黑化线操作手册.doc

黑 化 线操作手册2004年12月 章节内 容页码1.PROBOND 80黑氧化工艺流程简介- - - - - - - - - - - - - - - 32.工艺目的- - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - 43.配制槽液程序及用量- - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - 5-64.控制条件- - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - 75.生产线开工守则- - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - 86.生产线停工守则- - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - 97.生产线之停电或机械故障处理 - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - 98.生产线之保养事项及程序- - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - 99.品质检定方法及标准- - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - 10-1110.安全规则- - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - 1211.问题分析程序及原因- - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - 13-141. PROBOND 80 黑氧化工艺流程简介 碱性清洁剂AL-CHELATE微蚀剂NaPS预浸剂PB 80B黑氧化PB80A，PB80B后浸剂PB Oxide Converter2. 工艺目的1.) AL-CHELATE：除去铜表面上轻微的油脂、手印、干膜碎片等污染物，清洁 铜面。2.) 微蚀NaPS：提供微观粗糙的铜表面 增强黑化膜的附着力3.) 预浸PB 80B： 将微蚀时的酸性铜面转变成碱性铜面，以利于PB 80氧化反应的进行和黑膜的生长。 减少对黑化药水的污染4.) 黑化PB 80：特别为铜的化学氧化处理而制定的配方，用于增强多层印制电路板的内层附着力。5.) 后浸：PB Oxide Converter： 稳定PB 80氧化膜 在多层板制作中防止粉红圈现象的出现 3. 配制槽液程序及用量1.) 配制槽液用量工 序所用药品名称开缸浓度碱性清洁AL-CHELATE6.3% (V/V)微 蚀NaPS50%(V/V)H2SO490g/l4%(V/V)浸酸50%(V/V)H2SO410%(V/V)预 浸PB 80B5% (V/V)黑 化PB 80APB 80B40% (V/V)30% (V/V)后 浸PB Oxide ConverterC/P Z5% (V/V)1.5% (V/V)2.) 配制槽液程序A. 碱性清洁剂AL-CHELATEa. 加入1/2缸体积纯水于槽中b. 加过滤芯于过滤泵中c. 开动过滤泵d. 加入所需的碱性清洁剂AL-CHELATEe. 补充水位至发热器之上f. 开动发热器直至加温到753B. 微蚀剂NaPSa. 加入3/4缸体积纯水于槽中b. 加入所需的AR硫酸c. 搅拌，然后加入所需NaPSd. 开动打气，直至混合均匀。e. 补足水位f. 温度控制在322C. 预 浸a. 加入3/4缸体积纯水于槽中b. 加入所需的PB 80B，搅拌均匀。c. 开启循环过滤泵搅拌均匀d. 补充水位至发热器之上e. 开动发热器直至加温到402D. 黑 化a. 加入1/3缸体积纯水于槽中b. 加入所需的PB 80B，搅拌均匀。c. 加入所需的PB 80Ad. 用纯水补足水位至发热器之上e. 开启循环过滤泵，搅拌均匀。f. 开动发热器，直至加温到702。E. 后 浸a. 加入80%缸体积纯水于槽中b. 