纳米材料的制备.ppt

纳米材料的制备技术 检测及表征 纳米材料 指在三维空间中至少有一维处于纳米尺度范围 1 100nm 或由它们作为基本单元构成的材料 与常规材料相比 纳米材料表现出一些物理效应和奇特的物理特性 制备技术是纳米科技的关键 影响纳米材料的微观结构和宏观性能 通过不同的制备技术可以得到纳米颗粒材料 纳米膜材料 纳米固体材料等等 纳米材料 这一章介绍这些纳米材料的制备技术 检测及表征 纳米的概念纳米 是英文nanometer的译名 是一种度量单位 1纳米为百万分之一毫米 即1毫微米 也就是十亿分之一米 约相当于45个原子串起来那么长 纳米结构通常是指尺寸在100纳米以下的微小结构 纳米研究的范围是1到100纳米 0 1纳米是单个氢原子的尺寸 因此所谓0 1纳米层面的 纳米技术 是不存在的 纳米材料的特性A 特殊的光学性质当黄金被细分到小于光波波长的尺寸时 便失去了原有的富贵光泽而呈黑色 事实上 所有的金属在超微颗粒状态都呈现为黑色 尺寸越小 颜色愈黑 银白色的铂 白金 变成铂黑 金属铬变成铬黑 金属超微颗粒对光的反射率很低 通常可低于l 大约几微米的厚度就能完全消光 利用这个特性可以高效率地将太阳能转变为热能 电能 还可能应用于红外敏感元件 红外隐身技术等 1991年春的海湾战争 美国F 117A型隐身战斗机外表所包覆的材料中就包含有多种纳米超微颗粒 它们对不同波段的电磁波有强烈的吸收能力 以欺骗雷达 达到隐形目的 成功地实现了对伊拉克重要军事目标的打击 B 特殊的热学性质固态物质在其形态为大尺寸时 其熔点是固定的 超细微化后其熔点将显著降低 当颗粒小于10纳米量级时尤为显著 例如 金的常规熔点为1064 当颗粒尺寸减小到10纳米时 则降低27 2纳米尺寸时的熔点仅为327 左右 银的常规熔点为670 而超微银颗粒的熔点可低于100 因此 超细银粉制成的导电浆料可以进行低温烧结 此时元件的基片不必采用耐高温的陶瓷材料 甚至可用塑料 金属纳米颗粒表面上的原子十分活泼 可用纳米颗粒的粉体作为火箭的固体燃料 催化剂 例如 在火箭发射的固体燃料推进剂中添加l 重量比的超微铝或镍颗粒 每克燃料的燃烧热可增加l倍 C 特殊的磁学性质人们发现鸽子 海豚 蝴蝶 蜜蜂以及生活在水中的趋磁细菌等生物体中存在超微的磁性颗粒 使这类生物在地磁场导航下能辨别方向 具有回归的本领 磁性超微颗粒实质上是一个生物磁罗盘 生活在水中的趋磁细菌依靠它游向营养丰富的水底 通过电子显微镜的研究表明 在趋磁细菌体内通常含有直径约为2 10 2微米的磁性氧化物颗粒 当颗粒尺寸减小到2 10 2微米以下时 其矫顽力可增加1千倍 若进一步减小其尺寸 大约小于6 10 3微米时 其矫顽力反而降低到零 呈现出超顺磁性 利用磁性超微颗粒具有高矫顽力的特性 已作成高贮存密度的磁记录磁粉 大量应用于磁带 磁盘及磁卡中 利用超顺磁性 已将磁性超微颗粒制成用途广泛的磁性液体 D 特殊的力学性质由于纳米材料粒度非常微小 具有良好的表面效应 1克纳米材料的表面积达到几百平方米 因此 用纳米材料制成的产品其强度 柔韧度 延展性都十分优越 就象一种有千万对脚的毛毛虫 当它吸附在光滑的玻璃面上时 由于接触面积大 12级台风有也吹不掉它 陶瓷材料在通常情况下呈脆性 陶瓷茶壶一摔就碎 然而由纳米超微颗粒压制成的纳米陶瓷材料 竟然可以象弹簧一样具有良好的韧性 研究表明 人的牙齿之所以具有很高的强度 是因为它是由磷酸钙等纳米材料构成的 呈纳米晶粒的金属要比传统的粗晶粒金属硬3 5倍 至于金属 陶瓷等复合纳米材料 其应用前景十分宽广 E 特殊的电学性质由于颗粒内的电子运动受到限制 电子能量被量子化了 