无尘室基本架构ppt.ppt

1 無塵室基本架構講師 潘岳偉2007 11 29 2 無塵室基本架構 一 何謂無塵室無塵室原名CleanRoom 亦名 潔淨室 潔淨室定義為將空間範圍內之空氣中的微塵粒子等污染物排除 而得到一個相當潔淨的環境 亦即這個潔淨環境中的微塵粒子相當少 亦即 將空氣中的塵埃 壓力 溫度 濕度 氣流分佈之情形及速度控制在一定範圍之空間 二 無塵室基本架構地板隔牆天花板空調照明風淋室傳遞箱洩壓風門 3 4 無塵室之組成 5 地板 Epoxy導電地板 1000級以上 6 地板 鋁合金高架地板 1000級以下 7 地板 8 地板參數及標准 9 隔牆 庫板 PU庫板隔板厚度42mm寬900mm鋼板0 5mm構成材料硬質發泡PU隔熱性能0 44kcal h 隔音性能25dB 金屬隔熱板 防火一小時 隔板厚度60mm寬900mm鋼板0 5mm構成材料石膏隔熱性能 kcal h 隔音性能25dB 不燃鋁蜂巢板隔板厚度42mm寬900mm鋼板0 5mm構成材料鋁蜂巢隔熱性能2 7kcal h 隔音性能 不燃紙蜂巢板隔板厚度42mm寬900mm鋼板0 5mm構成材料紙蜂巢隔熱性能1 4kcal h 隔音性能20 5dB 10 天花板 模組化天花板CeilingGrad模組化高精密高強度替換性高及延伸性可任意變更過濾機佔積率及任意提升潔淨度 class1000 1 11 空調 外氣空調箱 MAUMakeAirUnit 功能 提供無塵室正壓及調節濕度 抽風式外氣空調箱 乾盤管 DryCoil 功能 調節無塵室溫度 除顯熱 使用13 之冰水 風車過濾機組 FFUFan FilterUnit 功能 提供平穩 低噪音之運轉及良好之氣體流量分配 可提供潔淨空氣之高要求 使用於極低微粒粉塵粒子於無塵環境中風量15 30m3 min 12 乾盤管系統 DryCoil 13 冰水 IN OUT 乾盤管功能主要為調節無塵室內之溫度利用13 以上之冰水流經熱交換器以除去無塵室內之顯熱 不除濕 需13 以上冰水之原因為防止乾盤管產生冷凝水由電磁二通閥控制冰水流量以達到所需控制之溫度 2020 3 18 13 可编辑 14 FFU系統 FFU FanFilterUnit風機濾網機組安裝於無塵室天花板上方 其功能為將天花板上方之較低溫空氣吹送至無塵內 於風機組下方並安裝HEPAFilter以過濾微塵粒子 15 16 17 18 照明 無塵室之照度一般要求700Lux以上 淚滴型照明燈具 嵌入式照明燈具 19 風淋室 AirShower 人員及物料進入無塵室之緩衝通道 設於無塵室入口處 具有以下功能 人員管制AIRLOCK氣鎖功能 防止交叉污染風速20 25m s吹落塵埃帶走功能 用以吹除人體衣服上及設備 物料 工具的塵埃 20 傳遞箱 PassBox 傳遞箱 PASSBOX 為置於潔淨室隔間牆上之裝置功能 做為潔淨室內外物品傳遞之緩衝區 其可防止於傳遞物品時由於門的開啟而破壞了潔淨室氣流與室壓可減少作業人員走動的時間而防止外區塵埃的進入進出口具有不可同時開啟的聯鎖控制 以達到防止交叉污染 21 洩壓風門 為防止無塵室受到污染外氣的侵入 室內必須保持正壓 但如果室內正壓太高 會造成門扇不昜關閉之問題 因此必須使用洩壓風門 藉以控制無塵室內保持一定的微正壓 22 MAU空調箱系統 MAU Make upAirUnit外氣空調箱用以維持無塵室正壓之調節濕度OA 外界新鮮空氣初濾 初級濾網 用於初步過濾particle 一般使用效率30 之過濾網冷盤管 經由冰水循環作用 達到除濕效果 冰水需低於11 加熱盤管 經由加熱作用以提高進風溫度風車 經由風車運轉將空氣送入無塵室內袋濾 袋型濾網 中效過濾 一般使用效率80 85 之過濾網HEPA 高效率過濾網 用於最終過濾 一般使用效率99 997 0 3um之過濾網加濕器 將水加熱成水蒸氣注入空氣中以提高空氣之濕度 23 二次冰水系統 混合站工作原理 功能 將7 之一次冰水轉換成13 之二次冰水供乾盤管等使用 原理 由進回水間之二通閥控制所需之二次冰水溫度 13 若二次冰水溫度低於13 時 二通閥將開啟使較高溫之回水送入進水管內以提高進水溫度 當二次冰水溫度高於13 時 二通閥將關閉以便使較低溫之7 冰水能進入而使溫度下降 電磁二通閥靠比