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聯能科技(深圳)有限公司標準書 (標準名稱) R27003 半成品 成品SPC作業規範 編號:1QQ23-013 頁次: 6/6 1.目的：確保R27管制圖作業能有效實施,預防重大品質異常之發生.2.範圍：本規範適用於R27003料號之半成品及成品. 3.權責：3.1製程穩定後由QA提供管制上下限,線上人員或IPQC負責相關管制圖資料之填寫及完成繪圖. 4.參考文件：統計技術管理程序 ( 1QQ02-005 ),半成品SPC作業規範(1QQ23-009)5.定義：無 6.作業流程：無 7.作業內容： 7.1管制圖別, 實施站別, 管制項目, 規格值, 參考管制值, 檢驗量測工具, 取樣方式,擔當：7.1.1 管制站別：如附件所示。7.1.2 取樣頻率:符合SPC以連續性取樣為原則(組內變異小，組間變異大)。 7.2 SPC作業管制及規範：7.2.1 規格及管制上下限：各站規格, 管制上下限如SPC管制圖、推移圖作業注意事項中所示.7.2.2 各站作業規範：作業規範 ( 取樣方式, 數據取得, 製圖方式)見各站SPC管制圖、推移圖作業注意事項所示.7.2.3異常處理：異常處理之反應對象, 反應時效及處理方式見各站SPC管制圖、推移圖 作業注意事項所示. 7.2.4每月Cpk檢討重要度:若 A 級小于1.67由製程主導專案改善 若 B 級在小于1.33由製程主導專案改善 7.2.5如客戶有特殊要求時，按客戶要求執行。 7.2.6 管制圖之修正以每半年一次針對所有A級Cpk1.67&B級 Cpk1.33之製程作修正. 7.3月報整理：各站于每月1號前將 Xbar-R CHART、推移圖送回品保, 以利Cpk計算及月報整 理.: Cpk計算公式如下: A. Ca製程準確度: 用以衡量製程之實際平均值與規格中心值之一致性 實際中心值-規格中心值 a. 計算公式Ca = 規格公差/2 規格公差=T= 規格上限-規格下限=USL-LSL 規格中心值=(規格上限+規格下限)/2 注:單邊規格無Ca值. b.等級判定: Ca值愈小,表示品質愈佳.等級Ca值A Ca12.5%B 12.5% Ca 25 %C 25% Ca50%D 50% Ca B. Cp製程精密度: 用以衡量製程之變異寬度與上下限範圍差異情形a. Cp 之計算公式 規格公差 T雙邊規格 Cp = = 6個製程標準差 6 規格上限-實際中心值 USL - 上單邊規格CpU = = 3個製程標準差 3 實際中心值-規格下限 - LSL 下單邊規格CpL= = 3個製程標準差 3 規格上限-實際中心值 USL - 上單邊規格Cp = = 3個製程標準差 3 實際中心值-規格下限 - LSL 下單邊規格Cp = = 3個製程標準差 3 b.等級判定: Cp值愈大,表示品質愈佳等級Cp值A+ 1.67CpA 1.33Cp1.67B 1.00Cp1.33C 0.67Cp1.00D Cp0.67C. Cpk製程能力指標: 綜合Ca及Cp值a. 雙邊規格Cpk之計算公式日本式雙邊規格 Cpk=(1 - | Ca |) * Cp USL 實際中心 實際中心 - LSL美國式:CpU= CpL= 3 3 Cpk= Min( CpU, CpL) 單邊規格Cpk計算公式: Cpk=Cp=|實際中心值-規格值|/3 b.等級判定: Cpk值愈大,表示品質愈佳等級Cpk值A+ 1.67 CpkA 1.33Cpk1.67B 1.00Cpk1.33C 0.67Cpk1.00D Cpk0.67 7.4 管制圖之繪製及注意事項:7.4.1 管制圖繪制時應畫上:A,管制上下限(UCL,LCL)，用虛線畫；B,實際中心線(CL)，用實線畫；C,資料點.7.4.2 若有發現資料點超出管制界限時須用紅筆圈選標示,並註明處理方式;7.4.3 管制圖若有任何點超出管制界限或出現特別圖樣時即判定異常,須馬上知會線上主管或SPC負責人員,若有重大異常應停機檢查;7.4.4 若生產線有做生產條件變更如換液,忽然停電,停水,機器修理調整時,需於管制圖上標示;7.5 管制圖正常與異常之基本判定標準: 7.5.1 任何一點在規格線以外均屬製程重大異常需進行特殊處理; 7.5.2 若點之分布有以下之狀況則須作原因追蹤及必要之矯正; A. 