PECVD设备资料.ppt

PECVD介绍 PECVD工作原理PECVD结构介绍PECVD控制系统简介PECVD报警系统介绍PECVD操作系统介绍PECVD工艺气体特点简介PECVD工作程序介绍PECVD工艺分析与操作注意事项 工作原理 CentrothermPECVD系统是一组利用平行板镀膜舟和高频等离子激发器的系列发生器 在低压的情况下 等离子发生器直接在 装在镀膜板中间的介质的中间发生反应 所用的活性气体为硅烷SiH4和氨NH3 可以根据改变硅烷对氨的比率 来得到不同的折射指数 在沉积工艺中 伴有大量的氢原子和氢离子的产生 使得晶片的氢钝化性十分良好 PECVD的原理及作用 PECVD设备结构 晶片装载区炉体特气柜真空系统控制系统 PECVD设备结构示意图 上下载部分 有电脑系统 净化风机 机械手等部分 主要作用 电脑是整个系统的控制中枢 净化风机起局部环境净化作用同时也是上料和下料部分 废气室 有炉门排风系统组成 主要作用 为了保持扩散炉管内良好的密封性能 并将未能从尾气管排出的残留废气及时抽走 防止废气泄露 炉体部分 由加热电阻丝组成 主要作用 通过大电流发热满足工艺要求的扩散温度 气柜部分 由所需的各种气路 流量计及 主要作用 为工艺提供所需的气体流量 简要部分介绍 上下装载区 桨 LIFT 抽风系统 SLS系统 桨 由碳化硅材料制成 具有耐高温 防变形等性能 作用是将石墨舟放入或取出石英管 LIFT 机械臂系统 使舟在机械臂作用下在小车 桨 储存区之间互相移动 抽风系统 位于晶片装载区上方 初步的冷却石墨舟和一定程度的过滤残余气体SLS系统 软着陆系统 控制桨的上下 移动范围在2 3厘米 PECVD设备结构 载片区部分介绍 机械手 桨 小推车 操作平台 指示灯 炉门 石墨舟 电极口 炉体 石英管 加热系统 冷却系统石英管 炉体内有四根石英管 是镀膜的作业区域 耐高温 防反应 加热系统 位于石英管外 又五个温区 PECVD设备结构 加热反应室 热电偶1 炉管内部 电极 热电偶 窗口 窗口 电极 热电偶2 排气口 炉管后段 PECVD设备结构 冷却系统 是一套封闭的循环水系统 位于加热系统的金属外壳 四进四出并有一个主管道 可适量调节流量大小 冷却水系统 进水口 出水口 特气柜 MFC气动阀MFC 气体流量计 NH3SiH4N2等 气动阀 之所以不用电磁阀是因为电磁阀在工作时容易产生火花 而气动阀可以最大程度的避免火花 PECVD设备结构 真空系统真空泵 每一根石英管配置一组泵 包括主泵和辅助泵 蝶阀 可以根据要求控制阀门的开关的大小 来调节管内气压的 PECVD设备结构 PECVD控制系统主要从事的是下面的四种控制系统1PECVD真空的控制2PECVD的机械手的控制3PECVD的特气控制4PECVD的电器控制 PECVD控制系统 控制系统CMI 是Centrotherm研发的一个控制系统 其中界面包括Jobs System Datalog Setup Alarms Help Jobs 机器的工作状态 System 四根管子的工作状态 舟的状态以及手动操作机器臂的内容 Datalog 机器运行的每一步 PECVD控制系统 CMI accessgatetoCESARS Menuformanualoperations 温度控制系统 PECVD日常报警说明 管式PECVD日常报警说明 Processrecipehasterminatedwitherrorstate AlarmACK 1 tostore 2 tostoreenableunload 3 Restartrecipe 说明 进行中的工艺以错误的状态结束 警报确认 1 储存 2 储存并卸下 3 重新开始工艺 1 用错工艺号 手动结束工艺 重新开始新的其它工艺时进行选择 2 多数情况下选择此项 3 工艺中断需要重新进行时选择 选择前应查看镀膜情况 1 管式PECVD日常报警说明 Boatalreadyintube