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多晶硅专业英文词汇A：a-si 无定形硅amorphous amorphous m:fs无定型的，无组织的Arsenicarsenic :snik 砷Acceptor 受主B：Boronboron b:rn 硼Block 模块，单元Basic design package 基本设计包，工艺包Bulk metals 体内金属Bulk 批量的、大批的C：Chlorine 氯气kl:ri:nLiquid chlorine 液氯Chloride 氯化物kl:raidCVD chemical vapour vapour veipn. 蒸气deposition 化学气相积淀Crucible.坩锅Cost simulation 成本估算Commissioning 调试Chlorosilanes 氯硅烷convertor氢化炉（STC to TCS convertor）knv:t(r)Czochralski Czochralski n. 丘克拉斯基crystal growth 直拉单晶Coke 焦炭 Chunk 大块 Chuck 卡盘D：Dopant 掺杂物，掺杂剂dupntDistillation 精馏，蒸馏distileinDiscomposition 分解Doping (半导体)掺杂(质), 加添加剂填料 Deposition Reactor 还原炉depznDonors 施主 Decomposition 分散 Depreciation 折旧Dew point 露点E：ESD 紧急停车系统 EE (Electrical Energy) 电力 EE cons. 电耗 EG 电子级（electronic grade）Etch 蚀刻et Evaporator 蒸发器ivpreit Effluent 流出物，排放物F：FBR fluidized bed reactor 流化床反应器flu:idaizd Facility 设备Filamentfilament filament | flmntn. 细丝, 灯丝, 单纤维, 细线 production 硅芯生产Fluidized-bed reactor 沸腾床反应器Fourier 傅立叶furiei Feedstock 原材料 Fluorosilane 氟硅酸盐 FZ 区熔单晶G：Graphite 石墨grfat Granular 颗粒状grnjul Gas chromatogragh 气相色谱分析法（缩写：GC）H：Hazmat 有害物质hazardous material的缩写hzds Hydrogenation 氢化hadrdnenHVAC 暖通Hydrogen chloride 氯化氢hydrochloric ahydrochloric haidrukl:rikadj. 盐酸的cid 盐酸I：Impurity 杂质（heavy impurity Stream高沸物，light impurity Stream低沸物）Infrared 红外线infrredL：Layout (plot plan) 平面布置图 LTFTIR 低温傅立叶转换红外光谱学 Long lead 长周期M：Molecularmolecular mulekjul adj. 分子的 sieve 分子筛 Make up 制取 m-si 金属硅metallurgical grade silicon 冶金级硅 MG Si metl:dikl monosilane 甲硅烷MS mnsileinM-silane 甲硅烷MS silein MG-silicon 金属硅，冶金级多晶硅MR 单位氢气TCS处理量，TCS/H2Modified Siemens Process 改良西门子法 Misc 零星材料N：Nugget 块、锭、天然金块ngt Nuggets preparation 块料制备与处理 N/A 不适用O：Off-gas 尾气 Off-gas recovery and recycle 尾气回收与循环 Organoorgano :gn,:gnadj. 化有机金属的-functional silane 有机硅 On-site 现场P：PDP （process design package） 工艺包 purify 提纯，净化 purification 提纯Photovoltaic, photovoltaic effect 光伏 光生伏特效应futuvlteiik Plumbing 上下水plmPolycrystal 多晶 Poly prod 籽晶 PV Photovoltaic 光伏 Poly 多晶硅 PCS多晶硅Poly Crystal SiliconPoly-silicon 多晶硅 P-si 多晶硅 PSA 变压吸附 Pot scrap 锅底料Pyrolyze 使热解，裂解pairulaiz PFD 流程图 P.O. 订购单（purchase order）R：Rod poly ingot 棒状硅锭ngt Re-conversion 再转化S：Si met 金属硅 Sieve 筛、滤网 Strip v 剥离，分离，n 条，带 STC四氯化硅 SiTET 四氯化硅Slim rod puller 硅芯炉 Stripping 分离，解吸，气提Segregationsegregation segregation | segrgenn. 隔离; 分离; 分开; 种族隔离 分凝Spectrum 光谱 spektrm Silane 硅烷SiH4 SOG太阳级多晶硅Specs-Surface Metals 表面金属含量 Specs-Bulk Metals 体内金属含量T：TCS 三氯氢硅 TET 四氯化硅 TFC total fixed capital Thruput 单位时间产量kg/hrTop and tail 头尾料 TBD (to be determined) 待定U：Unit price 单价 Utility 设施 Ultra high purity 超高纯V：VLD Vapor to Liquid Deposition熔融析出法（日本德山曹达Tokuyama开发的工艺）veipW：Workforce 人力 ww worldwide 全球范围Z：Zone melting 区熔单晶物料平衡和水平衡图中的相关英文词汇1物料平衡图Chart of Mass Balance 溶液 solution 氢气 H2或hydrogen去装瓶 to collect 氢气制取工序 H2 production 产品外销 for sale 合计 total氯化氢合成工序 HCl synthesissynthesis sinisis n. 合成,综合补充Si4Cl氢化 for Si4Cl hydrogenation 杂质 impurity原料硅粉 Si powder三氯氢硅合成工序SiHCl3 synthesis合成尾气干法分离 off-gas dry separation from synthesis还原尾气干法分离 off-gas dry separation from CVD reactor硅粉去处理 Si treatment气体净化和蒸馏釜残液处理工序 treatment of residualresidual rizidjul adj. 