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电极丝换向条纹的减弱和消除 高速走丝换向条纹的产生主要原因是切缝里冷却状态不均匀所致,换句话说就是凡是可以改善切缝里冷却状态的措施都可以减少条纹的产生,如果仅仅*钼丝短而频繁换向来掩盖条纹就会大大降低生产率,是一种视觉的感受,实际并没有解决问题。解决问题的办法有:增加冷却液的浓度来提高洗涤性;增加脉冲间隔来使液体尽量多的被带入;适当增加脉冲宽度,主要是建设波形的奇变,调整好跟踪等,但最主要的办法是选择好工作液,我试验过多种工作液,凡是切割面呈现油性的液体说明表面得到较好的冷却,而其中以南光1混DX-1和佳润系列产品最为明显,此外DX-4也还可以,但表面有发黄的现象,大家可以使用一下。当然最好的情况是在切割Cr12料时,几乎没有换向纹。 碳化硅微粉是最主要的用于多线切割机上的磨料之一,适合于切割比较硬而且脆的材料。线切割是由导轮带动细钢线高速运转,由钢线带动砂浆形成研磨的切割方式。在线切割机的切割过程中,悬浮液夹裹着碳化硅磨料喷落在细钢线组成的线网上,依赖于细钢线的高速运动,把研磨液运送到切割区,对紧压在线网上的工件进行研磨式切割,随着碳化硅磨料对工件的一次次刻划,逐渐把多余的材料带走,是一种类似于研磨的切削方法,这种机制也被称为:自由研磨切割加工。切削的主要因素由悬浮液以及碳化硅组成的砂浆中碳化硅的切割能力、钢线的张力、钢线运行速度和工件进给速度是影响刻划的主要因素。钢线的高速运动促使悬浮液携带着带有棱角的碳化硅颗粒以不断滚动的方式进入切割区,从而产生很强切削能力,由于钢线上加有一定的张力,使碳化硅磨料一般只沿钢线运动的方向逐渐对工件进行一次次切削,使工件沿细钢线的缝隙被切成一个个薄片,碳化硅磨料对细钢线侧向影响很小,所以薄片表面并看不到切割痕迹。机械参数对晶片切割的影响控制晶片质量的四个重要参数:钢线的张力、钢线的运动速度、工件的进给速度、砂浆切割能力。(1.)钢线的张力钢线张力的产生机构是由两条带有力矩马达或配重的两条张力臂组成的,是一个由PLC控制反馈系统,以便适当地控制钢线的张力。一般钢线的张力对切割的影响主要有一下3种形式:如果钢线的张力过小,将会导致钢线弯曲度增大,既线弓过大,钢线对晶棒产生的压力减少,切割效率下降。同时钢线摆动幅度增大,工件的厚度变化加剧,线痕片增多,晶片变的参差不齐。如果钢线张力过大,钢线的断线几率会大大增加。而且钢线携带的碳化硅颗粒会难以进入锯缝,造成硅片质量下降或切割效率降低。张力系统使用一段时间以后,很容易造成零点偏移,使钢线张力变化过大,这样一是容易造成断线,二是晶片质量难以保证,要及时校正。(2.)钢线的运动速度;和钢线张力不同,一般机床的钢线运动可以根据需要分为往复运动和单向运动两种形式,在单向运动的情况下,钢线始终保持一个速度和方向运动;在钢线往复运动的情况下,钢线速度是一个先由零点沿一个方向很快(一般2到3秒)加速到规定速度,运行一段时间后,再沿原方向慢慢降低到零点,停顿短暂时间(一般为0.2秒),然后再慢慢地反方向加速到规定的速度,再沿反方向慢慢降低到零点停顿短暂时间(一般为0.2秒)的周期循环过程。线切割机的切割效率在碳化硅切割能力内是随着钢线速度的提高而提高的,超出碳化硅的切割能力范围过快容易造成钢线摆动幅度过大,碳化硅颗粒难以黏附,薄片表面质量下降。超出碳化硅的切割能力范围过慢,切割能力跟不上工件的进给,不仅断线几率增加,而且会造成薄片表面质量严重下降。因此,钢线速度必须和碳化硅的切割能力保持一致,这需要根据经验来判断。(3.)工件的进给速度。工件的进给速度是整个切割时间的主要决定因素。但是工件进给速度的大小不是一个独立的参数,而是与钢线的运动速度以及所用砂浆的切割能力息息相关的,而且有时候还要根据工件形状在进给的不同位置采用不同的进给速度(例如:为保证圆形工件的表面TTV,可以在开始和结束其横截面变小时提高工件进给,在中间位置其截界面变大时降低工件进给速度。)。所以考虑工件的进给速度时一定要兼顾考虑钢线的运动速度、砂浆的切割能力、工件的形状以及工件的截面大小等因素。其过快和过慢产生的后果正好与钢线运动速度相反。