AE__DC电源说明书_汉化版.doc

PAGE 5客户反馈对此说明书的格式或内容有任何意见都可以发送邮件至：T要订购一份说明书，请联系技术支持：TPAGE 7目录第一章. 安全与产品兼容性指导重要安全信息1-1说明书中的危险，警告，和注意提示框1-2安全指导1-2安全安装与运作的规则1-2产品标签解释1-3产品兼容性1-5产品证书1-5安全和EMC 标示与标准1-6电磁兼容性（EMC）标示与标准1-6安全标示与标准1-7工业指导1-7使用的条件1-7第二章. 操作原理整体说明2-1输出阻抗的范围2-1输出调节2-1接口2-1微处理器的优点2-2显示2-2抑弧特性2-2运作原理2-2输入2-3家务管理式供应2-3转向器2-3输出2-3输出范围2-3逻辑控制2-4远程接口2-4第三章. 产品规格功能规格3-1物理规格3-3尺寸工程图3-5电气规格3-6环境规格3-12冷却规格3-13PAGE 8第四章. 通信接口用户接口4-1连接器4-1信号4-3模拟信号4-3数字信号4-3引脚说明4-3接触器互锁端口4-10接触器互锁端口连接器4-10接触器互锁线缆要求4-11接触器互锁端口引脚描述4-12被动显示面板4-14显示4-14LEDs4-15主动前面板/Pinnacle 远程面板4-16连接到远程主动面板4-16面板的理解4-18控制按键4-18输出显示画面4-18软键4-18修改旋钮4-19调节按钮4-19开关按钮和LED指示灯4-19放电LED指示灯4-19控制面板界面4-19输出功率按钮4-20控制按钮4-20调节按钮4-21双线输出显示画面4-21软键4-22修改旋钮4-22控制面板的控制4-22菜单选项的理解4-23使用服务功能4-25确认服务类型错误4-26确认服务类型统计4-26确认总能量输出4-26确认总的空闲时间4-26确认错误的数量4-26确认循环的数量4-27检查你的装置4-27观察从属装置的地址4-27确认你的错误主/从系统4-28确认你的硬件结构4-28确认你的软件逻辑4-29PAGE 9确认你的ROM4-29确认你的软件版本4-29使用供应功能4-29设定AE总线的终止时间4-30设定供应参数4-30设定面板模式4-30选择远程或者本地模式4-30选择一个上锁编码4-31选择Clicks的数量4-31设定程序源4-31使用进程功能4-32监视你的进程4-32设定并观察主/从系统诊断建立一个最小的进程电压4-34设定一个超出设定点的计时器4-34修改靶材功能4-35设定进程极限4-36设定一个电压跳脱的极限 4-37设定一个输出电压的最大极限4-38设定一个输出电流的最大极限4-38设定一个输出功率的最大极限4-38设定放电的处理4-39设定放电电压的Trip水平4-39设定放电特征4-39设定放电计数极限4-40观察放电密度4-40修改放电密度窗口的长度4-41设定放电统计持续期间窗口4-41设定放电的次数4-42预定义放电处理4-42启用放电处理4-43设定控制参数4-44设定处方4-44设定波动水平4-45使用靶材条件循环（TCC）4-46启用靶材条件循环（TCC）4-46设定靶材条件循环（TCC）计时器4-46设定焦耳模式4-47设定焦耳设定点4-47设定焦耳起始点4-47设定上升坡度4-48标准系列（闪存）端口4-49标准系列端口描述4-49传送参数4-50 AE总线（主）端口4-50 AE总线（主）连接器和引脚描述4-51 AE总线传送参数4-51PAGE 10设定装置的网络地址4-52按钮的类型和设置4-52外部DIPs4-54内部DIPs4-55最小开关4-56可能的网络地址的按键设定4-57设定Baud速率和通信模式4-58 AE总线（主）通信4-59 AE总线协议4-59 AE总线头字节4-59 AE总线命令数字字节4-60 AE总线选项长度字节4-60 AE总线数据字节4-60 AE总线检查加总字节4-61创建一个理想的通信交易4-62 T0:主传送信息包4-62 T1:单元核实主传送包4-62 T2:单元传送到主机的响应4-63 T3:主机获得响应单元4-63 AE总线通信交易实例4-64 AE总线命令4-64 AE总线命令状态响应（CSR）代码4-64 AE总线命令设定4-66命令序列事例4-108单元解说4-111第五章. 