select process 0unload 1 说明 石墨舟已经在管内 选择 运行工艺 0取出卸下 1 当管内有石墨舟时 异常排除后手动运行工艺时会出现这样的提示 查看镀膜情况后在做选择 2 管式PECVD日常报警说明 Losthoming checkposition 说明 失去引导 检查位置 此报警会自动解除 只需要检查一下桨是否在原点的位置即可 3 管式PECVD日常报警说明 HFGenoutof1st 2nd tolerance 说明 高频发生器超过第一 二 个位置 如果在镀膜中退出 如已经沉积到氮化硅 检查镀膜时间后 选择手动工艺输入剩余时间 通常出现这样的报警有三种情况 1 石墨舟的电极孔放反 2 石墨电极内有硅片倒落或者小碎片卡在两片电极的中间 3 炉内的碎片太多 石墨电极底部接触到碎片形成两片电极之间的短路 4 管式PECVD日常报警说明 Recipeabort2 processabort TOcontinue enterAB 说明 工艺推出 运行终止 继续输入AB 对工艺异常确认输入AB后 会出现第 一 个报警 5 管式PECVD日常报警说明 Vacuumtubeoutof1st 2nd tolerance 说明 石英管内的真空度超过第一 二 个限值 系统会对石英管内的真空度三秒钟检查一次 由于某种原因导致抽真空被延时 在特定的时间内无法达到真空设定值的要求 系统会出现这样的报警 检查一下状态栏中的压力值和真空泵的工作是否正常 如正常过几分钟后报警会自动解除 如果此报警连同第 八 个报警一起出现的话 联系工序长和领班 6 管式PECVD日常报警说明 Boatsensorofgrabhaschangedwithoutpermission 说明 机械手上的传感器被非允许移动 机械手喜爱上下移动时不会前后移动 若这时前后的位置发生变化 机械臂将会被锁定 出现报警 此警报需要通知工序长或领班 7 管式PECVD日常报警说明 Collectivealertpumpst 1说明 真空泵报警 一般情况下是由于真空泵的负压太大 导致报警 如复位无效的话通知工序长或领班 8 管式PECVD日常报警说明 GasN2 SiH4 NH3 outof1st 2nd tolerance 说明 特气氮气 硅烷 氨气 超过第一 二 个限值 出现这种报警的原因是多面的 高频放电失败 管内的压力不正常或者由于某种原因系统被锁定 冷却水报警 都会出现这样的报警 出现超过第一个限值报警 只是警告 超过第二个限值报警出现后工艺会自动停止 此时报警消失 出现第五个报警信息 9 管式PECVD日常报警说明 Warming checkSiH4distribution 说明 警告 检查硅烷的流量 检查硅烷的流量是否于设定值吻合 如果不是退出并重新运行工艺 10 管式PECVD日常报警说明 Recipecouldn tdestarted pleasecheckprotocolforreason 说明 工艺不能被运行 请检查原因 原因 此管已有一个工艺在运行 此管没有你要选的工艺文件 状态不正确 11 管式PECVD日常报警说明 Thereisalreadyanactiverecipe formlocallisting 说明 已经有 工艺在此管的工艺列表中 十一 十二俩个报警有时会一起出现 终止任何一个报警都会解除 12 管式PECVD日常报警说明 TubereadyinundefinedpleaseensurethattheCESARloadingmachineisat 0 positionandsoftlanderis UP 说明 管子的状态无法被确认 请确保CESAR接收到桨在 0 和 UP 的位置 检查桨是否在上位和原点的位置 如果是的 在空桨的情况下运行homing工艺 如果不是 手动移动桨到上位和原点 13 管式PECVD日常报警说明 Boatcollision 说明 舟被撞击 