任何一點落在管制線外,但仍在規格線內時,B. 在中心線同一側連續三點之中有兩點出現在兩個標準差之外者,C. 在中心線同一側連續五點之中有四個點出現在一個標準差之外者,D. 有連續七點持續上昇或下降者,E. 有連續八點出現在中心線之同一側者,F. 連續十一點有十點落在中心線同一側者,G. 連續十四點有十二點落在中心線同一側者,H. 連續十七點有十四點落在中心線同一側者,I. 連續二十點有十六點落在中心線同一側者,J. 連續十四點呈鋸齒狀上下震盪.7.6 管制圖之確認及異常處置: 7.6.1 線上人員每天依規定將資料畫記於管制圖上,當異常發生時通知線上主管及SPC負責人; 7.6.2 管制圖上的數據和資料點如有涂改須注明原因,測量單位、規格值、管制上下限中心限和抽樣方法如有涂改須注明責任人和修改日期. 7.6.2 當管制圖上出現異常點,應由品保SPC負責人用紅筆圈選,並發給該站SPC異常解析改善表(見附件十五)，按SPC負責人要求時限回復至品保。 8.附件:8.1附件一：SPC管制圖 - X R Chart作業注意事項, 編號R27-1 ,內層線寬(L3B) (1QQ23013-001) 8.2附件二：SPC管制圖 - X R Chart作業注意事項, 編號R27-2, 面銅厚度 (1QQ23013-002) 8.3附件三：SPC管制圖 - X R Chart作業注意事項, 編號R27-3, 壓合板厚(1QQ23013-003) 8.4附件四：SPC管制圖 - X R Chart作業注意事項, 編號R27-4, 孔壁粗糙度(1QQ23013-004) 8.5附件五：SPC管制圖 - X R Chart作業注意事項, 編號R27-5, 通孔銅厚(1QQ23013-005)8.6附件六：SPC管制圖 - X R Chart作業注意事項, 編號R27-6, S/M厚度(1QQ23013-006)8.7附件七：SPC管制圖 - X R Chart作業注意事項, 編號R27-7, 外層線寬(1QQ23013-007)8.8附件八：SPC管制圖 - X R Chart作業注意事項, 編號R27-8, 成型尺寸(長) (1QQ23013-008)8.9附件九：SPC管制圖 -X R Chart作業注意事項, 編號R27-9, 成型尺寸(寬) (1QQ23013-009)8.10附件十：SPC管制圖 -X R Chart作業注意事項, 編號R27-10,特性阻抗(L3) (1QQ23013-010)8.11附件十一：SPC管制圖 -X R Chart作業注意事項, 編號R27-11, 成品清潔度(1QQ23013-011)8.12附件十二：SPC管制圖 -X R Chart作業注意事項, 編號R27-12, 成品板厚 (1QQ23013-012)8.13附件十三：SPC管制圖 -X R Chart作業注意事項, 編號R27-13, 特殊線寬(1QQ23013-013)8.14附件十四：R27半成品,成品X-R Chart及Cpk評比表(1QQ23013-014)8.15附件十五：SPC異常解析改善表(1QQ23013-015)8.16附圖一： L1層板內線寬量測位置(1QQ23013-016) 8.17附圖二： L3層板內線寬量測位置(1QQ23013-017) 8.18附圖三： 特殊線寬量測位置(1QQ23013-018) 8.19附圖四： 防焊厚度量測位置A(1QQ23013-019) 8.20附圖五： 防焊厚度量測位置B(1QQ23013-020) 撰寫者： 賀 鵬 第 A 版 日期：2003.11.14 修改者： 第 版 日期： 1GQ53005-002B R27管制圖-XR Chart作業注意事項 附件一編號：R27- 1站別：微影管制項目 : L3B線寬重要度：A規格上下限：9.3-9.8mil 取頻率：1 次 / Lot取樣數量 :3 Pcs數據個數：3樣如何取樣：1.