防尘室介绍与管理ppt.ppt

目的 使相關人員能了解防塵室環境的基礎知識及防塵室管理規定 進而達成環境清淨化之要求 防塵室簡介與管理 課程大綱 微塵定義與來源探討認識防塵室污染防制手法防塵室日常管理防塵室layout說明防塵室進出作業標準防塵室檢驗防塵室維護靜電防制常犯問題點說明 微塵定義與來源探討 微塵粒子與防塵室 一 空氣中的微塵粒子 1 粒徑 以微米 m 為單位 m 10 6 m 0 001mm 註 代表次方 2 概念鉛筆心直徑 0 5mm 500 m 頭髮直徑 100 m 肉眼可見10 m以上之粒子 10 m以下者看不見 故稱為微粒子 3 分類 極微粒子1 m以下 微粒子1 m 10 m 粒子10 m以上 4 一般室內之塵埃10 m以上之粒子約占15 10 m以下之微粒子約占85 炭塵約占50 砂塵約占40 纖維與其它約占10 5 濃度單位 個 立方英呎或個 立方公尺 1立方英呎約等於28公升 1立方公尺約等於1000公升 表1 1大氣塵埃之濃度表1 2自然界之塵埃濃度 大氣塵埃之種類與顆粒大小 淨化房內的污染 1 淨化房內的塵埃發生源淨化房內的塵埃主要來源於 1 主 副原料 2 機械裝置 3 環境 4 操作者等多種方面 根據有關專門調查機關的調查結果 其中從操作者手中身上發生的塵埃的比例非常之高 是我們必須注意的現象 2 淨化房內的塵埃發生源的發塵比例 據有關專門調查機關的調查結果 3 IC基板表面上的附著物 螢光顯微鏡法分析結果 以上的數據說明 淨化房內的操作者 對淨化房內的污染有著極大的影響 最大之發塵源 工作人員 操作者身上發生塵埃的因素 1 發塵的三大因素 A 泄漏發塵 從衣服的開口部泄漏出來的空氣中存有的塵埃B 滲透發塵 從穿過衣服布料的空氣中含有的塵埃C 材料發塵 衣服中各種材料本身產生的塵埃T 總發塵量 A B C從操作者身上產生的塵埃分為以上三個因素 防塵服的最終機能是 綜合平衡各因素將起源於操作者的微粒子污染 總發塵量 減少到最小限度 內衣為全棉衣褲的場合 總發塵量中的發塵量比例順序是泄漏發塵 滲透發塵 材料發塵 也就是說要抑制總發塵量 必須從抑制泄漏發塵著手 必須從衣服的結構相關的素材和降低內衣褲的塵埃量著手是非常重要的 吸煙者與非吸煙者發塵數之比較 1 微塵造成LCD蝕刻不良 2 微塵造成LCDCELL異物短路 3 微塵造成IC短路 4 微塵造成ICBonding後變形短路 5 微塵髒污造成ITO蝕刻 微塵粒子的影響 認識防塵室 防塵室之演進 1958美國為發展太空科學開始作無塵室之研究1961完成空軍之無塵室規格 100000級 1963DEC美國聯邦無塵室規格公佈 F S209 1966AUG修正F S209A增加設計及測試方法等10項1973APR修正F S209B氣流量及溫溼度範圍1977MAY修正F S209B增加1000級標準1987OCT修正F S209C增加10級與1級標準 1MDRAM問市 1988JUN修正F S209D標準1992DEC修正F S209E採取公制單位 ClassM1 ClassM7 構成防塵室需具備因素 能有效去除空氣中飄浮之微塵粒子能防止微塵粒子之產生溫度與溼度可以得到控制各區域之壓力可以得到調節有害之廢氣可被排出有害之廢水可被排出建物結構物與隔間具有氣密有靜電防制有電磁干擾之預防有節省能資源之考量設計安全因素之考慮 