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PNSTONEWIB0712超纯水系统操作维护指导书 上海博恩世通光电股份有限公司质量管理体系文件文件编号PN-STONE/WIB0712版本号A/0页次/总页1/16超纯水系统操作维护指导书版本与更改记载版本实施日期记载编制审核批准A/0xx/04/01首版上海博恩世通光电股份有限公司超纯水系统操作维护指导书文件编号PN-STONE/WIB0712版本号A/0页次/总页2/161目的确保机组的正常运行操作和良好的维护保养，保证生产需要。 2适用范围本规程规定了超纯水制造运行操作步骤，内容，方法等等，适用于超纯水制造机组的操作。 整个系统包括碟片过滤，UF系统，RO系统，精密过滤装置，紫外线杀菌及总有机碳，脱气系统；EDI系统，抛光树脂桶。 3职责厂务动力部负责设备的日常运行及维护。 4定义无5控制内容5.1系统介绍5.1.1主要设备盘式过滤器；UF膜；原水泵；UF逆洗泵；5um过滤器；RO送水泵；一级RO增压泵；二级RO增压泵；RO膜；药洗泵；药洗过滤器；EDI送水泵；UV杀菌机；EDI送水泵；EDI模块；TOC-UV灯；1um过滤器；抛光树脂桶；0.1um过滤器，0.03um过滤器；脱氧膜；真空泵；纯水增压泵。 5.1.2辅助设备板式换热器；NaClO加药机；NaHSO3加药机；NaOH加药机；阻垢剂加药机；加药剂水箱；纯水桶氮封水箱；流量计；比例调节阀；背压阀；电动阀；气动阀；药洗水箱；UF反洗水箱；纯水箱；。 5.2工作原理流程5.2.1超纯水系统就是一个去离子的过程将水中的导电介质几乎完全祛除，又将水中胶体物质；气体及有机物均去除至很低程度的水。 使它的电阻率大于18M.cm。 5.2.2超纯水系统先经过盘滤去除大于100um的颗粒；超滤去除颗粒细菌及病毒；RO逆渗透去除水中96%离子及悬浮污泥；脱氧膜去除水中的溶解氧及部分二氧化碳；EDI去除水中TDS;抛光树脂除盐。 除抛光树脂桶外超纯水就是一个流经膜的过程。 5.2.3EDI是借助离子交换树脂的离子交换作用以及阴阳离子交换膜对阴、阳离子的选择性透过作用，在直流电场的作用下，实现离子定向迁移，从而完成对水的深度除盐。 由于离子交换、离子迁移及离子交换树脂的电再生相伴发生，犹如一个边交换边再生的混和离子交换树脂柱，可以连续不断地制取高纯水，因而该过程又称连续去离子。 上海博恩世通光电股份有限公司超纯水系统操作维护指导书文件编号PN-STONE/WIB0712版本号A/0页次/总页3/165.3控制区域1FL洁净生产车间（研磨间；SCRUBBER间；清洗台间；光刻间）动力房所需的RO水1FL/2FL空调箱加湿用水制程冷却水5.4工作流程，内容和质量要求5.4.1开机前检查5.4.1.1检查MCP及EDI电源柜通电将所有控制盘面板各动力机器（泵与电动阀）的选择开关打到“停止”位置；EDI电柜面板电源选择开关打到“停止”位置。 5.4.1.2检查需要气体阀门的开启5.4.1.2.1检查CDA球阀是否开启，调节入口调压阀，使CDA压力在0.42MPA5.4.1.2.2检查N2球阀是否开启，调节入口调压阀，使N2压力暂处在0.11MPA5.4.1.3检查所需要关闭的阀（手动阀）5.4.1.3.1检查UF药洗回水阀关闭，UF药洗进水阀关闭。 5.4.1.3.2RO药洗进回水阀关闭5.4.1.3.3EDI药洗进回水阀关闭上海博恩世通光电股份有限公司超纯水系统操作维护指导书文件编号PN-STONE/WIB0712版本号A/0页次/总页4/165.4.1.3.45um及1um过滤器排水阀关闭5.4.1.3.501um.