安装，建立，和运作装置的安装前准备5-1安装空间需求5-1冷却需求5-1陈列柜涉及5-2安装需求5-6打开装置的包装5-6装置的安装5-6接地5-7连接接触器Intlk端口5-8连接一个远程被动面板5-9连接一个Pinnacle远程主动面板5-9连接到标准系列端口5-9连接系列（主）端口控制5-9连接用户端口控制5-10连接输入电源5-10输入电源线缆需求5-1 4 Ring-Lug输入连接器5-10 5 终端输入连接器5-12连接输出电源5-13PAGE 11三终端，多接触可插入式连接器（标准）5-13连接放电连接性能.5-23连接主/从运作5-24主从运作的理解.5-24主/从主卡接口5-24构建一个主/从系统5-25主/从结构事例5-27后部面板图纸5-2装置的运作5-29普通运作5-29放电处理的理解5-31电压放电（V-Arc）的跳脱水平5-32 TCC算法启用5-32靶材类型：金属5-33靶材类型：非金属5-33靶材类型：Custom.5-33放电检测延迟时间5-34放电关闭时间5-36放电极限响应5-38放电链接运作5-39Pinnacle总线错误的理解5-39总线错误的类型5-39如果10毫秒总线错误连续地发生5-39主/从系统运作5-40主/从输入开/关结合5-41监视主/从系统5-43清除主/从系统中的错误5-43第六章. 故障处理和全球服务在打电话给AE全球服务之前6-1首先确认6-1确认电源关6-1确认电源开6-1确认如果输出不开启6-3帮助代码问题解决表6-4被动显示面板代码6-6 LED故障处理表6-7清除错误代码6-8错误代码故障处理表6-8主/从错误向量从状态高字节6-22从状态低字节6-22个人卡状态6-23联系AE全球服务6-24先进能量世界总部，24*7技术支持6-24及其返修6-24PAGE 13图片清单PAGE 15表格清单PAGE 25总体描述AE系列直流电源提供了直流电源方面最大的优势。它们。轻巧。高效（内部低发热）。提供了优秀的控制和稳定性。具有高度可靠的结实设计。在输出过滤器中存储很少的能量。快速识别放电并从中恢复。通过一个4:1的阻抗范围（无接头）全额传递功率输出控制Pinnacle供应电源可以作为一个功率，电流或者电压源，取决于所选择的输出控制方式。因为设定水平是存储在不可更改的存储器里，你可以通过它来从输入电源中断的情况下恢复并确保运行中的可持续性。微处理器的优点内部的微处理器会监视所有的运行参数并检查电路运行正确性。当装置初始开启电源后系统诊断便会运行。最近的电源设定和条件（如输出产量）会保留在不可更改的内存中。显示在被动面板和控制面板上会显示功率，电流或者电压水平。也会显示输出，设定点，互锁，总线错误，超温，放电和错误代码的信息。抑弧特征Pinnacle电源的放电处理特征确保可以在工业应用中以最短的时间内恢复。在抑弧特征下，Pinnacle电源的固态放电侦测时间低于1微妙，并且传递放电能量对于10kw的转换器低于10毫焦。（取决于你的装置的输出结构，能量可以显著低于10毫焦）另外，抑弧特征使你可以在你的正常制程循环和你的靶材条件循环期间有补充预定的放电处理程序的功能。在这个模式下，放电检测时间和放电关闭时间是通过靶材类型（金属或非金属）而定的。但是你也可以通过选择用户模式来自定义你的放电关闭和放电检测延迟时间。其它参数，包括放电计数极限和电压跳脱水平，都可通过Pinnacle远程主动面板或者一个系列通信（主）端口来选择。运行原理Pinnacle供应电源是一个高端和智能的直流电源，专门为真空环境下使用而设计的。远程接口逻辑控制控制面板显示家务管理部分直流出输出检测输出部分转换部分输入部分交流进功能模块图转换器转换器部分通过转换晶体管来改变电流从而将直流转换成高频电压。输出在输出部分，一个隔离的变压器从转换部分接上高频电压并发送到一个全波长的桥式整流器。被整流过的直流电源接着通过一个检测部分传送到输出连接器。输出检测输出检测部分检测电流，电压和功率。这些信号代表性的被分成0到10VDC并发送到逻辑控制和界面。PAGE 28逻辑控制在逻辑控制部分里的微处理器使用运行器提供的参数和设定点来控制输出。这个部分也响应输入部分的控制并通过所有接口给运行器提供状态信息。远程接口Pinnacle电源支持4类接口：一个用户端口（模/数），一个系列（主）端口（RS-232/422/485）,一个主动前端面板，和一个Pinnacle远程面板。所有的4个接口将运行期提供的输入传送到逻辑控制部分并给运行期提供状态信息。PAGE 29产品规格功能规格输出控制方式控制模式是当Pinnacle产生输出时保留的一个恒定参数；它可以使功率，电流或者电压。从可选择的Pinnacle远程主动面板，主动前端面板，用户端口或者系列（主）端口中选择其中一个控制模式。可编程的设定点你可以编一个对于功率，电流或者电压的输出水平（从较小值上升到装置的最大输出）的程序。从可选择的Pinnacle远程主动面板，主动前端面板，用户端口或者系列（主）端口中选择其中一个控制模式。