防塵室之適用範圍 工業用防塵室I C R IndustrialCleanRoom 半導體 電子工業廠 光學機械 精密機械 航太 生化及醫藥用防塵室B C R BiologicalCleanRoom 製藥 醫療設施 生物實驗室 防塵室之標準規格 防塵室的構造 防塵室的主要結構是通過空調機吸引外界的空氣 空調機內部設置一般過濾器 中效能過濾器 高效能過濾器 用這種方式將灰塵及微粒子去除 經過過濾的清淨空氣經過天花板上的出風口向室內吹入 型成氣流使氣流成為正壓是很種要的 氣流經過回風口 地板 回風通道返回空調機內 室內的壓力通過右上部的氣壓閘來控制調整 HEPAFilter 單元 過濾器HEPA 吸入口ReturnAir 污染防制手法 1 外部異物侵入防止 不帶入 防塵室保持正壓 0 5mmAq以上 工程管路不漏氣 漏水原物料搬入前要清潔擦拭空氣濾網適當設置與管理2 室內發塵源抑止 不產生 穿防塵衣生產線自動化人員不聚集設備發塵位置管理不使用易發塵材料 3 室內塵埃不積蓄 不堆積 牆壁體力求光滑無死角以便於檢視及清潔製程設備四周應留有空間防塵室要定期清潔與保養4 產出的異物被排出 排除 足夠的換氣次數污染源直接排出室外空調的氣流速度要適當 防塵室的污染源防止四原則 防塵室日常管理 防塵室的日常管理 防塵室的目的是提高產品品質 為了達到這些目的 所以必須對防塵室進行正確的日常管理 隨著作業而產生的污物在作業台 設備 治具 地板等所有表面附著 堆積 另外因作業人員離產品最近 如果從業人員產生大量灰塵則會影響產品品質 所以必須經常進行清掃 及對作業人員進行充分的管理來發揮防塵室的功能 防塵服 1 防塵服的穿著為了無塵作業 而使用不產生灰塵的材料作防塵服 並且這種防塵服可以阻止裡面灰塵外洩 通常由帽子 工作服 襪套組成 穿上鞋子 帶上口罩 手套在防塵室內工作 2 穿著乾淨的防塵服 1 防塵服要定期洗滌 1回 週 2 一般製服不能與防塵服掛在同一衣架上 以免污染防塵服 3 因為工作中而弄髒了的防塵服 須立即更換 4 看見他人穿著髒或破損防塵服 須提醒他換掉3 正確地穿著防塵服 1 穿著清潔的防塵服 不穿有破損或髒的防塵服 2 防塵服必須合體 頭和帽子間不能有間隙 且脖子上的扣子必須扣緊 3 穿衣 脫衣時 在可能的情況下 儘量不接觸地板 牆壁 他人 4 袖口 襪子的鬆緊帶若鬆弛了 需更新 鬆繄帶為防塵服專用 5 襪子底部很容易破損 不能等到破損時才換 而是在它變薄時就要更新 6 有關防塵服的穿著順序依各製造廠的需要而定 4 防塵口罩旳配戴防塵口罩是為了防止在防塵室內活動的人員臉部產生的灰塵及口水 所進行的防止作用 1 在防塵室內不能將口罩摘下來 2 戴上口罩後不要用戴手套的手亂模 3 經常配戴清潔的口罩 4 作業終了后口罩須分類棄置 避免與其他物品混合丟棄 5 手套的配戴在防塵室內用手直接接觸產品的話 則手上的汗 脂肪 污垢 皮膚屑會污染製品 而造成致命的缺點 為了防止此類情事發生 所以必須配戴防塵手套 所謂的防塵手套是指先戴上白色手套後再戴上橡膠手套 雖然有戴上防塵手套但在作業的許可下亦要儘量避免接觸產品 注意事項 1 防塵室內嚴禁換穿手套 必須於進入防塵室前完成 