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磁控溅射设备操作步骤1. 开电源箱三个空气开关，从左到右依次为循环水机，磁控溅射，各分接插座的空开。2. 压缩空气泵开始工作，已设定气压上限0.8MPa（8个大气压），待抽至0.4MPa（各气动阀门工作的最低压强）即可开循环水机，接着开磁控溅射设备电源控制柜的总开关。3. 若上次实验结束时对腔室气压抽得较低（0.2Pa），此时复合真空计（左边一个）会显示电离规测得的高真空，按下“自动/手动”将电离关掉。开放气阀，向腔室通大气至复合真空计显示1E5（0.1MPa，1个大气压）即可打开腔室顶盖。4. 靶及基片安装好后，用万用表检查靶与屏蔽罩，基片台与腔室是否短接，开始抽真空。 5. 将腔室抽到10Pa以下，以保护腔室内部器件。关机械泵及控制柜总开关。关冷却水，将三个空开全部关掉。磁控溅射设备相关注意事项1. 电离规测高真空只可在分子泵运行抽高真空时开启，其它操作前一律都得将其关闭。2. 分子泵进出前后气压不得超过5Pa，小心在通Ar或其它气体时不要把阀控拨到了清洗的位置，随时关注腔室真空读数的变化，如因漏气导致气压陡增，立即关主阀，分子泵。气瓶上减压阀Ar出气气压不得超过0.4MPa，小心旋开蓝色旋钮。3. 注意记住三个靶的相对位置，装好靶材，调整靶挡板的开合。4. 设备的按键之间设计有互锁功能，避免因操作失误对设备的损伤，如抽腔室的高真空时（上表的3-5步）关前级阀时，主阀和分子泵也会立即关闭，这种操作应尽量避免。5. 在复合真空计读数高于2Pa时，加热及旋转不可用，被锁住断电，PID控温无显示。6. 注意区分三根电源线，褐色的为射频线，黑色线贴红色绝缘胶带的为直流线，另一根为双极脉冲线。一般清洗基片用双极脉冲或射频线，射频清洗效果好但存在辐射。7. 射频电源在使用前需预热，打开Uf，Ua的off开关显示的红灯亮时可以使用。8. 外接直流电源作沉积薄膜时的偏压电源时，输出的“+”接腔体外壳，“-”接基片台，使基片台处于负偏压。9. 循环水机在冬天工作时设为16，夏天时设为20，高于设定温度2时循环水机开始制冷。夏天时注意在房间湿度过大时不要将水温调得过低，防止在设备上冷凝水。10. 注意对设备的保养维护，及时去除基片台及基片挡板，靶屏蔽罩及靶挡板上沉积的各种材料，防止掉渣使靶与屏蔽罩短接烧坏靶。方法是将把挡板卸下用绿色拉丝布擦拭附着物后用卫生纸蘸丙酮或酒精擦干净，对基片台如不拆下的话用报纸垫在腔室口上防止擦拭时脏东西掉入腔室。11. 严禁用丙酮擦拭设备的密封圈等非金属部位。12. 充气阀从实验抽气开始一直开到实验结束，降温过程时可将其关闭。以上是一些我所了解的设备相关知识，有待补充。雷 荣 1358198
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