输出极限你可以设定对于功率，电压或者电流的最大输出极限。你也可以选择一个最大的跳脱电压范围。从可选择的Pinnacle远程主动面板，主动前端面板，用户端口或者系列（主）端口中选择其中一个控制模式。PAGE 30靶材监视你可以从主动前端面板，Pinnacle远程主动面板，用户端口或者系列（主）端口中选择八个靶材寿命计数器中的一个。靶材寿命可以从Pinnacle远程主动面板，主动前面板，和系列端口中被监视。注意：当选择靶材时，用户端口有优先权。放电控制使用一个主动前面板，Pinnacle远程主动面板，或者一个系列（主）端口来启用放电处理功能；然后选择预编程的放电控制或者自定义放电控制。通过选择一个靶材类型（金属或非金属），预编程装置来使用靶材规格在你的正常制程循环和你的靶材条件循环（TCC）期间的放电关闭时间和放电检测延迟时间。通过选择自定义放电处理选项，你可以预设定你制程的放电关闭和放电检测延迟时间。冷却只有风冷爬升处方爬升处方使你可以预设定你的装置在逐步提升时的爬升方式。通过主动前端面板，Pinnacle远程主动面板，或者系列（主）端口，选择18步，然后选择爬升时间，设定点，和每步的运行时间。错误条件一些错误条件会导致Pinnacle电源关闭输出或者保护输出不被开启。这些条件包括打开互锁循环，输入电源失效，和超温。PAGE 37电气规格模拟接口规格根据接口的类型和结构，05V或者010V.下面是装置的最大值，不是用户的极限值。功率电流电压020KW080A01500PAGE 41冷却规格冷却温度空气最小0，最大40污染程度2（或更好）。冷风必须无腐蚀性蒸汽与固体颗粒，导电颗粒，和遇湿会导电的颗粒噪音装置产生的噪音是在1m的距离71.5分贝PAGE 53接触器互锁线缆要求为了最低程度地减少信号的损失，线缆长度要尽量的短。为了将来自附近电器的干扰降到最低，线缆里的EMI屏蔽必须终端接到线缆连接器的金属外壳。另外，你必须通过一个足够大尺寸的接地铜片连接装置的底盘到本地的接地。PAGE 60面板的理解控制键要从面板控制你的电源，通过按面板上的控制键直到本地模式LED指示灯亮来选择本地模式。将装置设为本地模式使你有完全的权限进入前端面板菜单。要从系列接口或者网络设备端口控制你的电源，按控制键直到 HOST LED灯亮。要从用户端口来控制你的电源，按控制键直到用户LED灯亮。当电源装置处于HOST或者USER控制模式，你可以查看所有的菜单项，但你不能修改参数或者锁定显示屏。输出显示屏查看输出信息输出显示屏显示电压，电流和功率的实际输出值。它也可以显示设定值。选择设定值用面板的控制键来选择本地控制模式（本地LED灯会亮）来从主控制面板调整设定值。然后旋转调整旋钮直到显示你所需的设定值。软键在显示屏对应的下方有五个无标识的软键使你可以选择菜单选项。菜单选项出现在屏幕的第二行。由于不同的选项（不同菜单）是在不同时间显示的，这可手动用软键选择屏幕上对应位置显示的内容。PAGE 61调整旋钮用调整旋钮来改变数值和从菜单中移动。当显示屏显示了一个闪动的值，你可以通过旋转调整旋钮来改变它。另外，你可以用调整旋钮来在菜单中快速移动。按调整旋钮一次使你返回菜单上一级。快速按它两次可以跳出菜单到输出显示画面。控制按钮在设定点菜单，通过按控制键直到相应的LED灯亮来选择输出控制的三种方式之一（功率，电流，或者电压）。如果当电源正在输出时，你从一种方式切换到另一种时，新控制方式的设定值将会变成你调整时对应的输出值。例如，如果电源的控制方式为功率，设定值为5000W,(电压值是500V,电流值是10A),然后你选择电压控制模式，新的设定值将会是500V.PAGE 62控制面板接口控制按钮LOCAL从系列端口或者用户端口取回控制，并将它给控制面板。如果控制面板已经在控制了或者电源正在输出，这个按键将会无效。HOST通过系列（主）端口给电脑主机控制权，不管当前是哪个接口正在控制电源装置。如果系列端口已经有控制权或者电源正在输出，这个按键将会无效。USER通过用户端口给控制器控制权，不管当前是哪个接口正在控制电源装置。如果用户端口已经有控制权或者电源正在输出，这个按键将会无效。注意：只有当装置内部安装了一个用户接口卡，用户控制才能被选择。PAGE 63双行输出显示屏在显示屏底部出现的信息（从左到右）：. 装置配置区 M/S/L: M=主，S=从，或者L=Limited duty cycle J:焦耳模式启用 L:靶材寿命启用PAGE 64 S: 设定值计数器启用V: 制程电压监视启用H: 固态放电计数启用Q/T/R: 处方队列，TCC模式，或者爬升启用C/P.