加入所需的PB Oxide Converter，搅拌均匀。c. 加入所需的C/P Z溶液d. 用纯水补足水位至发热器之上e. 开启循环过滤泵，搅拌均匀。f. 开动发热器，直至加温到4024. 控制条件工 序控制项目控制范围标准值及分析频率 碱性清洁剂槽液当量浓度0.3-0.45N0.37N (1次/天) 微 蚀NaPSH2SO4Cu蚀刻速率60-100g/l1-3%25g/l1-2m90g/l (2次/天)2% (2次/天)4 Lb/in28%(W/W)40% (2次/天)30% (2次/天)0.3mg/cm2 (1次/天)6 Lb/in (1次/周)25% (1次/周) 后 浸PB Oxide ConverterC/P ZTSC4-6%1-2%5%(W/W)5% (2 次/天)1.5% (2 次/天)28%,需废弃槽液PB Oxide Converter槽液的TSC%控制低于5%5) 拉力测试a. 用1000#砂纸稍作打磨待测试之铜膜;b. 置铜膜于生产线上,按正常生产板同样程序处理铜膜至干板出炉;c. 冷却后将黑化铜膜之黑化面,以正常的压板程序压于正常厚度的树脂纤维布;d. 经DF将标准拉力图形转移至步骤(3)之板上;e. 将不要的铜蚀掉;f. 记录剩作铜条之宽度,W(in);g. 用拉力机将余下的铜条拉起,记录拉力机所显示数据,X(lb);h. 计算拉力,Peel Strength (lb/in)=XWi. 控制范围:拉力4 lb/in (最佳值为6 lb/in)10.安全规则1) 安全设备洗眼器: 操作人员不慎溅到化学药水时使用手套 : 戴细棉手套用于搬板子或检验板子时耐酸碱手套: 操作人员操作化学药品时使用药水添加时必须戴防护面罩及手套2) 机械操作安全规定a. 机械设备之抽风每日需检查畅通无阻,否则请维修人员协助排除问题。b. 每日保养由操作人员执行,设备外观清洁及槽内液位检查或更换药水,并检查连线管路要求完整,各项指示灯操作开关要求正常驱动,否则即须反应,通知维修。c. 现场操作时须检查各阀门开关是否定位,换槽时,须先关掉加热器,以免损坏。d. 每班须检视自动添加桶药水液位,不得低于标示点。e. 每周测量自动添加Dosing Pump之流量。11.问题分析程序及原因 1) 问题分析程序a. 检查化学品槽液的温度b. 检查所有化学品控制条件是否在控制范围c. 检查水洗缸内的水是否清澈及流量是否足够d. 检查经粗化后的板面是否亮粉红色,及是否均匀e. 检查所有过滤泵是否运作中f. 检查自动加药系统是否操作正常g. 检查自动加药泵能否泵出药品及其比例是否正常h. 作黑化液及PB Oxide Converter槽液TSC测试,检查药液是否需更换。i. 作黑化膜厚度测试j. 作黑化膜耐酸性测试k. 在正常生产板中,抽取样本检查及记录问题板数量。2) 黑氧化层表面不均匀原 因改善方法1. 抗蚀剂剥除未尽,留有透明残膜.加强黑化前之处理清洁工作2. 黑化前之铜面局部出现严重之钝化皮膜甚至发生变色现象 加强黑化前的微蚀处理。检查微蚀速率是否在正常范围(40-80)3. 板面出现大区域性色差,可能因处理中两薄板互相贴在一起。 采用Teflon拉线式的分隔挂篮装载薄板4. 黑化表面有白点白斑附着,是因高温槽液内有碳酸钠粒子的累积而附着。 避免使用吹气搅拌,以减少槽液中Na2CO3的生成，并加强过滤以除去固体粒子。3) 黑化后处理之铜面色泽不均原 因改善方法1. 经后处理之黑化膜色泽不均,可 能是水洗不良与槽液失控,处理 能力不足所致。 黑化后清洗水洗不足,加强后清洗之水质与操作。 分析后处理槽液是否仍在控制范围内,检讨作业条件是否正确。2. 后处理槽液消耗太快,可能因带 入的氧化槽液太多,或黑化原皮 膜太厚所致。 另行配制新槽液,并改善进槽前之水洗. 降低黑氧化处理层的厚度。3. 共用抽风罩造成各种化学品结晶 又落回槽液中造成污染而致铜面 异常色差。 将每个槽站单独装抽风罩避免相互污染4) 铜面之黑化膜层呈现不均匀之斑驳状原 因改善方法1. 黑化之槽液浓度不足试行增加浓度约10%,以观察情况是否改善,否则即考虑换槽。2. 后洗水不足 检查与改善水流量情形,以及水