及0.03um过滤器旁通阀关闭5.4.1.3.6原水入水旁通阀关闭5.4.1.3.7抛光树脂桶关闭一组旁，关闭另一组抛光树脂桶进出口阀5.4.1.3.8脱氧膜旁通阀关闭5.4.1.3.9检查4个大水桶（原水桶；UF水桶；RO水桶；纯水桶）排水阀关闭及UF反洗水箱排水阀关闭5.4.1.3.10除上述阀关闭以外，系统其它手动阀检查是否全部开启，其中水泵出口阀调到半开启状况，在运行时再以运行数据为参考调节开度，RO系统中进一级RO膜端的球阀调到半开启状况。 真空泵上方一个空气入球阀开启微量。 5.4.1.4检查加药系统各个水箱的水位（不要低于25L）及加药机开度。 加药剂配比如下5.4.1.4.1NaCLO配液浓度为10%；NaCLO配液浓度为5%，每100L水配1700g药剂；5.4.1.4.2NaHSO3配液浓度为5%，每100L水配1700g药剂；5.4.1.4.3阻垢剂配液浓度为5%，每100L水配1700g药剂；5.4.1.4.4NaOH药剂纯度大于96%，配液浓度为2%，每100L水配2000g药剂；5.4.1.4.5处理药品时必须带上橡胶手套、防护镜等防护工具，注意不要直接吸入或接触药品。 5.4.1.5检查氮封所需水箱的水位（刚好封住管口高一点，水位大约30L，不要太高）5.4.1.6检查纯水桶排气管上附带U型管的水位（大约30CM即可）5.4.1.7查看原水桶；UF水桶；RO水桶；纯水桶水位，如系统长时间没运行，排空UF水桶；RO水桶；纯水桶的水。 5.4.1.8检查板换热器进出换热水手阀位置（冬天开热水；夏天开冷水）。 去RO膜的只在冬天需要开热水阀。 5.4.2启动操作5.4.2.1送上MCP盘的所有空开。 将所有加药泵运行开关置于自动位置；原水进水阀开关置于自动位置。 5.4.2.2启动UF系统将UF气动阀；盘式三通阀；盘式旁通气动阀；原水泵运行开关置于自动位置。 5.4.2.3启动RO系统将RO送水泵运行开关；一级RO进水电动阀（MV1）；一级RO冲洗排放阀（MV2）；一级RO增压泵；二级RO增压泵；运行选择开关置于自动位置，打开UV杀菌开关按钮此时观察二级上海博恩世通光电股份有限公司超纯水系统操作维护指导书文件编号PN-STONE/WIB0712版本号A/0页次/总页5/16RO出口水质在10um/cm以下。 5.4.2.4启动EDI系统；将真空泵开关置于自动位置；将EDI进出水阀开关；EDI送水泵运行选择开关置于自动位置；将EDI控制柜上的机组运行选择开关置于远控位置；调整各模块的运行电流（2A）。 5.4.2.5启动UF；RO；二级RO自动冲洗程序；把3个选择开关置于自动位。 5.4.2.6打开TOC-UV按钮，将纯水送水泵；增压泵开关置于自动位置。 5.4.3运行监控与记录5.4.3.1检查运行状况，应显示一切正常；无报警及异常指示。 5.4.3.2检查运行参数以运行数据为参考项次设备名称项目设计数据运转数据1盘式过滤器CF-01进水压力(Kg/cm2)2.20.51.7产水压力(Kg/cm2)1.70.51.5产水流量(M3/H)1029.52超滤系统UF-01进水压力(Kg/cm2)1.70.50.8产水压力(Kg/cm2)1.00.50.1采水流量(M3/H)829.5逆洗压力(Kg/cm2)10.5逆洗流量(M3/H)3052535uM过滤器CF02进水压力(Kg/cm2)3.50.53.2产水压力(Kg/cm2)30.53.14一级RO系统RO01高