2 防塵手套配戴時 指尖不能有間隙 且與手脕粗細穩合並將防塵手套覆蓋在袖口上 3 作業中防塵手套有下列情況時須立即更新 a 作業中破損時b 進行清掃作業後c 進行藥液及各項材料調配後d 進行處理破裂玻璃後e 鋪設地板之黏著腳踏墊後f 使用膠帶後g 有接觸到油污時h 有接觸到較未經常清掃的處所時 4 橡膠手套上嚴禁寫上任何字跡 空氣浴 AIRSHOWER 空氣浴是身體在空氣中轉動 如圖7 吹出的空氣通過全身 使附著在防塵服上的灰塵脫落 在吹氣室內如果靜靜站著不動的話 效果甚微 依目前的吹氣室設計 空氣流的上限約150cm 160cm 所以身高比此高的人稍為彎腰 使氣流能通過頭頂 注意事項 1 進入吹氣室前需再次檢查一下防塵服是否正確地穿好 2 在更衣室內設置能照出全身的鏡子 3 吹氣室定期進行清掃 1回 日 4 吹氣室內的吹氣口位置不能隨便移動 5 吹氣室內的吹氣時間最少15秒以上 6 吹氣室內的吹氣不能超出指定人數 7 吹氣室內之黏著腳墊每日定期更換1 3次 1 6 5 4 3 2 輕拍頭部至少3下 輕拍右手臂至少3下 輕拍頸部至少3下 輕拍左手臂至少3下 輕拍臀部至少3下 向左 右旋轉45度各三次 AIRSHOWER進入程序 黏著腳墊 防塵室的構造裡必須設有出入口 如果僅依靠空調的循環系統 是無法將灰塵完全去除 防塵室真正意義上的維護管理是有必要將帶入室內灰塵量限制在一定範圍內 所以要鋪設黏著腳墊 來減少地板上的大粒子 也同時達到去除小粒子的效果 例如 在腳墊上走六米 輪子在腳墊上轉四米 則可以100 除塵 注意事項 1 黏著腳墊的設置位置須要考慮人 物的動向 2 黏著腳墊要使用黏著劑不脫落且能黏掉灰塵的 3 黏著腳墊要使用容易看出附著灰塵的 4 黏著腳墊要使用可進行污物分析的 5 黏著腳墊要每日定期更換1 3次 2020 3 12 27 可编辑 擦拭用材料 無塵抹布是防塵室內用來清掃的環境 設備 裝置等的清掃用品 因此它的使用有必要作一定規範的管制 注意事項 1 抹布不能使用在各工場所規定的範圍外的場所及東西 2 無塵抹布購入時有一定數量包裝在一起 開封時一定要在無塵室內進行 3 無塵抹布有一定的壽命 所以要規定使用期限 定期交換 4 無塵抹布每次清洗後 不可以過度擰乾 以免產生塵屑造成二次污染 5 無塵抹布清洗後在乾燥時會產生灰塵 要注意晾乾場所 6 無塵抹布依各項清掃目的及用途 需要確實的分類存放且不可混用 椅子的防塵措施 目前所使用的椅子其座墊 椅背 一般使用海棉的較多 且其支架有回轉部 容易產生灰塵 鐵屑 應該不適合於防塵室內使用 最佳的管制方式是須使用防塵室內使用的專用椅或完全不用椅子 注意事項 1 防塵室內儘量不使用易發塵的椅子 2 如果使用會局部發塵的椅子 須將會發塵的部位作妥善包裏 3 椅子之設置位置 儘量遠離主作業區及WIP區 4 儘量不要使用有輪子的椅子 紙類的使用 防塵室內所使用的紙張 文具用品 因考量其發塵性 所以必須作一定的規定管制 最佳的方法是用無塵紙 但是無塵紙並非絕對無塵 注意事項 1 普通用紙須經複褙後方可帶入防塵室 2 鉛筆類文具嚴禁帶入 3 無塵紙並非絕對無塵 使用方法及量要作適度規範 4 防塵室內所有紙張類 流程卡 工程標示 記錄表單 一定要使用無塵紙 5 