残余的,剩余 liquid from distillation column废气 waste gas 废液 waste liquid 聚氯硅烷 poly-chlorosilanes氯硅烷提纯工序 purification for chlorosilanes 四氯化硅氢化工序 hydrogenation for SiCl4I类废液 Class I waste liquid I类废液处理工序 treatment for Class I waste liquid工艺废料处理车间 workshop for process waste氢氧化物 hydroxid 氢氧化物处理工序 treatment for hydroxidII类废液 Class II waste liquid II类废液处理工序 treatment for Class II waste liquid硅棒、硅芯酸洗废液 waste liquid for acidic washing of Si rod and filament sidik 硝酸 nitric acid naitrik氢氟酸 hydrofluoric acid haidrflu(:)rik多晶硅制取工序 poly production多晶硅 poly-Si还原尾气干法分离 off-gas dry separation from CVD reactor固体 solid外售或填埋 sale or embed mbed返回气体净化 to purification达标排放 discharging acc. to standard填埋 embed 二级SiHCl3外售 sale waster SiHCl3固体NaF、固体NaNO3等 solid NaF, solid NaNO3 etc.2工业水平衡图 Chart of Process Water Balance来自开发区给水管网 from city feedwater 脱盐水站 de-mineral water mnrl冷却水用户 cooling water 循环水站 recycling water 蒸发与雾沫 water vapor 其它 others高纯水站 super high pure water 蒸汽发生 steam generation制氢 H2 production 工艺 process凝液返回工艺 condensation to process kndensein配石灰乳和废水处理 waster water treatment with milk of lime去开发区污水处理 to city station of waster water treatment假定清下水 discharging concentrating water单位：立方米/时 unit：m3/hr3常用的工程单位换算表 长度单位 面积单位 1 in = 25.4 mm 1 in2 = 6.45 cm2 1 ft = 0.3048 m 1 ft2 = 0.093 m2 1 micron = 0.001 mm 体积单位 1 litre = 0.001 m3 1 cu.ft. = 0.0283 m3 1 cu.in. = 16.39 cm3 1 fluid oz.(imp) = 28.41 mL 1 fluid oz.(us) = 29.57 mL 1 gal(imp) = 4.546 L 1 gal(us) = 3.79 L 温度单位 (F-32)X5/9= K-273.15 = 功及能量单位 1 Nm = 1 J 1 kgm = 9.807 J 1 kW/hr = 3.6 MJ 1 lbft = 1.356 J 功率单位 1 Nm/sec = 1 W 1 lbft/sec = 1.356 W 1 kgm/sec = 9.807 W 1 Joule/sec = 1 W 1 H.P.(imp) = 745.7 W 质量单位 1 lb = 453.6 g 1 tonne = 1000 kg 1 ton(imp) = 1016 kg 1 ton(us) = 907.2 kg 流量计算公式 Q = Cv值 X 984 = Kv值 X 1100 Cv = So 18 力单位 1 kgf = 9.81 N 1 lbf = 4.45 N 1 kp(kilopound) = 9.81 N 1 poundal = 138.3 mN 1 ton force = 9.964 kM 力矩单位 1 kgm = 9.807 Nm 1 ft. poundal = 0.0421 Nm 1 in lb = 0.113 Nm 1 ft lb = 1.356 Nm 压力单位 1 psi = 6.89 kPa 1 kgf/cm2 = 98.07 kPa 1 bar = 100 kPa 1 bar = 14.5 psi 1 mm mercury = 133.3 Pa 1 in mercury = 3.39 kPa 1 Torr = 133.3 Pa 1 ft water = 0.0298 bar 1 bar = 3.33 ft water 1 atmosphere = 101.3 kPa 1 cm water = 97.89 Pa 1 in water = 248.64 Pa 换算表 1psi=6.895kPa=0.07kg/cm2=0.06895bar=0.0703atm 1standard atmosphere=14.7psi=101.3kPa=1.01325bar 1kgf/cm2 = 98.07kPa=14.22psi = 28.96ins mercury 1m3 = 1000000cm3 1cu ft/min = 28.3 l/min 1Pa = 1N/m2 1ft lb = 0.13826kgm = 1.356 Nm 1 L = 103cm3 = 1.7598pint = 106mm3 1 tonne = 1000 kg = 0.984 ton = 2204.6 lb 流量 Cv值 = 水流量（US gal/min）于60F下，流经压差为 1 psi 之阀门而所得出之流量定值。 Kv值 = 水流量（L/min）于20下，流经压差为 1 kgf/cm2 之阀门而所得出之流量定值。 So = 有效截面积（mm2） Q = 流量（Ng/min） S.T.P. = 标准温度及压力（0及101.3kPa绝对压力） N.T.P. = 正常温度及压力（20及101.3kPa绝对压力） M.S.C. = 公制标准情况（15及101.3kPa绝对压力） AMR = 温度：20及相对湿度：65% -在中国，我们一般把气体的压力用“公斤”描述（而不是“斤”），具体单位是“kg/cm2”,一公斤压力就是 一公斤的力作用在一个平方厘米上。而洋鬼子常用的单位是“Psi”，具体单位是“lb/in2”,就是“磅/平方英寸”，这个单位就像华氏温标（F ）一样让我们中国人头疼。 此外，还有Pa（帕斯卡，一牛顿作用在一平方米上），KPa，Mpa，Bar，毫米水柱，毫米汞柱等压力单位。 1巴(bar)=0.1兆帕(MPa)=100千帕(KPa)=1.0197 公斤/平方厘米 1标准