压泵进水压力(Kg/cm2)30.53.1高压泵出水压力(Kg/cm2)1128一段RO进水压力(Kg/cm2)1128二段RO进水压力(Kg/cm2)1028二段RO产水压力(Kg/cm2)928RO产水压力(Kg/cm2)11.4RO产水流量(T/H)717RO浓水流量(T/H)30.53上海博恩世通光电股份有限公司超纯水系统操作维护指导书文件编号PN-STONE/WIB0712版本号A/0页次/总页6/16RO产水水质(s)5020.65二级RO系统RO02高压泵出水压力(Kg/cm2)617.5一段RO进水压力(Kg/cm2)617.5二段RO进水压力(Kg/cm2)517.4二段RO产水压力(Kg/cm2)41RO产水压力(Kg/cm2)0-1RO产水流量(T/H)616RO浓水流量(T/H)10.31RO产水水质(s/cm)102.76UV杀菌机UV01进水压力(Kg/cm2)4.50.54.4出水压力(Kg/cm2)4.20.54.171uM过滤器CF04进水压力(Kg/cm2)4.20.54.1产水压力(Kg/cm2)3.70.53.98脱氧膜系统GTM01进水压力(Kg/cm2)3.70.53.9产水压力(Kg/cm2)3.20.53.8流量（T/H）5.50.55.5真空度（Torr）5078N2流入流量（L/min）15139EDI系统EDI011#整流器电极(Volt)3203001#整流器电流(Amps)60.42#整流器电极(Volt)3203002#整流器电流(Amps)60.6原水进水压（Kg/cm2）3.20.53.7浓缩水进水压（Kg/cm2）2.70.53.2产水出水压（Kg/cm2）2.20.51.8浓缩水出水压（Kg/cm2）1.70.51.1产水流量（T/H）50.55浓缩水流量（T/H）0.50.5上海博恩世通光电股份有限公司超纯水系统操作维护指导书文件编号PN-STONE/WIB0712版本号A/0页次/总页7/16产水电阻值(M?CM)1517.85浓缩水电导率(s/cm)105.9110纯水泵P09-A/B出水压力(Kg/cm2)4.00.53.2出水水量（T/H）6.50.56.111TOC-UV TOC-UV01进水压力(Kg/cm2)3.50.53.1出水压力(Kg/cm2)3.30.53.012一级抛光混床SGP01进水压力(Kg/cm2)3.30.53出水压力(Kg/cm2)2.80.52.8入口水质(M?CM)120.513.2513纯水增压泵P10-A/B出水压力(Kg/cm2)70.55.2出水水量（T/H）6.50.56.1140.1uM过滤器CF05进水压力(Kg/cm2)70.55.2产水压力(Kg/cm2)6.50.55.2150.03uM过滤器CF06进水压力(Kg/cm2)6.50.55.2产水压力(Kg/cm2)60.54.816纯水终端水出水压力(Kg/cm2)60.55.2出水流量(M3/H)6.50.56.1出水温度（）23124.4出水水质(M)180.218回水流量(M3/H)1.50.36回水水质(M)180.217.95.4.4记录每两小时巡视检查一次。 5.4.5停机操作5.4.5.1进行启动步骤的逆操作5.4.2.65.4.2.25.4.5.2确认MCP柜上所有的运行开关置于停止状况上海博恩世通光电股份有限公司超纯水系统操作维护指导书文件编号PN-STONE/WIB0712版本号A/0页次/总页8/165.4.5.3本系统一当运行，不应允长时间停机。 