结果表现为当在金属颗粒的两端加上合适电压时 金属颗粒导电 而电压不合适时金属颗粒不导电 原来是导体的铜等金属 在尺寸减少到几个纳米时就不导电了 而绝缘的二氧化硅等 电阻会大大下降 失去绝缘特性 变得能导电了 还有一种奇怪的现象 当金属纳米颗粒从外电路得到一个额外的电子时 金属颗粒具有了负电性 它的库仑力足以排斥下一个电子从外电路进入金属颗粒内 从而切断了电流的连续性 这就使得人们想到是否可以发展用一个电子来控制的电子器件 即所谓的单电子器件 单电子器件的尺寸很小 把它们集成起来做成计算机芯片其容量和计算速度不知要提高多少倍 基于利用STM对分子 原子进行搬迁的事实 人们产生了利用该技术制造分子存储器甚至原子存储器的梦想 物体的表面有原子的位置为 1 没原子为 0 这不就可以表示二进制吗 这不就是存储器吗 一个分子存储器能够存储的信息 相当于100万张光盘的存储量 而一张同样大小的原子存储器的容量 将能够存入人类有史以来的全部知识 1998年IBM公司用原子排成的世界上最小的广告 IBM 由于纳米机器人可以小到在人的血管中自由的游动 对于象脑血栓 动脉硬化等病灶 它们可以非常容易的予以清理 而不用再进行危险的开颅 开胸手术 纳米仿生机器人可以为人体传送药物 进行细胞修复等工作 纳米机器人在疏通血管 铜表面原子的重构 48个铁原子构成围栏 內部形成电子驻波 纳米颗粒的特性归结为四个方面的效应 表面与界面效应会引起纳米粒子表面原子输运和构型的变化 同时也引起表面电子自旋构象和电子能谱的变化 2 小尺寸效应粒子的尺寸与光波波长 德布罗意波长以及超导态的相干长度或者透射深度等物理特征尺寸相当或更小时 晶体周期性的边界条件将被破坏 3 量子尺寸效应粒子尺寸降到某一个值时 费米能级附近的电子能级由准连续能级变为离散能级 纳米半导体颗粒存在不连续的最高占据分子轨道HOMO和最低未被占据分子轨道LUMO能级 能级变宽的现象称为量子尺寸效应 4 宏观量子隧道效应纳米粒子在宏观上具有贯穿势垒的能力 很久以前 我国人们用石蜡做成蜡烛 用光滑的陶瓷在蜡烛火焰的上方收集烟雾 经冷凝后变成很细的碳粉 实际上就是纳米粉体 但在当时的条件下他们并不知道纳米材料的概念 也没有任何手段来分析这些纳米小颗粒 然而 他们知道用这种方法获得的超细碳粉所做成的墨具有良好的性能 应该说这种方法是制备纳米材料的最简单方法 在科学技术高度发展的今天 人工制备纳米材料的方法得到了很大的发展 通常采用两个不同的途径得到纳米材料 目前纳米材料制备常采用的方法 各种方法有各自的特点和适用范围 气相法制备纳米颗粒 一 蒸发 冷凝法此种制备方法是在低压的Ar He等惰性气体中加热金属 使其蒸发汽化 然后在气体介质中冷凝后形成5 100nm的纳米微粒 通过在纯净的惰性气体中的蒸发和冷凝过程获得较干净的纳米粉体 右图为该方法的典型装置 气相法制备纳米颗粒 一 蒸发 冷凝法 电阻加热法 欲蒸发的物质 例如 金属 CaF2 NaCl FeF2等离子化合物 过渡族金属氮化物及氧化物等 置于坩埚内 通过钨电阻加热器或石墨加热器等加热装置逐渐加热蒸发 产生元物质烟雾 由于惰性气体的对流 烟雾向上移动 并接近充液氮的冷 却棒 冷阱 77K 在蒸发过程中 由元物质发出的原子与惰性气体原子碰撞因迅速损失能量而冷却 这种有效的冷却过程在元物质蒸汽中造成很高的局域过饱和 这将导致均匀成核过程 气相法制备纳米颗粒 一 蒸发 冷凝法 因此 在接近冷却棒的过程中 元物质蒸汽首先形成原子簇 然后形成单个纳米微粒 最后在冷却棒表面上积聚起来 用聚四氟乙烯刮刀刮下并收集起来获得纳米粉 特点 加热方式简单 工作温度受坩埚材料的限制 