SU8200场发射扫描电镜技术说明文件.doc

SU8200SU8200场发射扫描电镜技术说明文件场发射扫描电镜技术说明文件 一 二次电子分辨率 一 二次电子分辨率 0 8 nm 加速电压 15 kV 工作距离4 mm 1 1 nm 着陆电压 1 kV 工作距离1 5 mm 减速模式 以上分辨率的测试都是基于日立电镜的分辨率测试标样 蒸金磁带样品 蒸金碳样品 二 放大倍率 二 放大倍率 低倍模式 20 到 2k 高倍模式 100 到 1000k 三 电子光学 三 电子光学 1 电子枪 冷场发射电子枪 带有柔性flash功能 2 加速电压 0 5 到 30 kV 着陆电压 0 01到 2 kV 3 透镜系统 三级电磁透镜系统 4 物镜光阑 四孔可调光阑 内置加热自清洁功能 5 扫描线圈 二级电磁式偏转线圈 高倍模式 一级电磁式偏转线圈 低倍模式 6 消像散器 八级电磁系统 X Y 7 探测器 低位 Lower 高位 Upper 和顶位 Top 三种探测器进行二次电子 背散射电子的接收 能谱系统 选配 8 束闸 电磁型 9 电位移 12 m 工作距离8 mm 注意 工作距离改变时 电位移范围会改变 四 样品室和样品台 四 样品室和样品台 1 样品台控制 五轴马达台 2 可移动范围和样品尺寸 SU8220SU8220SU8230SU8230SU8240SU8240 X0 50 mm0 110 mm0 110 mm Y0 50 mm0 110 mm0 80 mm Z1 5 30 mm1 5 40 mm1 5 40 mm T 5 70 R0 360 样品尺寸最大样品尺寸 直径 150 mm 3 可安装样品高度 SU8220SU8220SU8230 SU8240SU8230 SU8240 样品最大直径样品最大高度样品最大直径样品最大高度 26 mm17 mm 26 mm24 mm 75 mm8 mm75 mm15 mm 100 mm6 mm125 mm12 mm 150 mm2 mm150 mm8 mm 4 换样 预抽室 5 样品台控制 图形界面控制 自动样品更换位置定位功能 样品台移动轨迹存储功能 优中心旋转功能 图片导航功能 五 显示系统五 显示系统 1 用户界面 电脑显示器上的图形用户界面 2 电脑 操作系统 微软Windows 7 专业版 32位 操作台 鼠标 键盘 旋钮板 样品台控制方法 标配轨迹球 或选配操纵杆 3 显示器 24 1寸液晶显示器或同等配置的显示器 屏幕 1 920 1 200像素 4 扫描模式 二维图像显示 选区模式 点分析模式 平均浓度分析模式 图像显示模式 大屏显示模式 1280 960 单屏显示模式 800 600 双屏同时显示模式 800 600 四屏同时显示模式 640 480 选区显示模式 图像调整时使用 5 电子光学对中 电子束对中 光阑对中 像散对中 低倍对中 6 扫描模式 积分扫描 快扫 慢扫 缩小区域扫 高清捕图 积分捕图 荷电抑制扫描 CS扫描 7 扫描速度 TV 两级扫描速度 Rapid1 Rapid2 快扫 两级扫描速度 Fast1 Fast2 慢扫 七级扫描速度 Slow1 Slow7 CS扫描 七级扫描速度 CSS1 CSS7 选区扫描 8 自动调节功能 ABCC 自动亮度 对比度调节 自动聚焦 9 信号和图像处理功能 通过积分 图像的信噪比提高 桢积分 最大积分数量 1 024 TV和快扫模式 彩色图像显示 两种颜色混合图像显示 实时 伪彩图像显示 保存图像 存储图像处理 渐变转换 Gamma 调节 多重滤波处理 10 图像存储 图像存储尺寸 640 480 800 600 1 280 960 2 560 1 920 5 120 3 840像素 保存格式 BMP TIFF 8位 JPEG 11 图像打印 自由布局打印功能 12 保存数据图像的处理 图像管理和处理 SEM Data Manager 图片数据库管理 缩略图显示 多种图片处理功能 13 其他功能 束闸功能 图像冻结时 光栅旋转 倾斜补偿 测量功能 实时图像或存储图像 参数显示 照片号 加速电压 放大倍率 微标尺 工作距离 日期 时间 参数条被底 透明 黑色 数据输入和标注 圆 矩形 箭头 尺寸线 14 外部设备接口 USB 接口 网卡接口 15 X射线分析功能扫描模式 点扫描 面扫描 DBC接口 选配 六 真空系统六 真空系统 1 真空控制 完全自动气动阀系统 2 真空泵 离子泵 60 L s 1 20 L s 2 磁悬浮分子泵 300 L min 1 主抽气 机械泵 为减轻污染 推荐使用干泵 3 真空量规 全量程量规 皮拉宁规两个 控制真空系统 潘宁规一个 4 真空度 电子枪 10 8 Pa 样品室 10 4 Pa 5 样品交换室 六寸预抽室 七 保护措施七 保护措施 断电保护 断水保护 漏气保护 八 循环水八 循环水 冷却水循环 流速 1 0 1 5 L min 冷却物镜 水压 50 100 kPa 水温 10 to 20 C 10分钟内最大可变化0 5度 九 防污染措施九 防污染措施 液氮冷阱 十 十 SU8200SU8200系列扫描电镜 系列扫描电镜 SU8220 SU8230 SU8240SU8220 SU8230 SU8240 主机 1 显示单元 1 机械泵 1 空压机 1 标配专用工具 1 套 耗材及配件 1 套 操作手册 1 套 十一 尺寸及重量十一 尺寸及重量 长 宽 高重量 主机 SU8220 9908501 710 mm665 kg 主机 SU8230 9908501 745 mm740 kg 主机 SU8240 9908501 745 mm 745 kg 显示单元 1 120 1 100 1 200mm 275 Kg 空压机 210420520 mm16 kg 减震器 200180 160 mm 40 kg 十二 主要选项附件十二 主要选项附件 探测器 顶探头过滤器 YAG型BSE探测器 SU8220 SU8230 SU8240 扫透探测器 SU8220 SU8230 SU8240 半导体型BSE探测器 SU8220 SU8230 SU8240