警告区域 当靶材寿命结束时会闪现“EOTL”，或者当达到放电极限时会显示“ARCLIM”注意：只有当固态放电计数特征启用时ARCLIM才会激活. 时钟标识：电源正在做什么 RMP=输出已启动且正在爬升RUN=输出已启动且时钟显示已运行的时间TCC=输出已关闭且TCC模式计数器已激活OFF=输出已关闭且时钟显示上次运行的时间软键注意：如果你再菜单最顶级，按菜单软键来使菜单出现修改旋钮用修改旋钮和软键来改变双行显示屏上出现的选项和数值PAGE 65控制面板的控制注意：如果存在一个错误或者面板被锁定，那么软键会被锁定直到你清除错误。错误信息见Troubleshooting这章。菜单选项的理解按任何软键将会打开树形主菜单。当处于最顶级时，将有三个菜单选项：. 服务. 供应. 工艺从服务菜单，你可以获得诊断的信息。从供应菜单，你可以修改供应规格参数，然后从工艺菜单，你可以进入影响或监视你的工艺的选项。按菜单选项下的软键来选择菜单选项。PAGE 66错误统计排除错误存储软件版本服务菜单图供应菜单图供应监视放电极限工艺控制工艺菜单图使用服务功能用这个选项来查看你电源的诊断和软件版本。选项如下：。错误：用户服务信息。状态：电源统计PAGE 68。排除错误：排除屏幕错误。存储：ROM CRC 检查加总。软件版本：软件版本号注意：菜单选项可能因装置软件的配置而不一样。检查服务类型的错误服务错误户服务将会使用这个选项检查服务类型的统计服务统计使用这个选项来检查服务类型的统计。检查总的能量输出服务统计能量检查总的空闲时间服务统计时间检查错误的数量服务统计事件PAGE 69 1. 按服务统计事件错误和循环选项出现 2. 按错误软键 3. 更多，互锁，IRQS,监视器，和DSP选项出现。 4. 如果你按更多，你可以确认以下错误的数量：PROFIBUS，功率，超温，总线，转换器。 5. 如果你按互锁，接触器，用户和线缆的错误数量会显示。 6. 如果你按 IRQ,已定义及未定义的IRQs的数量会显示。 7. 如果你按监视器，你可以检查设定值计数器的错误和制程电压错误的数量。 8. 如果你按DSP,DSP控制和DSP看门狗错误的数量会显示。检查循环数量服务统计事件循环按输出软键，可以获得事件里输出的数量报告。按装置，可以获得事件里功率的数量报告。排除你装置的错误服务排除错误用这个选项来检查硬件配置，已安装的卡，和逻辑软键选项。查看你的从属装置的地址PAGE 70检查你的主/从系统的错误检查你的硬件配置检查你的通信卡PAGE 71检查你的软件逻辑检查你的只读存储器服务存储器检查你的软键版本使用供应功能这个选项使你课题修改你的供应电源的具体元件和参数PAGE 72设定AE总线的停止时间供应AE 总线这个是供应电源在信息字节之间等待的总时间。这个时间太短会导致通信错误并中断。注意：我们建议你保持这个值尽可能的小，来加速覆盖因噪音产生的错误。设定供应参数供应预设将你的所有供应参数设为预设值并将它存在存储器里。设定面板模式供应面板用这个选项来选择远程和本地控制面板，锁定面板，设定锁定码，或者设定旋钮点击的编码器速率。PAGE 73选择一个锁定码供应面板锁定输入一个锁定码来锁定主动控制面板要进一步进入菜单就需要输入密码。注意:循环启动电源可将锁定状态复位到未锁定。选择点击的数量供应面板点击点击的特性可具体化旋钮每次点击的高速计数数量。你输入的值是当你快速旋转旋钮时每一次点击的乘法器。当你慢速转动旋钮时，乘法器不会生效。你可以输入从1到40的任意数字。如果你想一个显示的数值在你转动旋钮时改变得慢一些，设定每次点击的计数值为1.如果你要快一些就设为40.设定程序源供应程序源PAGE 74程序源可具体化每个控制模式的调节模式和设定值信息。使用工艺功能用这个选项来进入你制程的控制，极限，监视的参数。注意：菜单的选项可能因你装置的软件配置不同而不一样。监视你的制程工艺监视这个菜单使你可以监视你的工艺元素，比如你的主/从系统的配置和运行，你的靶材寿命，超出设定值运行的时间，或者制程电压是否降到了它的起始点。设定和查看主/从系统诊断工艺监视主从系统PAGE 75这个选项使你可以设定你的主/从系统诊断和运行一个系统检查。执行一个主/从系统检查启用系统诊断设定系统电源诊断PAGE 76设定系统装置诊断建立一个最小的制程电压工艺监视工艺电压这个菜单使你可以建立一个做小的工艺电压。使用这个功能，你必须首先启用它然后建立一个要求的起始极限值。工艺极限电压启用后，装置会等待输出电压首先超过极限值。一旦超过极限值，将会保持电压输出直到你将输出关闭或者直到电压降到建立的极限值以下时。如果电压降到极限值以下，输出将会关闭且显示屏上出现错误信息E010.