还可能与坩埚反应 所以一般用来制备Al Cu Au等低熔点金属的纳米粒子 气相法制备纳米颗粒 一 蒸发 冷凝法 2 高频感应法以高频感应线圈为热源 使坩埚内的导电物质在涡流作用下加热 在低压惰性气体中蒸发 蒸发后的原子与惰性气体原子碰撞冷却凝聚成纳米颗粒 特点 采用坩埚 一般也只是制备象低熔点金属的低熔点物质 气相法制备纳米颗粒 一 蒸发 冷凝法 3 溅射法此方法的原理如图 用两块金属板分别作为阳极相阴极 阴极为蒸发用的材料 在两电极间充入Ar气 40 250Pa 两电极问施加的电压范围为0 3 1 5kv 由于两极间的辉光放电使Ar离子形成 在电场的作用下Ar离子冲击阴极靶材表面 使靶材原产从其表面蒸发出来形成超微粒子 并 在附着面上沉积下来 粒子的大小及尺寸分布主要取决于两电极间的电压 电流和气体压力 靶材的表面积愈大 原子的蒸发速度愈高 超微粒的获得量愈多 气相法制备纳米颗粒 一 蒸发 冷凝法 用溅射法制备纳米微粒有以下优点 1 可制备多种纳米金属 包括高熔点和低熔点金属 常规的热蒸发法只能适用于低熔点金属 2 能制备多组元的化合物纳米微粒 如A152Ti48 Cu91Mn9及ZrO2等 3 通过加大被溅射的阴极表面可提高纳米微粒的获得量 气相法制备纳米颗粒 一 蒸发 冷凝法 4 流动液面真空蒸镀法该制备法的基本原理是 在高真空中蒸发的金属原子在流动的油面内形成极超微粒子 产品为含有大量超微粒的糊状油 如图 高真空中的蒸发是采用电子束加热 当水冷铜坩埚中的蒸发原料被加热蒸发时 打开快门 使蒸发物镀在旋转的圆盘表面上 形成了纳米粒子 含有纳米粒子的油被甩进了真空室沿壁的容器中 然后将这种超微粒含量很低的油在真空下进行蒸馏 使它成为浓缩的含有纳米粒子的糊状物 气相法制备纳米颗粒 一 蒸发 冷凝法 此方法的优点有以下几点 可制备Ag Au Pd Cu Fe Ni Co AI In等纳米颗粒 平均粒径约3nm 而用惰性气体蒸发法很难获得这样小的微粒 粒径均匀 分布窄 如图 纳米颗粒分散地分布在油中 粒径的尺寸可控 即通过改变 蒸发条件来控制粒径大小 例如蒸发速度 油的粘度 圆盘转速等 圆盘转速高 蒸发速度快 油的粘度高均使粒子的粒径增大 最大可达8nm 气相法制备纳米颗粒 一 蒸发 冷凝法 5通电加热蒸发法此法是通过碳棒与金属相接触 通电加热使金属熔化 金属与高温碳棒反应并蒸发形成碳化物超微粒子 右图为制备SiC超微粒于的装置图 碳棒与Si板 蒸发材料 相接触 在蒸发室内充有Ar或He气 压力为1 10kP 在碳棒与Si板间通交流电 几百A Si板被其下面的加热器加热 随Si板温度上升 电阻下降 电路接通 当碳棒温度达白热程度时 Si板与碳棒相接触的部位熔化 当碳棒温度高于2473K时 在它 的周围形成了SiC超微粒的 烟 然后将它们收集起来得到SiC细米颗粒 用此种方法还可以制备Cr Til V Zr Hf Mo Nb Ta和w等碳化物超微粒子 气相法制备纳米颗粒 一 蒸发 冷凝法7 激光诱导化学气相沉积 LICVD LICVD 法制备超细微粉是近几年兴起的 激光束照在反应气体上形成了反应焰 经反应在火焰中形成微粒 由氩气携带进入上方微粒捕集装置 该法利用反应气体分子 或光敏剂分子 对特定波长激光束的吸收 引起反应气体分子激光光解 紫外光解或红外多光于光解 激光热解 激光光敏化和激光诱导化学合成反应 在一定工艺条件下 激光功率密度 反应池压力 反应气体配比和流速 反应温度等 获得纳米粒子空间成核和生长 激光入射窗 气相法制备纳米颗粒 一 蒸发 冷凝法 激光辐照硅烷气体分子 SiH4 时 硅烷分子很容易热解热解生成的气构硅Si