由IPQC專門人員於量產時隨機抽取3PNL測量L3層板內(見附圖2)之線寬。方 2.原則上應在每日白班下班前繪製完成。 式數 1.使用線寬測量儀量測取樣的3片Samples , 每片均量L3層之數據;據 2.所取樣 Samples 應為R27料號之板子;取 得 製 取得之數據在 1 小時內轉登錄於管制圖上 , 並繪X bar- R Chart。 圖 名詞解釋 : X bar= 管制圖取得數據之總和除以組數 ( X = Xi / n)方 R = 管制圖同組之最大數據值減去最小數據值 ( MAX - MIN )式反應對象：SPC負責人、微影課長、製程工程師反應時效：1 小時內處理方式： 1.超出規格線以外時, 由SPC Team發出異常通知單給責任單位(生產或製程),異 責任單位收到通知或異常處理單應立即實施應急措施 , 一週內提出矯正與常 預防措施報告。繪圖單位收到報告後 , 須將異常原因登錄於管制圖上。反 2.發出異常通知單時 ,品保內部需登記記錄,以便追蹤及效果確認。應 3其他製程異常情況不需開異常通知單 , 但責任單位須在24小時內 查出原因並填寫SPC異常解析改善表,按SPC負責人要求時限回復至品 保。 1QQ23013-001A R27管制圖-XR Chart作業注意事項 附件二編號：R27-2站別：電鍍管制項目 :面銅厚度重要度：B規格上下限：1.4 0.3 mil取頻率：1 次 / Lot取樣數量 :3 Pcs數據個數：3樣如何取樣：1.由IPQC專門人員於量產時隨機抽取電鍍後電路板 3 PNL。方 2.原則上應在白班下班前繪製完成。式數 1.使用面銅量測儀量測電鍍後R27料號之電路板。據 2.每片量 1 組 , 共量3片, 得3 組數據。取 得製 取得之數據在 1 小時內轉登錄於管制圖上 , 並繪X - R Chart。 圖 名詞解釋 : X = 管制圖上數據之總和除以組數 (X = Xi / n)方 R = 管制圖最大數據值減去最小數據值 ( MAX - MIN )式反應對象：SPC負責人、電鍍課長、製程工程師反應時效：1 小時內處理方式： 1.超出規格線以外時 , 由SPC Team發出異常通知單給責任單位(生產或製程),異 責任單位收到通知或異常處理單應立即實施應急措施 , 一週內提出矯正與常 預防措施報告。繪圖單位收到報告後 , 須將異常原因登錄於管制圖上。發出反異常通知單時 ,品保內部需登記記錄,以便追蹤及效果確認。應 2.其他製程異常情況不需開異常通知單 , 但責任單位須在24小時內 查出原因並填寫SPC異常解析改善表,按SPC負責人要求時限回復至品保。 1QQ23013-002AR27管制圖-X-R Chart作業注意事項 附件三編號：R27-3站別： 壓合管制項目: 壓合板厚 重要度：A規格上下限：43 3 mil 取頻率：1 次 / Lot取樣數量 :3 Pcs數據個數：3樣如何取樣：1.由線上專門人員於量產時在壓合后隨機取Sample 3 PNL。方 2.原則上應在白班下班前完成取樣及繪圖作業。 式數 1. 1.使用厚度儀量測取樣的 3片 Sample。據 2. 每片量四個點取平均值得一組數據, 需量3片得3組數據。 取, 得製 取得之數據在 1 小時內轉登錄於管制圖上 , 並繪X-R管制圖。 圖 名詞解釋 : X = 取得數據之總和除以組數 ( X= Xi / n)方 R = 管制圖最大數據值減去最小數據值 ( MAX - MIN )式反應對象：SPC負責人、壓合課長、製程工程師反應時效：1 小時內處理方式： 1.超出規格線以外時 , 由SPC Team發出異常通知單給責任單位(生產或製程),異 責任單位收到通知或異常處理單應立即實施應急措施 , 一週內提出矯正與常 預防措施報告。