设定一个超出设定值计时器工艺监视设定值PAGE 77使用这个选项来启用和设定一个超出设定值计时器。这个功能使你可以指示电源在关闭输出之前容许多久超出设定值条件。当输出值超出了你所选择的设定值范围时，一个超出设定值条件便发生了。这个超出设定值功能可以在所有的三种控制模式下运行。注意：在没有主/从卡的装置中，超出设定值功能会在放电(包括电源输出短路)期间无效。然而，当安装了一个主/从卡，放电（和短路）会足够长的时间来影响过滤读数（100毫秒或更长），这将会产生一个超出输出值指示。对于一个独立的装置，超出设定值的极限是最大输出值的0.4%或者设定值的2%。在一个主/从系统，超出设定值极限是最大输出值的3.125%，且这是加在整个主/从系统的输出。注意：一个主/从系统中的主系统也受独立超出设定值极限的现实。这个极限（最大输出值的0.4%或者设定值的2%）只加在主系统中的输出。当一个超出设定值条件发生时，装置会关闭输出并显示错误代码E001：OUT OF SETPOINT TIMER EXPIRED.(更多的错误代码信息见异常处理章里的错误代码部分)。要启用超出设定值计时器，按以下步骤选择一个值（以0.1s为递增）；要关闭计时器，按以下步骤选择一个0值.注意：因为与设定值比较的读取反馈时在软件里过滤的，我建议你对于工艺运行低于1S的不要使用这个特征。改变靶材的功能工艺监视靶材靶材功能使你可以启用或关闭靶材寿命计数器（enable），更换活动靶材(select)，并以0.01KWH为递增设定靶材寿命（LIFE）PAGE 78更换活动靶材计数器：注意：用户端口有优先权选择靶材。因此，如果你的装置安装了一个用户卡，如果你想要从系列端口，活动前面板，或者Pinnacle远程主面板（那就是，当装置是在主或者本地控制模式）选择靶材，你必须设定靶材在用户端口为1。让靶材字节打开或者让用户端口的引脚断开会导致用户端口的靶材选择恢复到1.以0.01kWh为递增来设定靶材寿命：靶材寿命可以选择从0到15000.00kWh(预设的是0)。这个功能也会通过计数器递减来显示靶材寿命还剩下多少。当到达靶材寿命的终点时，输出显示屏上会闪烁“EOTL”,且Pinnacle装置会继续运行直到接收到一个正常的停止命令。注意：Pinnacle装置不能再次打开直到靶材寿命复位了或者靶材状态关闭或者选择了一个新的活动靶材。设定制程极限工艺极限PAGE 79这个菜单是你可以控制装置的可用户选择的运行极限：最大输出（电压，电流，功率）。注意：在输入一个最大输出极限前，要考虑你系统的输出阻抗和考虑你选择的功率极限会如何相互影响。当输出到达装置到达第一次合适的极限将会限制输出。注意：你不能设定一个设定值超过那个模式相应的极限值。设定一个跳脱的电压极限不提供高中低Page 80设定一个输出电压的最大极限工艺极限电压设定一个输出电流的最大极限工艺极限电流设定一个输出功率的最大极限工艺极限功率PAGE 81设定放电处理工艺放电使用放电菜单可以在你的正常工艺循环期间或者你的工艺循环和靶材条件循环（TCC）期间的放电处理。放电菜单里的选项是你可以建立正常工艺运行的放电处理参数。另外，这各工艺菜单可以让你查看放电密度统计。启用TCC算法可以将设定值和放电处理处于微处理器控制下，是你可以达到快速，自动的靶材条件。在启用TCC算法前，确保你已经输入了一个设定值和工艺菜单参数值。设定电压放电跳脱水平工艺放电水平这个功能是你可以设定电压放电跳脱水平，也就是，对于工艺模式和TCC算法，当装置确定了一个放电正在发生时的输出电压水平。如果电压水平保持在你设定的总时间（时间/用户/检测功能里）内低于具体的跳脱水平，Pinnacle电源就不会关闭。设定放电特征工艺放电功能这个功能允许你选择持续或标准放电模式，和快速或慢速的放电响应范围。PAGE 82设定放电计数极限这个功能提供了一个在直流输出开启时固态放电和微放电的计数。这个功能设定允许在装置指示超过了用户定义的固态放电之前的放电条件（如定义的放电跳脱水平和放电检测时间）的数量.固态放电的计数存在不可更改的存储器里且装置功率增大减小时也不会重置。查看放电密度工艺放电统计密度固态放电计数器计一次放电，当这次放电发生时满足设定的硬件放电关闭。微放电计数器每次放电发生就计一次放电。当输出循环停止后再次开启时两种计数器都返回到0。注意：如果你不启用放电处理，你就不启用放电关闭。然而，当放电发生时微放电计数器会继续统计。PAGE 831.工艺放电统计密度出现窗口，秒和运行选项2.要查看放电的平均窗口长度，按窗口3. 要查看每秒的放电数，按秒4. 要查看每次运行的放电数，按运行5. 这个现实不会归零只到你重新打开输出。