包括無塵紙以外物品 如非經常性使用 不要放置在防塵室 6 無塵室內嚴禁撕紙 揉紙的動作 膠帶 一般膠帶的內筒由普通紙製成 因而是發塵源 有必要加以注意 另外膠帶的黏著劑也是一個問題 它會透過作業人員的手套污染其他東西且擴散 所以必須加以管制 注意事項 1 儘量不使用膠帶 不必要的地方不貼 2 新品種類膠帶使用前 需要進行評價後 決定是否使用 3 使用膠帶後 手套必須進行清洗或交換 4 膠帶剝落後 要對殘膠進行清除 5 將防塵室內各處所貼的無用膠帶清除乾淨 6 防塵室內之膠帶存量管制於最低量 7 通常不使用的膠帶保管於防塵室外 8 受熱的地方儘量不使用膠帶 9 有可能接觸產品及手套常接觸的地方不使用膠帶 10 裝置 架具 工具之驅動部分不使用膠帶 清掃 在防塵化的過程中 清掃是維持清淨度的一個重要手段 防塵室內縱向的清淨度分佈 越靠近地板清淨度越差 亦即室內灰塵是下沉的 很容易因此付在設備表面或地板上 地面的清掃 1 地面的清掃須嚴格規定於所有地面以上的清掃完成後 方可實施 2 休息日後 空氣中之懸浮灰塵都落在地板上 所以要在它被掀起前清除 3 使用吸塵器先將大灰塵吸除 4 清掃時使用專用手套 抹布 不能用擦拭地面的抹布擦拭設備 5 用浸過純水的溼抹布進行擦拭 6 一般打掃不到的設備下方 背面等 會存留灰塵 要經常清掃不可疏忽 7 所有清掃重點依據各場之清掃基準實施 不可偷懶推諉 8 離清洗水槽較遠之場所 清掃時須以水桶裝水並經常換新純水 9 清掃完成後需以手電筒輔助檢查清掃後之狀況 3S整理 整頓 清掃 雖然防塵室之設計 標準有一定的規範 但是對於生產線一些製品 部品 工具等等的放置 儲存如果沒有規範的話 勢必會影響清淨狀況 所以有關生產線內之3S 整理 整頓 清掃 活動成效影響至鉅 需要用的經常使用 儘可能放在近處偶而使用 可放在稍遠處整理幾乎不用 明確場所另行收藏不需要用的可立即丟棄 立即處理視處理方式而定 儘可能選擇不花錢的方法1定位物品的放置有一定置所整頓2標示物品名稱標示物品放置區域標示3適量物料領料適量作業區物品放置適量1灰塵 污垢的清除機器設備表面的清潔地面 牆壁 櫃子的清潔清掃物料 部品表面的清潔2漏水 漏油的防止 防塵室內操作人員 要有高度清淨度並且維持最佳狀態之觀念瞭解防塵室清潔管理之一般常識瞭解防塵室之設備維護與清潔熟悉防塵室內作業人員動線及製品動線明白防塵室用品容器之搬運管理規定 專責防塵室管理人 能夠講解教育各作業人員熟悉如何維持製造設備潔淨度熟悉如何維持原物料潔淨度熟悉如何維持在製品半成品潔淨渡具備技術能力可以決定產品所要求潔淨度標準熟悉產品零附件之機能及適當之清淨化技術如果要調高清淨度標準時要採取的對策方法防塵室運轉不正常時之對應方法防塵室之安全對策方法防塵室之監視方法 不能進入防塵室之人員 有精神病或神精過敏或閉鎖性恐懼者非作業人員或事先未得許可者未按規定穿防塵衣者做完激烈運動流汗者抽煙後未經半小時以上緩衝者對化學纖維物質過敏體質者對有機溶劑過敏體質者容易出手汗者容易從鼻子流出排出物者患有氣喘或常咳嗽或常打噴嚏者比一般人更容易皮膚體毛屑掉落者化妝或塗口紅或噴香水者不能安靜工作者經專業醫師或心理醫師認定不適防塵室工作者其他非必要人員 