繪圖單位收到報告後 , 須將異常原因登錄於管制圖上。發出反異常通知單時 ,品保內部需登記記錄,以便追蹤及效果確認。應 2.其他製程異常情況不需開異常通知單 , 但責任單位須在24小時內 查出原因並填寫SPC異常解析改善表,按SPC負責人要求時限回復至品保。 1QQ23013-003AR27管制圖-X-R Chart作業注意事項 附件四編號：R27-4站別：鑽孔管制項目 : 孔壁粗糙度重要度：B規格上下限：1.0 mil取頻率：1 次 / Lot取樣數量 :3 Pcs數據個數：3樣如何取樣：1.由品管 IPQC 人員於量產時連續性取 3片R27電鍍板各衝下 1 組切片孔方 作切片 , 共計取 3 個 Sample。 式 2. 原則上應在每日白班下班之前完成取樣。數 據 1.共需做 3 組切片。取 2.每組取粗糙度最大的點來量測 , 每孔量測一點 , 量測 3 個孔。得製 取得之數據在 1 小時內轉登錄於管制圖上 , 並繪X-R管制圖。 圖 名詞解釋 : X = 取得數據之總和除以組數 ( X= Xi / n)方 R = 管制圖最大數據值減去最小數據值 ( MAX - MIN )式反應對象：SPC負責人、鑽孔課長、製程工程師反應時效：1 小時內處理方式： 1.超出規格線以外時 , 由SPC Team發出異常通知單給責任單位(生產或製程),異 責任單位收到通知或異常處理單應立即實施應急措施 , 一週內提出矯正與常 預防措施報告。繪圖單位收到報告後 , 須將異常原因登錄於管制圖上。發出反異常通知單時 ,品保內部需登記記錄,以便追蹤及效果確認。應 2.其他製程異常情況不需開異常通知單 , 但責任單位須在24小時內 查出原因並填寫SPC異常解析改善表,按SPC負責人要求時限回復至品保。 1QQ23013-004AR27管制圖-XR Chart作業注意事項 附件五編號：R27-5站別：電鍍管制項目 : 通孔銅厚重要度：A規格上下限：0.6 mil取頻率：1 次 / Lot取樣數量 :3 Pcs數據個數：3樣如何取樣：1.由品管 IPQC 人員於量產時連續性取得3個sample,切得3個切片,每片方 量測一組數據,得3組數據。式 2. 原則上應在每日白班下班前完成取樣。數 1.將取得之切片孔灌膠、磨到孔一半時以切片量測機取鍍通孔 , 每邊量 3 點 據 , 兩邊共量 6 點 , 將 6 組數據加總平均得一組孔銅。共有 3組切片 , 取 須得 3 組孔銅平均銅厚。(以粗糙度較小的位置來量測)得製 取得之數據在 1 小時內轉登錄於管制圖上 , 並繪X - R Chart。 圖 名詞解釋 : X = 取得數據之總和除以組數 ( X= Xi / n)方R = 管制圖最大數據值減去最小數據值 ( MAX - MIN )式反應對象：SPC負責人、電鍍課長、製程工程師反應時效：量測數據發現異常20分鐘內處理方式： 1.超出規格線以外時 , 由SPC Team發出異常通知單給責任單位(生產或製程),異 責任單位收到通知或異常處理單應立即實施應急措施 , 一週內提出矯正與常 預防措施報告。繪圖單位收到報告後 , 須將異常原因登錄於管制圖上。發出反異常通知單時 ,品保內部需登記記錄,以便追蹤及效果確認。應 2.其他製程異常情況不需開異常通知單 , 但責任單位須在24小時內 查出原因並填寫SPC異常解析改善表,按SPC負責人要求時限回復至品保。 1QQ23013-005A R27管制圖-XR Chart作業注意事項 附件六編號：R27-6站別：防焊管制項目 : 防焊厚度重要度：B規格上下限：0.37-1.1811mil 取頻率：1 次 / Lot取樣數量 :3 Pcs數據個數：3樣如何取樣：1.由品管 IPQC 人員每日到 MRB 取防焊最近報廢之R27板 1 Pcs , 再切成方 三個線路切片, 以供量測。 式 2.每日白班下班前完成取樣,量測及繪圖作業。 數 1.以取獨立線路及大銅面(位置如附圖4,5所示)S/M 厚度為原則。 據 2.使用金相顯微鏡量測切片之S/M Thickness。