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文档简介

合肥彩虹蓝光科技有限公司技术文件 3/6文件名称MOCVD Recipe管控规定文件编号HL/DN-35-00-002-1.0产品型号或材料代号工艺代号生效日期替代版本2011.10.30新发布一、 目的为明确公司MOCVD Recipe工艺程序的管控，指导外延片生产的规范作业，特制定本管控规定。二、 适用范围适用于合肥彩虹蓝光科技有限公司量产MOCVD机台。三、主要内容 一般来说，正常生产情况下，机台长的职责是重复Recipe的执行，维持生产稳定性，不可擅自更改Recipe工艺参数。然考虑生产实际需要，特制定本规则如下：1、 自主调机人员与机台长正式完成机台交接之日起，原则上机台长的权限范围仅限于修正量子阱温度调节波 长；2、 若参考快速数据结果，需对Recipe工艺参数进行修正时，（1） 修正幅度要控制在5%之内（温度修正幅度5），若需变动更大幅度，必须与原主调机人员协商，在其确认Recipe后方可执行；（2） 修正参数要控制在2个以内（量子阱温度修正波长除外），若需变动更多参数，必须与原主调机人员协商，在其确认Recipe后方可执行；（3） 修正项目必须避开量子阱部分，若需变更，必须与原主调机人员协商，在其确认Recipe后方可执行。3、 若需在机台上进行产品验证或提升时， （1） 每5个run允许一次调整，且为“Y” Run；（2） 必须与原主调机人员协商，在其确认Recipe后方可执行；（3） 调整参数要控制在2个以内（量子阱温度修正波长除外）；4、 若机台长未按照以上规定擅自更改Recipe，将视情节严重程度对相关责任人给予相应的绩效处罚。更改标记更改单编号更改员日期更改标记更改单编号
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