Handling对话框中将舟移动到安全的位置 若是在上下舟 检查一下小车和储存架的位置是否于舟的位置匹配 14 管式PECVD日常报警说明 Theboatsensorhasdetectednoboatinthegrabalthoughaboatshouldbeinthegrab pleasecheckboatingrabsensorandtryagain 说明 虽然有一个舟在机械臂上 但传感器测不到 请检查一下舟是否接触到传感器后再试一次 机械臂上的传感器没有感应到舟 将舟放到正确的位置即可 15 管式PECVD日常报警说明 Grabsensorundefined Nomovementpossible Checkboatposition 说明 传感器不明确 无法移动 检查舟的位置 机械臂不在正确的位置 无法移动 若机械臂没有被锁定在Handling的界面中将机械臂移至正确的位置 16 管式PECVD日常报警说明 Boatposition speed outof1st 2nd tolerance 说明 舟的位置 速度 超过第一 二 限值 通常会发生在退舟失败后 手动使桨复位 17 管式PECVD日常报警说明 Boatfailure 说明 退舟失败 检查舟在桨上的位置 如果正确手动将桨复位 如果不正确 戴上高温手套把舟拉到正确的位置后手动复位 18 管式PECVD日常报警说明 Waterflowgassidest 1 说明 TGA gasside 冷却水报警 将石英管后的冷却水流量调整一下即可 19 管式PECVD日常报警说明 VN Noprocessboatinsourceposition 说明 在设定的位置没有舟的存在 通常是因为机械臂将石墨舟放到储存架上 储存架上的传感器没有感应到 调节传感器或者调节舟的位置即可 20 PECVD操作与工艺过程 1开机过程简介2关机过程简介3操作过程简介4工艺气体介绍5工艺过程介绍 PECVD开机 打开N2阀 确认面板上绿色N2阀已打开 压力值为1kg cm2左右 N2阀 PECVD操作简介 PECVD操作简介 按压START真空泵启动按钮 启动真空泵 CBI按钮 START按钮 PECVD操作简介 PECVD开机 打开设备冷却水 先打开出水阀 再开进水阀 压力在3kg cm2 6kg cm2范围内 进水阀 出水阀 PECVD操作简介 PECVD开机 打开并检查气源 打开压缩空气阀 氮气阀 NH3阀 SiH4阀 机器上压缩空气压力应在6kg cm2 7kg cm2 其他气体为4kg cm2 10kg cm2范围 PECVD操作简介 PECVD开机 开总电源 用手扳住电柜外部的红色按钮 顺时针方向旋转90度 机器上指示灯VAT控制器灯亮 可确定总电源已开启 该状态为已经扳过90度 PECVD操作简介 PECVD开机 PECVD的操作流程 戴好无纺布口罩 戴好洁净手套 取来待镀膜的硅片 在刻蚀处检查硅片数量 把石墨舟推到洁净工作台下 取出承片盒放入洁净工作台 取出石英吸笔 并擦拭干净 把硅片一片片插入石墨舟内注意硅片的扩散方向 一舟插完后 用小车推到设备的上料口 对计算机进行相应的操作后 让其自动运行 工艺结束 镀膜结束 开门退舟 设备自动运行 待报警后 按退车按钮退车 把装有石墨舟的小车推到冷却房内进行冷却 冷却结束后 把小车推到插片房内 卸片结束后 放入指定的承载盒内 把放满的承载盒拿到丝网上料 准备进行印刷 开始卸片 注意工艺点的一致性 启动CMI程序 开总电源后计算机自动启动 输入密码后自动进入Windows桌面 用鼠标左键双击 CMI 图标 启动CMI 进入CMI画面 检查设备状态 SLS UP DOOR CLOSED PLC OK LIFT READY TUBE READY TGAFREE YESSET ACTPOSITION 0 PROCFLAG OK 选择工艺程序 生产 2PECVD操作简介 用手推车桨舟移动到固定位置 查看炉管的工作 并等待炉管的工作 