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关于晶棒硬点 杂质引发重大损失的原因调查 李永进10月2日 1 背景资料 2 2 MB线锯切割原理 3 砂浆中的碳化硅附在高速旋转的钢线上快速摩擦硅块 同时工作台产生正压力的情况下 不断随钢线移动 滚动成穴 使硅块分开 砂浆的主要作用 冷却切割位置 悬浮碳化硅 润滑导轮 4 3 优质晶棒MB切割截面图 正常切割时 线网没有跳线 厚片 薄片 TTV 线痕等损失只占所有片子的5 左右 5 4 晶棒存在硬点 杂质时切割截面图 A位置存在硬点 杂质 切到A时 硬点导致钢线滑移 B C处的片子挤压到一起 带砂量降低 会造成以下三情况 1 带砂量降低 钢线与片子干磨 钢线磨损量急剧上升导致断线 未签报废的晶棒产生停机线痕 2 由于A处硬点与钢线互相挤压 导致两侧片子呈 八 字型 线网上移会切断呈 八 字型的片子 形成半截片 半截片被高速旋转的钢线带入线网 导致线网大量跳线 轻则引发厚片 薄片以及线痕 重则钢线跳槽互切断线 3 B C两处的片子随着离硬点距离的增加 八 字型效果逐渐降低 凹凸线痕深度及半截片损失会逐渐降低 5 总结 6 当晶棒存在硬点时 钢线带砂量降低 磨损急剧增加导致断线 产生大量半截片 且半截片被带入线网引起大量跳线 厚片 薄片 线痕片 钢线互切断线 硬点两侧的片子存在大量线痕 线痕深度随着离硬点距离的增加而减轻 线痕引起TTV超标 未签报废的晶棒产生停机线痕 THANKYOU AlternativeOption CHINAJAPANKOREAU
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