g 在一定温度和压力条件下开始成核和生长 形成纳米微粒 特点 该法具有清洁表面 粒子大小可精确控制 无粘结 粒度分布均匀等优点 并容易制备出几纳米至几十纳米的非晶态或晶态纳米微粒 2 气相法制备纳米颗粒 一 蒸发 冷凝法8 化学蒸发凝聚法 CVC 这种方法主要是通过有机高分子热解获得纳米陶瓷粉体 原理是利用高纯惰性气作为载气 携带有机高分子原料 例如六甲基二硅烷 进入钼丝炉 温度为1100 1400 气氛的压力保持在1 10mbar的低气压状态 在此环境下原料热解形成团簇进一步凝聚成纳米级颗粒 最后附着在一个内部充满液氮的转动的衬底上 经刮刀刮下进行纳米粉体收集 示意图如图所示 这种方法优点足产量大 颗粒尺寸小 分布窄 气相法制备纳米颗粒 一 蒸发 冷凝法9 爆炸丝法这种方法适用于制备纳米金属和合金粉体 基木原理是先将金属丝固定在一个充满惰性气体 50bar 的反应室中 丝的两端卡头为两个电极 它们与一个大电容相联结形成回路 加15kV的高压 金属丝500一800kA下进行加热 融断后在电流 停止的一瞬间 卡头上的高压在融断处放电 使熔融的金属在放电过程中进一步加热变成蒸汽 在惰性气体F碰撞形成纳米粒子沉降在容器的底部 金属丝可以通过一个供丝系统自动进入两卡头之间 从而使上述过程重复进行 如图所示 液相法制备纳米颗粒 液相法 制备纳米材料的开始状态为液态 它是选择一种或多种合适的可溶性金属盐类 Ba NO3 TiNO3 与溶剂配制成溶液 使各元素呈离子或分子状态 采用合适的沉淀剂沉淀 蒸发 升华 水解得到纳米颗粒 液相法也是目前实验室和工业广泛采用的纳米材料的制备方法 主要用于氧化物纳纳米材料的制备 特点 设备简单 原料容易获得 纯度高 均匀性好 化学组成控制准确等优点 但适用范围较窄 主要用于氧化物纳纳米材料的制备 我们介绍常用的液相法 包括沉淀法 水热法 微乳液法 喷雾法和溶胶 凝胶法 液相法制备纳米颗粒 1 化学沉淀法包含 种或多种离子的可溶性盐溶液 当加入沉淀刘 如OH C2O42 CO32 等 后 或于一定温度下使溶液发生水解 形成不溶性的氢氧化物成效类从溶液中析出 并将溶液中原有的阴离子洗去 经热分解即得到所得的氧化物粉料 稳定氧化锆陶瓷的化学沉淀法制备 2 水热法 高温水解法 水热反应是高温高压下在水 水溶液 或蒸汽等流体中进行有关化学反应的总称 1982年开始用水热反应制备纳米粉末的水热法已引起国内外的重视 归纳起来 可分成以厂几种类型 水热氧化 典型反应可用下式表示 mM十nH2OMmOn H2其中M可为铬 铁及合金等 水热沉淀 例如KF MnCl2KMnF2 水热合成 比如FeTiO3 K0HK2O nTiO2 水热还原 比如MexOy yH2xMe yH2O其中Me可为铜 银等 水热分解 比如ZrSiO4 NaOHZrO2 Na2SiO3 水热结晶 比如Al OH 3Al203 H2O 3 微乳液法 微乳液法就是采用微乳液来制备纳米材料的方法微乳液为两种互不相溶的液相 一相以微液滴形式 直径约为1 200nm 分散在另一相中所形成的分散体系 微乳液 表面活性剂 水 油常用的油 水体系有 柴油 水 煤油 水 汽油 水 甲苯的醇溶液 水等等 常用的表面活性剂有 琥铂酸二异辛脂磺酸钠 AOT 十二烷基硫酸钠 SDS 等等 特点 微乳液法具有原料便宜 实验装置简单 操作容易 反应条件温和 粒子尺寸可控 而广泛用于纳米材料的制备 微乳液法制备纳米材料的过程 ZrO2纳米粉末制备 4 喷雾法 喷雾法是将溶液通过各种物理手段进行雾化获得纳米粒子的一种化学与物理相结合的方法 它的基本过程包括溶液的制备 喷雾 干燥 