编写LOTNUMBER号 并用机械手放到要去的桨上 并将机械手回位 将舟进入到炉管内 撤舟 撤舟的后关门 运行已经调处的程序siNx镀膜 程序运行完进行吹扫 冲氮气 撤舟 等待炉管温度均匀 此时冲氮气抽真空 分预抽与主抽氨气进入 先辉光放电通氨气与硅烷停止通氨气与硅烷 通入氮气抽真空通氮气到大气压 PECVD关机 检查确认生产已完毕 机器中舟已卸出 PECVD每个真空管压力设定为10000mToor 等每管实际压力达到10000mToor 关闭CMI程序 再关计算机 关主电源 用手扳住电柜外部的红色按钮 逆时针方向转90度 关闭气源 注意 除N2外关闭所有气体 关闭冷却水 等待二十分钟后关闭冷却水 先关进水 再关出水 关闭真空泵 按压真空泵面板 OFF 按钮停泵 等待20分钟后关闭冷却水和N2阀 工艺气体特点介绍 从上面的工艺气体的反应来看 对于硅烷和氨气的键能来看 氨气的键能大于硅烷的键能 所以在辉光放电时 要先通氨气 在通硅烷 这样才能使之共同进行辉光放电 硅烷SiH4 危险性概述爆炸危险 易燃 暴露在空气中能自燃 健康危害 吸入硅烷蒸气后 引起头痛 头晕 发热 恶心 多汗 严重者面色苍白 脉搏微弱 陷入半昏迷状态 脱离现场至空气新鲜处 保持呼吸道通畅 必要时进行人工呼吸 就医 消防措施危险特性 易燃 遇明火 高热极易燃烧 暴露在空气中能自燃 与氟 氯等发生剧烈的化学反应 灭火方法 切断气源 若不能立即切断气源 则不允许熄灭正在燃烧的气体 喷水冷却容器 可能的话将容器从火场移至空旷处 灭火剂 二氧化碳 硅烷SiH4 泄漏应急处理迅速撤离泄漏污染区 人员至上风处 并隔离至气体散去 切断火源 建议应急处理人员戴自给正压式呼吸器 穿一般消防护服 切断气源 喷洒雾状水稀释 抽排 室内 或强力通风 室外 如有可能 将残余气或漏出气用排风机送至水洗塔或与塔相连的通风橱内 漏气容器不能再用 且要经过技术处理 以除去可能剩下的气体 硅烷SiH4 爆炸危险 易燃 能与空气混合形成爆炸性气体 遇明火及高热会燃烧 爆炸 健康危害 低浓度氨对粘膜有刺激作用 高浓度可造成组织溶解坏死 急性中毒 轻度者出现眼泪 咽痛 声音嘶哑 咳嗽 咯痰等 眼结膜 鼻粘膜 咽部充血 水肿 胸部X线症象符合支气管炎或支气管周围炎 中度中毒 上述症状加重 出现呼吸困难 紫绀 胸部X线症象符合肺炎或间质性肺炎 严重者可发生中毒性肺水肿 或有呼吸道窘迫综合症 患者剧烈咳嗽 咯大量粉红色泡沫痰 呼吸窘迫 谵意 昏迷 休克 可发生喉头水肿或支气管粘膜坏死脱落窒息 高浓度NH3可引起反射性呼吸停止 浓氨或高浓度氨可致眼灼伤 浓氨可致皮肤灼伤 氨气NH3 环境危害 对环境有严重危害 应特别注意对地表水 土壤 大气和饮用水的污染 皮肤接触 立即脱去被污染的衣着 应用2 硼酸液或大量清水冲洗 就医 眼睛接触 立即提起眼睑 用大量流动清水或生理盐水彻底清洗 至少15分钟 就医 吸入 迅速脱离现场至空气新鲜处 保持呼吸道通畅 如呼吸困难 给输氧 如呼吸停止 立即进行人工呼吸 就医 危险特性 易燃 与空气混合能形成爆炸性混合物 遇明火 高热能引起燃烧 爆炸 与氟 氯等接触会发生剧烈的化学反应 若遇高热 容器内压增大 有开裂和爆炸的危险 氨气NH3 灭火方法 消防人员必须穿戴全身防火防毒服 切断气源 若不能立即切断气源 则不允许熄灭正在燃烧的气体 喷水冷却容器 可能的话将容器从火场移至空旷处 灭火剂 雾状水 抗溶性泡沫 二氧化碳 砂土 氨气NH3 泄漏应急处理迅速撤离泄漏污染区 人员至上风向 并立即隔离150米 严格限制出入 切断火源 建议应急处理人员戴自给正压式呼吸器 穿防毒服 尽可能切断泄漏源 合理通风 加速扩散 高浓度泄漏区 喷含HCl的喷雾水中和 稀释 溶解 构筑围堤或挖坑收容产生的大量废水 如可能将残余气或漏出气体用排风机送至水洗塔或与塔相连的通风橱内 储罐区最好设稀酸喷洒设施 漏气容器要妥善处理 修复 检验后再用 氨气NH3 