注意：你也可以通过菜单命令工艺放电统计密度运行，按复位软键来将计数器复位。改变放电密度窗口的长度工艺放电统计密度窗口这个特性可以改变窗口的装置平均放电密度的时间。你可以选择一个1到10S之间的数值。在1s 的窗口下，屏幕将会现实前1s发生的实际放电数量。如果窗口设定的值大于1s，那么每秒的放电数量将会现实通过窗口建立的时间里的平均每秒放电数量。当放电平均窗口值改变了，新的值会在后来的功率增大时保持生效。设定放电计数持续期间窗口PAGE 84设定放电次数预设定放电处理这个功能使你可以通过认证你工艺中靶材的类型来指示你工艺需要的放电处理类型：金属或者非金属。这个在一个工艺的放电特征不清楚的情况下很有用，因为这种情况下你很难设定自定义放电次数。选择一个金属或者非金属靶材将开始预定程式的正常工艺循环（PC）和靶材条件循环（TCC如果启用的话）的放电检测时间和放电关闭时间,。以下表格显示了他们的值：PAGE 85选择一个预设定的放电处理模式 1. 按工艺时间预设定 2. 旋转调整旋钮来选择金属或者非金属。 3. 按确认键来写入并退出。启用放电处理工艺放电启用这个功能可启用或者关闭Pinnacle 电源的放电处理功能。警告：在大多数配置中，默认的放电处理启用。如果你选择关闭放电处理，你的Pinnacle装置将会对放电无反应，这可能会损坏你的工艺工具。PAGE 86注意：尽管放电处理被关闭了，微放电计数器继续对发生的放电计数。设定控制参数设定配方注意：当在用户端口控制模式时，你不能设定爬升配方使用配方菜单来使一个爬升配方生效。这个功能使你可以设定Pinnacle装置以逐步（1到8步都可以）增加的方式来爬升。对于每一步，你必须设定一个爬升时间，一个设定值，和一个运行计时器。爬升时间是Pinnacle装置爬升到对应步的设定值所花的总时间（以秒）。运行计时器是Pinnacle装置在对应步的设定值运行总时间（以秒）。要启用这个功能，设定步数至1,2,3，4,5,6,7或8. 要关闭这个功能，设定步数为0.注意：设定值源必须设定到内部来运行一个配方。设定波动水平工艺控制波动这个功能使你可以设定输出波动至一个低幅度的波动（低于2% RMS）或者一个高幅度的波动（4%5% RMS）.PAGE 88使用靶材条件循环（TCC）工艺控制TCC这个TCC菜单使你可以启用TCC（靶材条件循环）算法和设定TCC空闲计时器。启用TCC算法会将设定值和放电处理置于微处理器控制下，使你可以达到快速，自动的靶材条件。在启用TCC算法前，确保你已经首件输入了一个设定值和放电处理参数值。当TCC算法已经启用了，且装置收到了一个启动命令，微处理器将放电检测时间设置到20us(在自定义放电处理，关闭时间保持不变)且开始一系列测试（或步骤）来达到你需要的设定值（最终设定值）。开始时，微处理器设定一个初始设定值，相当于最终设定值的50%。经过10ms后，微处理器检查输出水平并设定一个新的过渡设定值，相当于输出水平的125%。微处理器继续检查输出水平并每10ms设定一个新的过渡设定值（总是以125%的输出水平）直到输出水平相当于最终设定值的80%。当到达最终设定值的80%，过渡设定值会设定到与最终设定值相等，TCC算法结束，并且放电处理返回到你之前设定的参数。设定靶材条件循环计时器当TCC启用了，输出开启时TCC算法首先自动执行。TCC计时器特征使你可以为随后的运行设定一个可以接受的空闲时间。如果输出在空闲时间之内关闭，TCC算法在下一个开启命令时不会再次启动。如果输出关闭比空闲时间长，TCC算法会在下一个开启命令时执行。注意：如果计时器设定为0，且TCC算法已经启用了，装置将会在每次开启输出时执行TCC.PAGE 89设定焦耳模式工艺控制焦耳这个选项使你可以使用焦耳模式，一个自动传递具体焦耳数到靶材的方法。选择最低限度来设定一个必须在开始计算前超过的功率值，因而通过关闭点火期间的计算来增强计算的精确性。选择设定值来设定你想要传递的焦耳数。设定焦耳最低限度这个选项使你可以设定一个在焦耳计算开始前必须达到或者超过的输出功率水平。你可以用这个功能来提高有较长点火时间的工艺精确性。可选择一个10W到装置最大功率的1/8之间的值。设定爬升使用这个选项来逐步将输出升到工艺设定值。这个选项使你可以启用这个功能，设定一个爬升起始设定值比例，并设定一个爬升时间。爬升时间是以10ms递增设定的。最小的爬升时间是0.05s,最大的爬升时间是600s.注意：如果你的装置已经启用了100ms爬升功能，范围将是0.5s到6000s.爬升，配方，和TCC模式是相互制约的。当输出正在爬升时，超出设定值计数器会关闭。