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文 件 编 号ST-QP/ENG-10005生 效 日 期2010年12月4日版本号/修改状态A/01程序文件静电防护管理程序页 码第4页 共3页一目的防止静电造成元件损坏。二适用范围 凡有关静电敏感之元件自接收迄交到客户手中期间作业过程皆涵盖在内。三定义3.1 ESDELECTROSTATIC DISCHARGE静电放电。3.2静电的危害：就电子行业而言，静电放电能够改变半导体器件的电气性能，使之退化或者完全毁掉。静电放电还可能干扰电子系统的正常运行，导致器件故障或瘫痪。3.3静电的特点：3.3.1高电位：可达到数万至十万伏，操作时常达数百和数千伏（人通常对3.5KV以下静电不易感觉到）3.3.2低电量：静电流多为微安级（尖端放电例外）3.3.3作用时间短：微妙级3.3.4受环境影响大：特别是湿度，湿度上升则静电积累减少，静电电压下降，如下表： 产生方式10-25% RH65-90% RH在地毯上行走35000V1500V在乙烯瓦上行走12000V250V坐在椅子上的工人6000V100V从椅子上拿起涤纶包20000V1200V 3.4静电起点原理：造成不平衡电子分布的原因是电子受到外力而脱离轨道，这个外力包括各种能源，如动力、 位能（势能）、热能、化学能等等，它使电子获得足够量而做功逃逸。 3.5静电的产生方式： 3.5.1摩擦、接触（传导）、分离、感应、冲洗、辐射、压电、点解等。 3.5.2固体、液体、粉末流体都可能产生静电。 3.6人体静电 3.6.1人体是最主要的静电源之一； 3.6.2人体的活动使部分机械能转换为电能； 3.6.3人体对地电阻主要由鞋、袜、地面决定； 3.6.4人体等效电容：100PF（电容有充电放电效应）； 3.6.5人体等效电阻：1KW（1.5KW）； 3.6.6安全静电电压：100V（国标 SJ/T10630-95）。四. 静电防护的基本方法 4.1ESD控制的基本原则 4.1.1做好ESD防护设计：器件选型、合理布线、设计保护电路等； 4.1.2消除和减少静电的产生：减少或消除静电产生的过程、维持过程和材料处于等电势等； 4.1.3使静电荷泻防与中和：使用静电导体、接地、电离器来泻放于中和静电； 4.1.4保护产品免遭ESD伤害：使用防静电材料包装和储运。 4.2防静电区设计原则 4.2.1控制静电荷的积累和静电压的产生。如设备、仪器、工装不使用材料、有机玻璃、普通塑料袋。 4.2.2安全、迅速、有效地消除已产生的静电荷，使用有绳防静电腕带、防静电椅、防静电周转箱。 4.2.3保证静电压小于100V。 4.3静电系统要素 4.3.1地面：防静电地面（防静电水磨石，防静电地板）。 4.3.2工位：需架设表面静电接地。 4.3.3接地 4.3.3.1防静电工作区必须有安全可靠的防静电接地装置，低电阻小于4欧姆。防静电地线不得与电源零线 相接，不得与防雷地线共用，使用三相五线制供电时，其地线可用作防静电地线。 4.3.3.2工作台面、地垫、座椅和其它导静电的ESD保护设施均应通过限流电阻接入地线，腕带等应通过工作台面接地点与地线连接，工作台面不可相互串联接地。 4.3.3.3防静电工作区接地系统，包括限流电阻和连接端子应连接可靠并具有一定载流能力，限流电阻阻值选择应保证漏泄电流不超过5mA，下限值取为1M欧姆。 4.4温湿度：2030摄氏度，相对应湿度3070%。 4.5增湿：增湿器使空气潮湿，防止静电荷积累，此法不适用于增湿后会产生有害影响的场地。 4.6电离器：不能有效地释放静电荷的场所，可采用电离器通过空气中的正负离子来防止和中和元器件和其他物体上电荷积累。 4.7人体：穿防静电工作服、工作鞋，戴有绳防静电手腕、手套、指套等。 4.8包装：静电敏感器件必须存放在防静电容器内，并用防静电运输工具周转。凡工作中会接触“静电敏感元件”之人员均须遵守本规定。五. 管理内容和方法 5.1静电防护措施 5.1.1每天上午9:00前由工程部人员观察静电线监测器,检查静电线是否良好接地,并将结果记录於静电线检测点检表。由工程专员以上干部确认。 5.1.2作业员在进入厂区前须穿戴防静电鞋.防静电环或防静电手套,防静电服间 接人员接触静电敏感器件或產品时需穿戴防静电鞋.防静电环或防静电手套。 5.1.3工作臺上须披覆防静电垫。 5.1.4机台设备、焊鍚炉、输送带、电烙铁等各种可能產生静电的设备、仪器都须确实接地。 5.1.5所有接地均须确实导通於大地。 5.1.6每个月由工程部对全厂工作臺面之防静电臺垫,防静电箱,防静电车,防静电盒,防静电框,防静电拉线传送带,防静电钢板等用阻值测试一次,(防静电臺垫量测四角4点和中心1点并且取其平均值),将结果分别记於相应的_测试记录防静钢板点检月报表表单中. 每日须对离子风机,离子风枪进行点检,并将结果记录於离子风机/枪点检表表单中. 5.2品质管理 5.2.1每日员工进入工作区前须依照规定时间(白班人员: 早上8:00, 中午12:00, 下午4:00检验员, 下午6:00 晚班人员:晚上8:00, 晚上12:00)自主对静电鞋, 静电环进行测试,由各部门派人确认,并将结果登记於防静电鞋/环测试记录表测试结果栏内,后方可上线作业,若测试不合格应立即通知班(组)长并更换新品后再进行测试。防静电鞋/环测试记录表由各部门於每月第一天上班之前挂至静电测试区。若有人事异动各部门须防静电鞋/环测试