收集和热处理 其特点是颗粒分布比较均匀 具体的尺寸范围取决于制备工艺和喷雾的方法 喷雾法可根据雾化和凝聚过程分为三种方法 1 喷雾干燥法 将金属盐水溶液或氢氧化物溶胶送入雾化器 由喷嘴高速喷入干燥室获得了金属盐或氧化物的微粒 收集后再倍烧成所需要成分的纳米粒子 2 雾化水解法 此法是将一种盐的超微粒子 由惰性气体载入含有金属醇盐的蒸气室 金属醇盐蒸气附着在超微粒的表面 与水蒸气反应分解后形成氢氧化物微粒 经焙烷后获得氧化物的纳米颗粒 3 雾化焙烧法 此法是将金属盐溶液经压缩空气由窄小的喷嘴喷出而雾化成小液滴 雾化室温度较高 使金属盐小液滴热解个成了纳米粒子 例如 将硝酸镁和销酸铝的混合溶液经此法可合成镁 铝尖晶石 例如 将NiSO4 Fe2 SO4 3和ZnSO4的水溶液按一定比例混合后喷雾干燥得到小颗粒 再在800 1000oC下焙烧得到磁性材料Ni Zn铁氧体Ni Zn Fe2O4 特点 可连续生产 操作简单 但有些盐类分解时有毒气产生 5 溶胶 凝胶法 溶胶一凝胶法是60年代发展起来的 种制备玻璃 陶瓷等无机材料的新工艺 近年来许多人用此法来制备纳米微粒 其基本原理是 将金属醇盐或无机盐经水解 然后使溶质聚合凝胶化 再将凝胶干燥 缎挠 最后得到无机材料 溶胶一凝胶法包括以下几个过程 1 溶胶的制备 有两种方法制备溶胶 是先将部分或全部组分用适当沉淀剂先沉淀出来 经解凝 使原来团聚的沉淀颗粒分散成原始颗粒 因这种原始颗粒的大小一般在溶胶体系中胶核的大小范围 因而可制得溶胶 另一种方法是由同样的盐溶液出发 通过对沉淀过程的仔细控制 使首先形成的颗粒不致团聚为大颗粒而沉淀 从而直接得到溶胶 2 溶胶一凝胶转化 溶胶中含大量的水 凝胶化过程中 使体系失去流动性 形成一种开放的骨架结构 实现胶凝作用的途径有两个 一是化学法 通过控制溶胶中的电解质浓度来实现胶凝化 二是物理法 迫使胶粒间相互靠近 克服斥力 实现胶凝化 3 凝胶干燥 在一定条件下 如加热 使溶剂蒸发 得到粉料 干燥过程中凝胶结构变化很大 溶胶一凝胶法的优缺点如下 化学均匀性好 由于溶胶 凝胶过程中 溶胶由溶液制得 故胶粒内及胶粒间化学成分完全一致 高纯度 粉料 持别是多组分粉料 制备过程中无需机械混合 颗粒细 粉体颗粒尺寸小于100nm 该法可容纳不溶性组分或不沉淀组分 不溶性颗粒均匀地分散在含不产生沉淀的组分的溶液中 经胶凝化 不溶性组分可自然地固定在凝胶体系中 不溶性组分颗粒越细 体系化学均匀性越好 供干后容易形成硬团聚现象 在氧化物中多数是桥氧链的形成 再加上球形凝胶颗粒自身烧结温度低 但凝胶颗粒之间烧结性差 块体材料烧结件不好 干燥时收缩大 固相法制备纳米材料 一 机械粉碎 高能球磨 法 1988年 日本京都大学首光采用高能球磨法制备A1一Fe纳米晶材料 近年来 高能球磨法已成为制备纳米材料的一种重要方法 高能球磨法是将粗粉体和硬球 钢球 陶瓷球 或玛瑙球 按比例放进球磨机的密封容器内 利用球磨机的转动或振动 使硬球对原料进行强烈的撞击 研磨和搅拌 把金属或合金粉末粉碎为纳米级微粒的方法 机械粉碎 高能球磨 法1 球磨方式 滚动球磨 搅拌球磨 振动球磨 高能球磨法已成功地制备出以下几类纳米晶材料 纳米晶纯金属 互不相溶体系的固溶体 纳米金属间化合物及纳米金属 陶瓷粉复合材料 2 高能球磨法制备的纳米材料 1 纳米晶纯金属制备 高能球磨过程中 纯金属纳米晶的形成是纯机械驱动下的结构演变 几种纯金属元素高能球磨后晶粒尺寸 真空或氩气分保护下制备 2 不互溶体系纳米固体的形成 用机械合含化方法 可将相图上几乎不互溶的几种元素制成固溶体 这是用常规熔炼方法根本无法实现的 