Page 91注意：在主控制下，可以通过在输出开启时设定新的设定值到设定值之间产生多重爬升.标准系列（闪）端口标准系列端口描述传送参数AE总线（主）端口AE总线（主）连接器和引脚描述AE总线传送参数AE总线（主）通信AE总线协议AE总线命令PAGE 159安装，设定和运行空间需求.电源两边的净空间必须76mm.电源顶部的净空间必须25mm.电源之间不需要净空间.电源背面得净空间必须102mm,并有充足通风。冷却需求按以下要求安装电控柜，以充分冷却电源：. 只在污染度2或者更好的环境下安装和运行此设备，也就是运行期间无导通污染发生的室内安装，比如，机房，办公室或者厂房。偶然地，当设备不在运行时，冷凝会导致暂时的导通。. 通入充足的正确温度的冷风（040）。. 将冷风分发到电源。. 防止电控柜的排气成为进气和循环。. 用最低的气流限制从电控柜排除热气PAGE 160电控柜设计当设计一个可以叠放电源的电控柜时遵循以下原则梗概。冷风必须很容易进入电控柜；排风必须能够无限制的排出电控柜。如果一些物理限制电控柜排气流量，我们建议安装风扇或者吹风机，从而使热气尽快排出电控柜。每个Pinnacle电源在最大输出时会散失它最大功率的10%。安装要求安装接地PAGE 168输入电源线缆要求注意：我们无法建议一个线缆长度的最大值，输入线缆超过特定长度可能会导致装置内部总线电压校正的不稳定。这可能会导致输出功率波动和中断工艺电压10ms的总线错误。在极端情况下，这可能会导致在主/从或独立系统中传递到负载的最大的输出功率受限。这个影响是因为过量的线电感。我们建议中性线电感不超过90 uH/n, n是装置数量。四拉环输入连接器理想的输入线缆准备理想的输入线缆连接PAGE 172负极输出配置对于溅射应用的最普遍的输出配置是负极输出（相对接地的负电压）。为达到负极输出，连接Pinnacle电源在输出连接器上的负极终端到腔体的阴极。连接供应电源输出连接器的正极终端到腔体的公共端或者接地。用Pinnacle电源输出连接器的接地终端来终止输出线缆的屏蔽。终端和外部线缆的屏蔽都不应带有负载电流。不要用供应电源的接地终端作为系统的接地。不要连接一个带电流的导体到终端，即使这个导体是线缆的一个屏蔽元素。正极输出配置对于需要正极输出电压的特殊应用的输出配置是负极输出（相对接地的负电压）。连接Pinnacle电源在输出连接器上的正极终端到负载的正极。连接供应电源输出连接器的负极终端到负载的公共端或者接地。用Pinnacle电源输出连接器的接地终端来终止输出线缆的屏蔽。终端和外部线缆的屏蔽都不应带有负载电流。不要用供应电源的接地终端作为系统的接地。不要连接一个带电流的导体到终端，即使这个导体是线缆的一个屏蔽元素。外部屏蔽未连接到腔体阴极到腔壁理想的输出连接最有效的输出连接具有如下的品质：1. 外部屏蔽应该只连接一个终端。（如果屏蔽被接到供应电源和负载，外部屏蔽可能带有一些负载电流，从而导致线缆会辐射噪音。）将外部屏蔽只连接到Pinnacle电源输出连接器提供的接地连接（保持屏蔽与负载不连接）2.输出线缆的带电流元素应该被放在附近一起来最低化磁性噪音场。（导电元素是那些线缆连接到Pinnacle输出连接器正极和负极终端的部分。）磁性噪音场发生在一定尺寸比例的导电元素间回路区域。如果你将回路区域最小化，你就可以将磁性噪音最低化。两种类型的输出线缆都满足描述的条件：双重屏蔽导线电缆和屏蔽双线馈线电缆。双重屏蔽导线线缆和同轴电缆非常相似，除了双重屏蔽导线电缆包含了一层包围内部屏蔽和中心导体的额外屏蔽。PAGE 175屏蔽双线馈线电缆由一个被外部屏蔽包围的双绞线组成。不管你采用的那种方式的输出电缆，不要让输出屏蔽带上负载电流。屏蔽双线馈线电缆双重屏蔽导线电缆PAGE 185主/从配置例子背部面板图PAGE 187装置的运作普通运作以下清单代表了一些如何操作Pinnacle电源的一般描述。你将要调整到你的电源配置和应用，环境，与要求。1. 开启Pinnacle供应电源。2. 确认电源LED指示灯亮。如果你正在使用被动面板，确认电源开启和互锁LED指示灯亮。如果互锁LED灯不亮，应该有个错误代码会出现（更多信息见第六章）。如果你正在使用主动前面板或者一个Pinnacle远程面板，确认显示屏连续显示两个信息：AE,FortCollins,Colorado和连续启动电源，请稍侯。另外，确认显示控制设定和调节设定的LED灯亮。最后，确认OFF LED灯亮。注意：如果一个错误代码（也就是，一个“E nn”代码）出现在前面板或者远程主动面板，要解释和故障处理建议请参考第六章。装置默认的是先前选择的控制和调节设定。如果装置已经处于Pinnacle远程面板的本地模式，但是远程面板移除了，装置将会以主控制模式启动。