ZYGO干涉仪GPI-XP-D常用命令中文注解.doc

ZYGO干涉仪常用命令中文注解Sm Aperture 小孔径Measure 测量测试按钮（也可用F1键）Analyze 分析数据分析（对已保存数据进行分析）Mask data 屏蔽数据区域选择（测试和参考区域）Save data 保存数据对测试数据起保存作用Load data 载入数据导入已保存数据的按钮Calibrate 校准校准按钮（打开进入校准界面）Reset 复位点击可初始化程序Measure ctrl 测量控制数据控制按钮Analyze ctrl 分析控制S/W Map 图S/W Profile 剖面图Slope Mag 斜面图Slope x x方向斜面Slope y y方向斜面PSF 点列图MTF 调制传递函数MTF Profile 传函图Zernikes 泽尼克多项式Intensity 亮度ISO 10110-5 ISO-10110窗口SynthFringe 合成的条纹Environment Test 环境测试Measure Attr 测量属性Analyze Attr 分析属性Process 方法Report 报告Units 单位Video Monitor 影像监视器Clear 清除Apply 应用Size 尺寸Pix 大小Masks 屏蔽Circle 圆形Square 方形Ellipse 椭圆Rectangle 矩形Polygon 多边形Curve 曲线Move 移动Copy 复制Resize 调整大小Adjust 调整Fill 填充Unfil 挖掉Delete 删除Pick 选取PickAll 选取所有BG Exc 去掉背景Auto inc 自动包括Fringes 条纹Acq 默认Test 测试Ref 查询Define 定义Show 显示Undef 撤销定义Width 宽度Height 高度Fiducials 基准Surface/warfront map 表面/波前图Zernike terms 泽尼克项Zernike sample 泽尼克取样Fr RMST 均方根Radius （nominal） 半径（标称）Radius （measured） 半径（实测）Select results 选择结果Wavelength 波长Part diameter 零件直径有效口径包括光图SAG（N），规则IRR（N）等参数球面测量时需这里输入标称R、实测R、测试波长、样件口径，可以计算SAG；平面测试时只需要填入波长即可，默认546.07nm。中间一排选择开关，选中即显示Synthetic fringe map 合成条纹图Scale 缩放比例Narrow 缩小Tilt fringes 倾斜条纹Tilt direction 倾斜方向Data sign 数据正负号Scale factor 比例系数Camera Res 摄像机物测量时的一些信息，该窗口不可更改Removed 远离Auto aperture 自动孔径Aperture size 孔径大小Trimmed 裁边Trim mode 调整方式Filter 滤光镜Type 类型Window size 窗口大小Freq 频率Print