每天洗澡保持身體清潔每週至少洗頭2次減少頭皮屑之產生經常保持乾淨的手不要有粉塵作業避免毛細孔異物附著皮膚不要直接接觸有機溶劑避免皮脂剝離 防塵室作業人員平日應注意事項 不能帶入防塵室之物品 沒有經過清潔之器材設備或測定器等物品瓦楞紙箱 木材 鉛筆 普通用紙 橡皮擦 立可白普通未經過特別處理之記錄或筆記用紙張香菸 打火機 飲料 食品 泡泡糖 化妝品揮發性油劑或瓦斯罐 防塵室Layout說明 防塵室進出作業標準 防塵衣掛置標準 防塵鞋櫃放置標準 防塵室檢驗 完工後之檢測與驗收 一 於三種狀態下之潔淨度檢測標準 1 甫完工狀態 AsBuilt 製程設備與人員接未進入 2 人員未進駐狀態 AtRest 製程設備運轉中 人員未進入 3 運轉狀態 Operation 製程設備與人員皆正常工作中 檢測內容 1 結構與尺寸 建物尺寸測量 結構強度測試 零件規格 2 濾塵器氣漏 3 潔淨度 4 氣流速度與方向 於防塵室內各處實測之 可採用熱線風速計或皮托管分三個座標方向測試 5 送風量 於濾塵器下方約15公分處 以熱線風速計測定風速 原則上每只濾塵片測定兩點 取其平均值作為平均風速 風量 平均風速 濾塵片面積 6 壓差 以差壓計測定室內與室外壓差 7 噪音 於距地板1 2公尺高度處 以噪音計測定之 原則上每三坪測一個點 相當於每距離三公尺測一點 每個點測5秒鐘 8 溫度 以照度計測量之 測量方式與噪音同 9 溫濕度 以溫度計及濕度計測量之 測量方式與噪音同若使用溫濕度記錄器測試時 應於選定點做24小時測式 10 振動 以測振器量測振幅與加速度 11 電磁干擾 以電磁場計量測防塵室內之磁場強度 鄰近高壓電纜 輸配電線 變電站者應特別注意 12 絕緣阻抗 以600V之電阻計分別測試充電部與非充電部之間及非充電部與設備金屬外殼之間的電阻 13 消費電力 檢驗電力有無異常消耗之現象 14 靜電壓 以測靜電之儀器量測之 三 濾塵器之氣漏檢驗 1 於濾塵片上游測定外氣或回風空氣之塵埃濃度 2 取微塵粒子計數器 於濾塵片下游三至五公分處 以每秒五至十公分之速度 由濾塵器外圍住往內部作螺旋移動並測量塵埃數 每距五公分測定一次 3 由前兩項量測結果 求出塵埃之穿透率 4 若發現塵埃穿透率異常增加 即表示濾塵器有氣漏現象 5 天花板鋁槽 天花板與格間牆接縫處 隔間牆連接處 消防偵煙器等均須檢測四 潔淨度檢驗 1 採用美國空軍TechnicalOrderT O 00 25 203規格 2 空氣取樣口垂直向上 取樣高度1 2 1 25公尺 防塵室維護 靜電防制 任何物質在靜止狀態呈 電中性 但當不同帶電的兩個物體 彼此接觸 摩擦或分離時就會產生靜電 例如用布摩擦過的尺 可以吸起碎紙 若靜電過大就會造成靜電放電 ElectrostaticDischarge簡稱ESD 會引起火花 甚至會引起暴炸 精密的半導體元件只要幾百伏特的靜電位 就會造成破壞 靜電之產生 各種物體經彼此摩擦後 由於電子移轉率之不同 所產生之靜電荷也就有大小之分 表中所列之物體 是按 摩擦電 的靜電位大小而排列次序 愈在上位者 愈趨正電性 愈下愈趨負電性 當上 下兩物體摩擦時 順序差越遠則所產生的靜電荷越大 靜電產生之大小 1 破壞電子回路 2 吸附微塵粒子 造成污染 3 放電火花易引起災變表2 5靜電之破壞電壓 靜電之破壞力 以半導體為例 1 物