如果这里没有主卡，装置将会以用户控制模式启动。3.如果显示屏无信息显示且/或如果无控制或者调节LED灯，确认装置已正确安装且连接了AC输入电源。4. 确认哪一个电源LED灯不亮。如果你正在使用被动面板，确认总线错误和超温 LED灯不亮。如果其中一个或者两个都亮，将Pinnacle电源功率降低，清除错误，并返回到步骤1.（要错误代码解释和故障处理建议请参考第六章）。如果你正在使用一个主动前面板或者远程面板，确认输出显示屏信息显示在显示屏上。如果显示屏出现一个错误代码和信息，记下错误代码。参考第六章。PAGE 1885. 选择一个控制方式：主（系列）端口，用户端口，或者本地（面板控制）。注意：你不能在用户端口控制模式下设定爬升配方。6. 选择一个调节模式：功率，电流，或者电压。必须关闭输出电源（也就是，输出必须无能量）来切换调节模式。7. 设定一个设定值。8. 如果需要，输入以下参数：。启用焦耳模式并选择一个焦耳设定值（只有通过系列端口，主动前面板，或者远程面板有效）。启用靶材寿命计数器并为每一个应用靶材选择一个靶材寿命（只有通过系列端口，主动前面板，或者远程面板有效）。启用放电处理并为你的正常工艺循环输入合适的放电处理参数，如果需要的话，为你的靶材条件循环也设定下（只有通过系列端口，主动前面板，或者远程面板有效）。注意：如果你启用TCC算法，你就不能使用爬升配方。创建一个爬升配方（只有通过系列端口，主动前面板，或者远程面板有效）。注意：你不能使用爬升配方，如果你已经启用了TCC算法。设定超出设定值计数器至一个大于0的值（只有通过系列端口，主动前面板，或者远程面板有效）。9. 如果需要，为输出功率，输出电压，输出电流，跳脱电压，和/或工艺电压设定极限（只有通过系列端口，主动前面板，或者远程面板有效）。注意：跳脱极限不仅控制着跳脱/点火电压，而且当需要低设定值时会影响初始功率过大的经历。例如，在一个设定为高的极限跳脱电压，当需要一个低功率时你会获得一个相当数量的功率过大。如果点火不难的话，用户可以选择中或者低来降低功率过大的影响。10. 确认所有的输出电源负载条件和连接，且当系统准备好了，启动输出。输出显示屏上的输出信息应该与你要求的设定值相当。11. 确认电源LED灯的状态。如果你正在使用一个被动前面板，确认输出和设定值 LED灯亮。如果这些LED灯不亮，见第六章查看更多信息。 .PAGE 189。如果你正在使用一个主动前面板或者远程面板，确认 ON 的LED灯亮。同时，确认显示屏显示你的输出信息。如果显示屏出现了一个错误代码和信息，见第六章查看错误代码解释和故障处理建议。放电处理的理解AE电源出厂设置是启用放点处理的。每次你关闭电源然后开启后，放电处理的特征旧返回到启用状态。注意：如果你可以的工艺允许的话，你可以关闭放电处理。只有在你的系统包含了特殊提供放电中断的工艺设备。警告：在没有提供外部放电中断的情况下关闭装置的放电处理功能会导致严重的靶材损坏。Pinnacle装置的放电处理默认配有或者不配有标准放电处理：金属靶材，50V 的Trip level.这些设置以最低的金属靶材放电损害提供了最高的产量。PAGE 190电压放电（V-ARC）跳脱水平（TRIP LEVEL）要设定电压放电跳脱水平，用主动前面板上或者远程主动面板或者AE 总线/PROFIBUS命令10上的放电菜单。通过设定电压放电跳脱水平，你就可以指示处在DC转换器输出处量测的最低电压限度，Pinnacle电源也会在这里识别出一个放电。电压放电跳脱水平的最佳值是处于你的工艺正常运行电压和当你的系统经历了一个固态放电时的代表性的低电压之间。后者取决于你的靶材类型，但是固态放电的典型的低电压是处于1030V.因此一个合理的电压放电跳脱水平可能是50V.注意：一些靶材类型经历固态放电是在100V,所以不要认为50V 对所有工艺都合适。TCC 算法启用当靶材条件循环（TCC）算法启用后，且电源接收到了一个ON的命令，电源的微处理器设定放电检测时间到20us,并初始化一系列测试（或步骤）来达到你需求的设定值（最终设定值）。开始时，微处理器设定一个初始设定值，相当于最终设定值的50%。经过10ms后，微处理器检查输出水平并设定一个新的过渡设定值，相当于输出水平的125%。微处理器继续检查输出水平并每10ms设定一个新的过渡设定值（总是以125%的输出水平）直到输出水平相当于最终设定值的80%。当到达最终设定值的80%，过渡设定值会设定到与最终设定值相等，TCC算法结束.注意：如果你已经启用了爬升配方，你就不能启用TCC算法。PAGE 191靶材类型：金属对于金属靶材只使