JS-3-MP03521 静电量测试操作程序A1.doc

華 宇 電 腦 (江蘇) 有 限 公 司ARIMA COMPUTER ( Jiangsu )CORP.文件編號JS-3-MP03521文件名稱制定單位工程處保密等級機密靜電量測試操作程序保存年限永久總頁數4文件類別 MPI版本頁次章節變更內容制訂審查核准核准日A0ALLALL 新發行周曉華王士源2001/3/15A1ALLALL內容更正周曉華相 關 單 位 會 簽1.目的: 藉由定期檢測以了解廠區內靜電線,靜電桌墊及地板的阻抗值是否在標準,內以防止電子 零件遭受電毀損,確保產品品質.2.適用範圍: 凡廠內所有靜電線、靜電桌墊及地板阻抗之量測均適用.3 .權責: 3.1 低阻計/阻抗計定期校驗-製工處儀校室. 3.2 廠內所有靜電線及地板阻抗定期檢驗-製工處設備課. 3.3 廠內所有靜電桌墊阻抗定期檢驗- 製一部,製二部,品保處.4. 量測所需設備 4.1 低阻計 (廠牌:KYORITSV,型號:4102 ). 4.2 阻抗計 (廠牌:TESTAT,型號:SRM100 ). 4.3 量測之設備須依據儀校室規定定期校驗.5. 規格及依據 5.1 靜電線阻抗量測:a. 規格: 阻抗值50以下.b. 參考依據:電工法規內之第二種接地規範. 5.2 靜電桌墊阻抗量測: 5.2.1 規格:上層阻抗值107109,下層阻抗104106. 5.2.2 參考依據: 原廠提供 . 5.3 地板阻抗量測:a. 規格:導電地板阻抗值104106,防靜電地板阻抗值107109. 6.量測週期” 6.1 靜電線量測: 每三個月量測一次. 6.2 靜電桌墊量測: 每三個月量測 一次. 6.3 地板接地值量測: 每三個月量測一次. 7. 量測頂目: 7.1 靜電線阻抗量測步驟; 7.1.1 低阻計/量測前調整檢查:a. 低阻計:按BATT CHECK 按鈕,指針是應指於GOOD之區域. 7.1.2 靜電總箱及各樓層分箱之量測: 將低阻計E接點接於主接地電极,然后將P及C接點於靜電箱之預留測試接點, 按下X10 按鈕,再按下 MEAS 按鈕,若指針超過滿刻度偏轉,則將X10 按鈕改成X100 按鈕再按下MEAS 按鈕,同理當指針偏轉小於10 則將X10 按鈕改成X1 按鈕再按下MEAS 按鈕,並將測量值記錄 下來. 7.1.3 現場支線測量:a. 由靜電分箱之測試站( “P” 及 “C” ),各拉一條測試線到現場支線處之主 接點( “E” ).b. 操作低阻計量測 (方法如7.1.2),並將測量值記錄下來. 7.2 靜電桌墊阻抗量測步驟: 將阻抗計置於靜電桌墊上層.使阻抗計背面之測試接點能與桌 墊完全接觸.按下TEST 開關,查看指示燈之數值,並記錄下(來 桌墊下層測量方法亦同). 7.3 地板阻抗量測步驟: 7.3.1 量測點位置標示於柱子上(離地30 cm ),各量測點3公尺範圍內之地板皆為有效量 測點. 7.3.2 將阻抗計置於地板上面.使之阻抗計背面之測試點能與地板完全接觸.按下TEST 開關,查看指示之數什值,並記錄下來. 8.靜電接地線識別: 8.1 靜電總箱/靜電分箱: 箱體面板上銘牌,以供識別.箱內各接點分別貼上標籤,以識別主接 點 “E” 及測試點 “P” 及 “C”.8.2 現場各靜電分線: 為5.5mm2 藍色之絞線. 9.量測后之處理: 9.1 判定(1) 合格的判定標準: 讀值等級狀況靜電線阻抗09A极佳,可正常1029B佳,可正常使用3049C尚可,可正常使用50D差,應立即檢修重新配置靜電桌墊阻抗上層107109A极佳,可正常使用;反之,則須更換下層104106A极佳,可正常使用;反之,則須更換.地板阻抗導電地板104106A极佳,可正常使用;反之,則須更換.防靜電地板107109A极佳,可正常使用;反之,則須更換. 9.2 將量測使用的設備收歸定位. 10.應用表格/附件: 10.1 測試記錄表 (F-PE083). 11. 參考文件: 11.1 電工法規. 11.2 靜電桌墊原廠報告書. 11.3 低阻計 (MODEL 4102 ) 使用說