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文档简介
TFC膜系设计实例教程TFC膜系实例设计步骤(首先以AR膜三层为例介绍)1 首选镀膜材料:AL2O3 ZRO2 MGF2 2 AR膜技术要求:400-700 R13 运行TFC软件(如图1),选择“取消”按钮,如要打开已设计好的膜系文件,可按“打开”来调用文件。图14 在File菜单中选择New Coating选项(如图2)。图25 进入环境编辑界面(Edit Environment)如图3图36.在环境编辑界面中,第一项为监控波长(Reference wavelength),默认设制为550(图3)。如果设计400-700波段的AR的话,就可以用这个设制。如要设计红外波段的话,那就要改大点。设好后,点击Analysis Parameters.项,进入下一个波段的设制界面(Set Analysis Parameters)。(如图4)图46 在Set Analysis Parameters界面中选Wavelengths and Angles设计波段范围,在第一个输入框里输入起始波段400,第二输入框里输入结束波段700,第三个输入框里的为步长,可以不改,其它的不动(如图4)。输入完成后,按“OK”键确认,返回到如图3的界面,再按“OK”键,进入设计界面(如图5)图57.在Modify菜单中选LayersFront(如图6),然后进入添加膜层。(如图7)图6图77 选择Options Front Layers.,添加层数,如图7,在弹出的输入框的第一个中输入3代表3层,如图8图88 然后点“OK”,进入,出现如图9的画面。图99 现在把Material(材料)项中的,改成你所要的材料AL2O3 ZRO2 MGF2,把Optimize?(优化否)项中的NO,全部改为YES(如图10)图1010.选择Modify菜单中的Targetscontinuous项来设定优化目标(如图11)图1111 选择Options中的Add Continuous targets.(如图12),点击进入,如果是创建一个优化目标的话就不用改,如果要创建几个优化目标的话,就在第一个输入框中输入几。如图13图12图1312 如图14,在Wavelength(begin)(起始波长)处输入400,在Wavelength(end)(结束波长)处输入700其它不要动。图1413完成后,选Run菜单的Optimize Design选项进行优化,如图15图1514优化界面如图16图1615优化完成后,点击Analyze查看优化后的曲线,如图17图1716好了,这个AR的膜系已设计完成了,要查看每层的物理厚度,可以打开菜单Modify中选Layers
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