Si3N4的认识 Si3N4膜的颜色随着它的厚度的变化而变化 其理想的厚度是73 77nm之间 表面呈现的颜色是深蓝色 Si3N4膜的折射率在1 9 2 1之间为最佳 与酒精的折射率相乎 通常用酒精来测其折射率 Si N比对SiNx薄膜性质的影响 电阻率随x增加而降低折射率n随x增加而增加腐蚀速率随密度增加而降低 镀膜的作用与膜的要求 SiNx的优点 优良的表面钝化效果 高效的光学减反射性能 厚度折射率匹配 低温工艺 有效降低成本 反应生成的H离子对硅片表面进行钝化 Si3N4膜的作用 减少光的反射 良好的折射率和厚度可以促进太阳光的吸收 防氧化 结构致密保证硅片不被氧化 PECVD机械手操作界面 PECVD整个程序的运行过程中的控制 影响PECVD膜的因素 沉积温度沉积压强气体流量 比例微波功率 最大功率 ton toff传输速度 微波功率 较高的P mean 稍微提高沉积速率 P peak 调整等离子体分布长度 压强 较高压强 较低的沉积速率 温度 较高温度 稍微降低沉积速率 气流量 较高气流量 较高的沉积速率 气体比例 更多SiH4 提高折射率 各个条件影响分析 1影响PECVD膜厚的有程序运行时间太长炉内的压力太大辉光放电时的电压太大真空度有泄露去PSG清洗不干净2影响镀膜的薄的原因有程序运行时间短炉内的压力小辉光放电时的电压小气体流量少3影响膜的折射率低的原因有气体流量不稳定 影响膜不均匀的主要因素 4影响电池片在片内不均匀的有辉光放电时电压控制不准确 气体流量不准确炉内气体压强不准确真空有泄露舟已经超过最大位置桨上的舟已经丢失5电池片上没有膜的出现辉光放电的电极关闭没有气体流过 更改资料 打开SETUP菜单 点击BOAT更改或删除舟的资料 选择你要更改或删除的舟的资料 输入密码后显示 设定 Setboatactactiveforhandling 删除 Deleteloadinformationofthisboat选择Deleteloadinformationofthisboat 删除石墨舟的信息 更改资料 选择Setboatactactiveforhandling点击NEXT在BOATID中更改舟号 在PROCESSTUBE中选择运行工艺的管号 点击NEXT在Actualboatlocation中选择舟的实际的位置 在BOATSTATE NOTACTIVE中选择舟的状况 点击NEXT在Recipe中选择工艺文件 在Lotsinboat中输入操作者 点Finish完成设定 厚度的均匀性 nominal约75nm 同一硅片 5 同一片盒内的硅片 5 不同片盒内的硅片 5 折射率 nominal约2 05 同一硅片 0 5 同一片盒内的硅片 0 5 不同片盒内的硅片 0 5 PECVD对膜的要求 PECVD安全注意事项 人身安全舟和桨从炉管中出来后带有高温 移动小车时要注意不要被烫伤 机器在自动运行状态下严禁进入机器内部 进入机器前 需把选择开关打到手动 HAND 待机械手执行完命令停下后 方可进入机器 清理管内碎片时需戴上高温手套和防护眼镜 接触到碎片时 务必戴好乳胶手套 以防刺到手 做吸笔时 要防止吸笔切断的部分对自己或他人造成伤害 上班要精神饱满 动作严禁 自主创新 必须按章操作 设备设施工夹具的安全机器在生产的过程中需有人看护 未经培训合格不得操作设备 未经授权严禁使用工序长得权限操作机器 推小车进机器时 要首先确定电极孔的位置对内向炉体 否则有可能撞坏高频的两根电极 在SLS处于UP位置时 管内有舟不可手动进桨 在SLS处于DOWN位置时 桨上有舟不得手动进舟 桨上有舟时 舟不在正确位置 不准切换到自动运行状态 PECVD安全注意事项 舟位于储存架时 一定要确认储存架上的感应器有没有感应到 遇到两舟向撞时 立即按压 HANDLINGSTOP 机械臂把舟抓到桨上后 工艺无法正常运行 先确定舟在桨上的位置 以及Tube ready SLS up TGA yes