取 3.需製作,量測三個切片得三組數據。 得製 取得之數據在 1 小時內轉登錄於管制圖上 , 並繪X - R Chart。 圖 名詞解試 : X = 取得數據之總和除以組數 ( X = Xi / n)方 R = 最大數據值減去最小數據值 ( MAX - MIN )式反應對象：SPC負責人、防焊課長、製程工程師反應時效：1 小時內處理方式： 1.超出規格線以外時 , 由SPC Team發出異常通知單給責任單位(生產或製程),異 責任單位收到通知或異常處理單應立即實施應急措施 , 一週內提出矯正與常 預防措施報告。繪圖單位收到報告後 , 須將異常原因登錄於管制圖上。發出反異常通知單時 ,品保內部需登記記錄,以便追蹤及效果確認。應 2.其他製程異常情況不需開異常通知單 , 但責任單位須在24小時內 查出原因並填寫SPC異常解析改善表,按SPC負責人要求時限回復至品保。 1QQ23013-006A R27管制圖-XR Chart作業注意事項 附件七編號：R27-7站別：微影管制項目 : 外層線寬重要度：A規格上下限：11.1-11.6mil 取頻率：1 次 / Lot取樣數量 :3 Pcs數據個數：3樣如何取樣：1.由IPQC專門人員於量產時隨機抽取3PNL測量L1層板內(見附圖1) 方 之線寬。式 2.原則上應在白班下班前繪製完成。數 1.使用線寬測量儀量測取樣的3片Samples , 每片均量L1層板內線寬之數據;據 2.所取樣 Samples 應為R27料號之板子;取 得 製 取得之數據在 1 小時內轉登錄於管制圖上 , 並繪推移圖。 圖 名詞解試 : X = 取得數據之總和除以組數 ( X = Xi / n)方 式反應對象：SPC負責人、微影課長、製程工程師反應時效：1 小時內處理方式： 1.超出規格線以外時 , 由SPC Team發出異常通知單給責任單位(生產或製程),異 責任單位收到通知或異常處理單應立即實施應急措施 , 一週內提出矯正與常 預防措施報告。繪圖單位收到報告後 , 須將異常原因登錄於管制圖上。發出反異常通知單時 ,品保內部需登記記錄,以便追蹤及效果確認。應 2.其他製程異常情況不需開異常通知單 , 但責任單位須在24小時內 查出原因並填寫SPC異常解析改善表,按SPC負責人要求時限回復至品保。 1QQ23013-007AR27管制圖-XR Chart作業注意事項 附件八編號：R27-8站別：成型管制項目 : 成型尺公差(長)重要度：A規格上下限：0.1mm取頻率：1 次 / Lot取樣數量:3 Pcs數據個數：3樣如何取樣：1.由線上專門人員連續性抽取成品板3Pcs量測。 (量測值-規格值) 方 2.原則上應在每日白班下班前繪製完成。 式數 1.使用三次元量測取樣的 3 片 Sample。據 2.1片得1組數據,共取3組數據。取 。得 製 取得之數據在 1 小時內轉登錄於管制圖上 , 並繪X - R Chart。 圖 名詞解試 : X= 取得數據之總和除以組數 ( X = Xi / n)方 R = 最大數據值減去最小數據值 ( MAX - MIN )式反應對象：SPC負責人、鑽孔課長、製程工程師反應時效：1 小時內處理方式： 1.超出規格線以外時 , 由SPC Team發出異常通知單給責任單位(生產或製程),異 責任單位收到通知或異常處理單應立即實施應急措施 , 一週內提出矯正與常 預防措施報告。繪圖單位收到報告後 , 須將異常原因登錄於管制圖上。發出反異常通知單時 ,品保內部需登記記錄,以便追蹤及效果確認。應 2.其他製程異常情況不需開異常通知單 , 但責任單位須在24小時內 查出原因並填寫SPC異常解析改善表,按SPC負責人要求時限回復至品保。 1QQ23013-008AR27管制圖 - -XR Chart作業注意事項 附件九編號：R27-9站別：成型管制項目 : 成型尺公差(寬)重要度：A規格上下限：0.1mm取頻率：1 次 / Lot取樣數量 :3 Pcs數據個數：3樣如何取樣：1.由線上專門人員連續性抽取成品板3Pcs量測。 (量測值-規格值) 方 2.原則上應在每日白班下班前繪製完成。 式數 1.使用三次元量測取樣的 3 片 Sample。據 2.1片得1組數據,共取3組數據。取 。得 製 取得之數據在 1 小時內轉登錄於管制圖上 , 並繪X - R Chart。 圖 名詞解試 : X= 取得數據之總和除以組數 ( X = Xi / n)方 R = 最大數據值減去最小數據值 ( MAX - MIN )式反應對象：SPC負責人、鑽孔課長、製程工程師反應時效：1 小時內處理方式： 1.超出規格線以外時 , 由SPC Team發出異常通知單給責任單位(生產或製程),異 責任單位收到通知或異常處理單應立即實施應急措施 , 一週內提出矯正與常 預防措施報告。繪圖單位收到報告後 , 須將異常原因登錄於管制圖上。發出反異常通知單時 ,品保內部需登記記錄,以便追蹤及效果確認。應 2.其他製程異常情況不需開異常通知單 , 但責任單位須在24小時內 查出原因並填寫SPC異常解析改善表,按SPC負責人要求時限回復至品保。 1QQ23013-009AR27管制圖 - -XR Chart作業注意事項 附件十編號：R27-10站別：微影管制項目 特性阻抗L3重要度：A規格上下限：40 4 ohm取樣方式頻率：1 次 / Lot取樣數量 :3 PNL數據個數：3如何取樣： 1. 由IPQC專門人員於量產時隨機抽取3PNL測量其L3層之特性阻抗。 2. 原則上應在每日白班下班前繪製完成。 數 1. 使用TDR量測L3層之特性阻抗。據 2. 每片量1組數據,共量3片得3組數據。取 得 製 取得之數據在 1 小時內轉登錄於管制圖上 , 並繪X - R Chart。 圖 名詞解試 : X= 取得數據之總和除以組數 ( X = Xi / n)方 R = 最大數據值減去最小數據值 ( MAX - MIN )式反應對象：SPC負責人、微影課長、製程工程師反應時效：1 小時內處理方式： 1.超出規格線以外時 , 由SPC Team發出異常通知單給責任單位(生產或製程),異 責任單位收到通知或異常處理單應立即實施應急措施 , 一週內提出矯正與常 預防措施報告。繪圖單位收到報告後 , 須將異常原因登錄於管制圖上。發出反異常通知單時 ,品保內部需登記記錄,以便追蹤及效果確認。應 2.其他製程異常情況不需開異常通知單 , 但責任單位須在24小時內 查出原因並填寫SPC異常解析改善表,按SPC負責人要求時限回復至品保。 1QQ23013-010A R27管制圖 - X-R Chart作業注意事項 附件十一編號：R27-11站別：成型管制項目 :成品清潔度重要度：B規格上下限：6.4 ug/in(2)取頻率：1 次 / Lot取樣數量 :3 Pcs數據個數：3樣如何取樣：1.由品管 IPQC專門人員於量產時在成型清洗段隨機取R27 Sample 3 Pcs。方 2.原則上應在每日白班下班前完成繪圖作業。 式數 1.使用 Omega 600D測量sample之離子清潔度。據 2.每片做1次試驗得1組數據,共需作3次試驗得3組數據。 取 得製 取得之數據在 1 小時內轉登錄於管制圖上 , 並繪推移圖。 圖 名詞解釋 : X = 取得數據之總和除以組數 ( X= Xi / n)方 式反應對象：SPC負責人、鑽孔課長、製程工程師反應時效：1 小時內處理方式： 1.超出規格線以外時 , 由SPC Team發出異常通知單給責任單位(生產或製程),異 責任單位收到通知或異常處理單應立即實施應急措施 , 一週內提出矯正與常 預防措施報告。繪圖單位收到報告後 , 須將異常原因登錄於管制圖上。發出反異常通知單時 ,品保內部需登記記錄,以便追蹤及效果確認。應 2.其他製程異常情況不需開異常通知單 , 但責任單位須在24小時內 查出原因並填寫SPC異常解析改善表,按SPC負責人要求時限回復至品保。 1QQ23013-011AR27管制圖-X-R Chart作業注意事項 附件十二編號：R27-12站別：OQC管制項目 : 成