 犻狇狌 犲狅犳犜 犻 犪 狀犼犻 狀 犓 犲狔犔 犪 犫 狅 狉 犪 狋 狅 狉狔狅犳犗狆狋 狅 犲 犾 犲 犮 狋 狉 狅 狀 犻 犮 犐 狀犳狅 狉 犿 犪 狋 犻 狅 狀犛 犮 犻 犲 狀 犮 犲犪 狀 犱犜 犲 犮 犺 狀 狅 犾 狅犵 狔狅犳狋 犺 犲犕 犻 狀 犻 狊 狋 狉狔狅犳犈 犱 狌 犮 犪 狋 犻 狅 狀 犐 狀 狊 狋 犻 狋 狌 狋 犲狅犳犘 犺 狅 狋 狅 犲 犾 犲 犮 狋 狉 狅 狀 犻 犮 狊 犜 犺 犻 狀犉 犻 犾 犿犇 犲 狏 犻 犮 犲 狊犪 狀 犱犜 犲 犮 犺 狀 犻狇狌 犲 犖 犪 狀 犽 犪 犻犝 狀 犻 狏 犲 狉 狊 犻 狋狔 犜 犻 犪 狀犼犻 狀 犆 犺 犻 狀 犪 犃 犫 狊 狋 狉 犪 犮 狋 犘 犻 狀 狆犻 狀 犿 犻 犮 狉 狅 犿 狅 狉狆犺 狋 犪 狀 犱 犲 犿狊 狅 犾 犪 狉犮 犲 犾 犾 狊狑 犲 狉 犲犱 犲狆狅 狊 犻 狋 犲 犱犫狔狏 犲 狉狔犺 犻犵犺犳 狉 犲狇狌 犲 狀 犮狔狆犾 犪 狊 犿 犪犲 狀 犺 犪 狀 犮 犲 犱犮 犺 犲 犿 犻 犮 犪 犾狏 犪狆狅 狉犱 犲狆狅 狊 犻 狋 犻 狅 狀 犞犎 犉 犘 犈 犆 犞犇 犜 狌 狀 狀 犲 犾狉 犲 犮 狅 犿 犫 犻 狀 犪 狋 犻 狅 狀犼狌 狀 犮 狋 犻 狅 狀 狊狅 犳狋 犺 犲 犿 犻 犮 狉 狅 犿 狅 狉狆犺 狋 犪 狀 犱 犲 犿狊 狅 犾 犪 狉犮 犲 犾 犾 狊犮 狅 狀 狊 犻 狊 狋 犻 狀犵狅 犳狋 狑 狅犿 犻 犮 狉 狅 犮 狉狔狊 狋 犪 犾 犾 犻 狀 犲 犱 狅狆犲 犱 犾 犪狔犲 狉 狊狑 犻 狋 犺犪犱 犲 犳 犲 犮 狋 狉 犻 犮 犺犻 狀 狋 犲 狉 犳 犪 犮 犲狑 犲 狉 犲犱 犲 狏 犲 犾 狅狆犲 犱 犠犺 犻 犾 犲狋 犺 犲狊 狅 犾 犪 狉犮 犲 犾 犾 狊狆犲 狉 犳 狅 狉 犿 犲 犱狉 犲 犪 狊 狅 狀 犪 犫 犾狔狑 犲 犾 犾狌 狀 犱 犲 狉犃犕 犾 犻犵犺 狋 狊 狑 犲 犳 狅 狌 狀 犱狋 犺 狉 狅 狌犵犺 狊狆犲 犮 狋 狉 犪 犾 狉 犲 狊狆狅 狀 狊 犲犿 犲 犪 狊 狌 狉 犲 犿 犲 狀 狋 狊 狋 犺 犪 狋 狋 犺 犲 犳 犻 狉 狊 狋 犱 犲狆狅 狊 犻 狋 犲 犱犮 犲 犾 犾 狅 犳 狋 犺 犲 狋 犪 狀 犱 犲 犿狊 狋 狉 狌 犮 狋 狌 狉 犲 狊狑 犪 狊 犾 犲 犪 犽 犻 狀犵狌 狀 犱 犲 狉 犾 狅 狑犾 犻犵犺 狋 犮 狅 狀 犱 犻 狋 犻 狅 狀 狊 犜 犺 犲 犻 狀 狊 犲 狉 狋 犻 狅 狀狅 犳犪狋 犺 犻 狀狆狉 狅 狋 犲 犮 狋 犻 狅 狀 犾 犪狔犲 狉狅 犳狀 狋狔 狆犲犪 犿 狅 狉狆犺 狅 狌 狊 狊 犻 犾 犻 犮 狅 狀 犻 狊狆狉 犲 狊 犲 狀 狋 犲 犱 犻 狀狋 犺 犻 狊狆犪狆犲 狉 犜 犺 犲 狉 犲 狊 狌 犾 狋 狊 狊 犺 狅 狑 狀 狋 犺 犪 狋 狋 犺 犲 犻 狀 狋 狉 狅 犱 狌 犮 犲 犱狀 狋狔 狆犲犪 犿 狅 狉狆犺 狅 狌 狊 狊 犻 犾 犻 犮 狅 狀犮 狅 狌 犾 犱 犻 犿狆狉 狅 狏 犲 狋 犺 犲 犾 犲 犪 犽 犪犵犲狆犺 犲 狀 狅 犿 犲 狀 狅 狀 犜 犺 犲 犾 犲 犪 犽 犪犵犲狆犺 犲 狀 狅 犿 犲 狀 狅 狀犱 犻 狊 犪狆 狆犲 犪 狉 犲 犱狑 犺 犲 狀狋 犺 犲 狋 犺 犻 犮 犽 狀 犲 狊 狊狅 犳 狋 犺 犲狀 狋狔 狆犲犪 犿 狅 狉狆犺 狅 狌 狊 狊 犻 犾 犻 犮 狅 狀狑 犪 狊 狀 犿 犾 犲 犪 犱 犻 狀犵狋 狅犪 狀 犻 狀 犮 狉 犲 犪 狊 犲 犻 狀狅狆犲 狀 犮 犻 狉 犮 狌 犻 狋 狏 狅 犾 狋 犪犵犲 犜 犺 犲狅狆犲 狀 犮 犻 狉 犮 狌 犻 狋 狏 狅 犾 狋 犪犵犲 犻 狀 犮 狉 犲 犪 狊 犲 犱犳 狉 狅 犿 狋 狅 犞犪 狀 犱犉 犉犻