悬浮液的粘度粘度是悬浮液的流变特性的衡量指标,它显示了悬浮液的流动特性,在线切割过程中碳化硅磨料是以与悬浮液组成的砂浆混合物的形态传输,悬浮液是碳化硅跟随钢线进入切割区的主要载体。所以,悬浮液的流变性在切割中的作用十分重要。根据以上分析,对悬浮液的粘度性质主要有以下4个方面要求:保证碳化硅磨料分散均匀、不结团。保证储料箱中的砂浆中的碳化硅磨料不沉淀。要确保砂浆能在机床砂浆管路中的稳定流动。确保砂浆能粘附在钢线上顺利进入切割区。碳化硅微粉的存放由于线切割产品的特殊性,对切割环境,切割参数,及对辅料物理、化学各项指标都要求非常严;结合我公司的生产经验,提供以下几点参考信息:1、碳化硅微粉在存放、使用、检验中应注意的:(1)做到有序存放,同一批号最好能够成排摆放,避免在取料过程中出错。(2)碳化硅微粉具有较强的吸湿性,尽量避免拆去防潮膜存放;这样可以避免受潮团结,缩短烘干时间。(3)尽可能采用先进先出的原则用料,避免原料因存放时间过长而结团。(4)如果在运输途中有破损包装,最好单独存放,避免粉尘污染(5)建议仓库最好封闭,单独存放。2、在使用过程中要防止二次污染:(1)投料环境尽可能为密封的,这样不易随空气流动落入大的颗粒物。(2)烂包装的碳化硅微粉尽量不使用,烂包装后可能已经混入杂质,影响切割效果。(3)料浆使用中应控制好使用工具,防止交叉使用污染。(4)备投料浆避免存放时间过长,如果过长会产生团结物,也会形成假性颗粒,可能会给线切割带来影响。一、针对各公司普遍认为的切割质量和料浆的关系问题,结合碳化硅微粉的固有特性,谈一下料浆的配制:1. 碳化硅微粉在包装、运输、存放过程中容易挤压结团;这要求工人在配制沙浆倒料过程中要特别注意:倒料时应慢倒,控制在2.5-5分钟一袋,避免猛倒造成微粉沉底结块搅拌不起来,造成与实际配比不一致,而影响切割。2.碳化硅微粉具有较强吸湿性,在空气中极容易受潮结团,分散性降低,使料浆的粘度降低,同时在料浆中形成假性颗粒物和团积物,造成切割效率和切割质量下降。因此应避免微粉裸漏在空气中时间过长。3.倒料时要求操作工:检查料袋有无破损,如有破损一定要单独存放不要再使用;投料前先把袋口、袋子表面的浮沙打掉,避免倒料带入杂物。4.在环境湿度较大的地区,使用碳化硅以前,最好是放在6080度烘箱里,烘烤8小时以上,来优化碳化硅微粉的各项指标。这样的好处:增强了碳化硅微粉分子活性;与切削液有了更强的适配性;粉体颗粒吸附性更强,使钢线带砂浆量增大,增强切削能力;微粉有了更好的流动性和分散性,减少结团。5.沙浆在配制过程还不可避免地受到许多不确定的人为因素的影响,很多参数因人为因素而改变。鉴于今年来有些厂家生产能力迅速提高,不妨考虑建设集中的砂浆搅拌站,尽量减少人为因素,效果会更好。太阳能光伏电池用晶硅切割液的应用性原理说明目前 光伏产业大量应用的硅片主要通过对硅锭切割取得。在晶硅切割领域,各大厂商均应用多线切割技术。多线切割是近年来发展成熟的新型硅片切割技术,它通过金属丝带动研磨料进行研磨加工来切割硅片,具有切割效率高、材料损耗小、成本降低、硅片表面质量高、可切割大尺寸材料、方便后续加工等特点。 其机理为机器导轮在高速运转中带动钢线,从而由钢线将切割液和碳化硅微粉混合的砂浆送到切割区,在钢线的高速运转中与压在线网上的工件通过连续摩擦完成切割的过程。 使用碳化硅微粉作为研磨介质切割硅片的过程中,碳化硅微粉颗粒持续快速冲击硅料表面,这一过程会释放出大量摩擦热量,同时碳化硅颗粒与硅棒之间的碰撞和摩擦而产生的破碎碳化硅颗粒、晶硅颗粒以及钢线上金属屑也将混入切割体系中。为了避免被切割开的硅片受切割体系温度升高的影响而发生翘曲和其表 面被细碎颗粒过度研磨而影响其光洁度,必须设法将切割热及破碎颗粒及时带出切割体系,因此切割液的主要作用是使混有碳化硅的砂浆保持良好的流动性,均匀稳定的分散碳化硅颗粒,在钢线的高速运动中均匀平稳的作用于硅料表面,同时及时带走热量和杂质颗粒,保证切割出的硅片的质量。 由于聚乙二醇为主要成份的化合物具有浸润性好,排屑能力强的特点,且对碳化硅类磨料具有高悬浮、高润滑、高分散的特性,能够
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