从这个意义上来说 机械合金化方法制成的新型纳米合金 为发展新材料开辟了新的途径 近几十年来 用此法已成功地制备多种纳米固溶体 3 纳米金属间化合物 金属间化合物是一类用途广泛的合金材料 纳米金属间化合物 特别是一些高熔点的金属间化合物 在制备上比较困难 日前已在Fe B Ti Si Ti B Ti Al B Ni Si V C W C Si C Pd Si Ni Mo Nb A1等10多个合金系中用高能球磨的方法 制备了不同晶粒尺寸的纳米金属间化合物 4 纳米尺度的金属 陶瓷粉复合材料 高能球磨法也是制备纳米复合材料的行之有效的方法 它可以把金属与陶瓷粉 纳米氧化物 碳化物等 复合在一起 获得具有特殊性质的新型纳米复合材料 如把几十纳米的Y203粉体复合到Co Ni Zr合金中 Y203仅占1 5 它们在合金中呈弥散分布状态 使得Co Ni Zr合金的矫顽力可提高约两个数量级 特点 高能球磨法制备的纳米金属与合金结构材料产量高 工艺简单 并能制备出用常规方法难以获得的高熔点的金属或合金纳米材料 近年来已越来越受到材料科学工作者的重视 但是 晶粒尺寸不均匀 易引入某些杂质 二 非晶晶化法非晶晶化法 采用快速凝固法将液态金属制备非晶条带 再将非晶条带经过热处理使其晶化获得纳米晶条带的方法 用非晶晶化法制备的纳米结构材料的塑性对晶粒的粒径十分敏感 只有晶粒直径很小时 塑性较好 否则材料变得很脆 因此 对于某些成核激活能很小 晶粒长大激活能人的非晶合金采用非晶晶化法 才能获得塑性较好的纳米晶合金 特点 工艺较简单 化学成分准确 三 直接淬火法这是近年来刚刚研制成功的一种新的制备方法 其原理足控制液体合金的淬火速度 获得纳米晶材料 这种方法适用于制备纳米合金大块材料 最近英国 法国 印度和我国利用这种方法已成功地在近等原子Ni Ti合金加Si的体系中获得了Ti2Ni纳米晶材料 淬火速率的控制是本方法的关键 直接淬火法 纳米固体 块体 膜 的制备方法 纳米材料需要制备成各种形式以满足各种应用的需要 纳米固体 块体 膜 是重要的形式 它的制备方法是近几年逐渐发展起来的 一 纳米金属与合金块体材料的制备法 惰性气体蒸发 原位加压制备法 制备纳米金属固体的步骤 制备纳米颗粒颗粒收集压制成块体 为了防止氧化 上述步骤一般都是在真空 10 6Pa 中进行 一 纳米金属与合金块体材料的制备法 惰性气体蒸发 原位加压制备法 这里着重介绍一下原位加压制备纳米块体的部分由惰性气体蒸发制备的纳米金属或合金微粒 在真空中由聚四氟乙烯刮刀从冷阱上刮下 经漏斗直接落入低压压实装置 粉体在此装置经轻度压实后 由机械手将它们迭至高压原位加压装置 压制成块状试样 压力为1 5GPa 温度为300 800K 液氮 蒸发源 漏斗 蒸发源 真空泵 隋性气体 真空室 一 纳米陶瓷块体材料的制备法由于纳米陶瓷呈现出许多优异的持性 因此引起人们的关注 目前 材料科学工作者正在摸索制备具有高致密度的纳米陶瓷的工艺 1 无压烧结 静态烧结 法该工艺过程是将无团聚的纳米粉 在室温下经模压成块状试样 然后在一定的温度下烧结使其致密化 无压烧结工艺简单 不需特殊的设备 因此成本低 但烧结过程中 易出现晶粒快速的长大 使得纳米陶瓷的优点有所损失 为了防止无压烧结过程中晶粒的长大 在主体粉中掺人一种或多种稳定化粉体 使得烧结后的试样晶粒无明显长大 并能获高致密度 2 加压烧结 静态烧结 法无团聚的粉体在一定压力下进行烧结 称为加压烧结或称热压 该工艺与无压力烧结工艺相比较 其优点是对于许多本掺杂的纳米粉 通过加压烧结 可制得具有较高致密度的纳米陶瓷 并且晶粒无明显长大 但该工艺要求的设备比无压烧结