如果长时间停机需要参考“5.4.5维护保养”之RO关闭及EDI关闭程序5.4.5维护和保养5.4.5.1UF药洗5.4.5.1.1UF药洗条件当过量的杂质细菌附着在膜的表面，以至影响出水量及水质时，则须施以再生、药洗。 UF的使用长久与药洗的频率与方法有很大的关系，一般而言，选择适当的药洗化学品来药洗UF薄膜，可提高使用频率与使用年限，同时在药洗时必须注意以下事项5.4.5.1.1.1必须使用UF产水配制清洗液5.4.5.1.1.2清洗液水温保持小于405.4.5.1.1.3药洗化学品之选择请参考附表,清洗所选用的药剂需视污染的类别选定.污染的类别药洗药剂PH范围清洗时间铁质/结垢1%柠檬酸溶液5-940分钟有机物/细菌200ppm次氯酸钠溶液30分钟细菌1%亚硫酸钠溶液40分钟5.4.5.1.1.4药洗药液的配制必须使固体药剂溶解完全；5.4.5.1.1.5阻塞程度较轻时，仅用柠檬酸溶液药洗即可；5.4.5.1.1.6阻塞程度严重时，依附表之化学药品，进行药洗。 但必须在第一种药液完成药洗并将膜管冲洗干净后方可进行第二种药液的药洗，且不可先进行第二种药液的药洗。 5.4.5.1.1.7UF膜依上述药洗方法来清洗，以提高UF膜效率；5.4.5.1.2UF膜的药洗程序5.4.5.1.2.1流程投药进行药液循环排水补水冲洗排水补水产水5.4.5.1.2.2步骤5.4.5.1.2.2.1首先使UF反洗水箱处于一半水位后，将UF系统切至手动，并在UF清洗水箱中加入上海博恩世通光电股份有限公司超纯水系统操作维护指导书文件编号PN-STONE/WIB0712版本号A/0页次/总页9/16适量的药洗药液清洗。 5.4.5.1.2.2.2启动药液循环开启药洗进水阀，两个药洗回水阀，关闭其它阀门，开启UF反洗泵，时间约30分钟；5.4.5.1.2.2.3冲洗UF关闭药洗进水阀，药洗回水阀,开启UF清洗水箱排水阀;开启UF-AV 02、UF-AV 04、启动原水泵，运行约10分钟；5.4.5.1.2.2.4排水排净UF清洗水箱中药液；5.4.5.1.2.2.5产水打开UF-AV 02、UF-AV05，将系统开启至采水状态，自动进行采水。 5.4.5.1.3UF膜保存方法UF膜储存前，必须清洗干净再以1%甲醛溶液（过滤水配置）适当溶液加入UF膜中，加以保存。 5.4.5.1.4UF维护注意事项5.4.5.1.41每天测试UF产水SDI值；产水流量必须维持在设计量内，切勿任意调高进水压力以提高产水流量；5.4.5.1.4.2每天抄录UF运行记录表。 5.4.5.2RO的化学清洗及保养5.4.5.2.1RO的化学清洗的条件产水流量与平时正常运行流量相比下降10%以上；RO系统的压差增加了15%以上；RO系统的脱盐率下降了5%以上。 尽可能在脱盐率下降显示之前采取化学清洗。 5.4.5.2.2化学清洗时注意点化学清洗不宜过于频繁，每月不宜超过二次；每次1-2小时；化学清洗所用药剂由污染源来决定；为了保证化学清洗效果在清洗前要进行冲洗；化学清洗液的温度不超过35。 5.4.5.2.3RO化学清洗药剂的选择当RO系统出现上述状况后，要求进行RO膜堵塞的原因分析，然后再对膜选择合适的药剂进行化学清洗污染原因清洗液用量(L/台膜件)清洗方法1金属氧化物、钙沉积物沉积2%柠檬酸341药液循环冲洗半小时2停机药液浸泡半小时3.清水冲洗0.2%盐酸0.5%磷酸上海博恩世通光电股份有限公司超纯水系统操作维护指导书文件编号PN-STONE/WIB0712版本号A/0页次/总页10/162细菌及黏泥1%NaOH PH12341药液循环冲洗半小时2停机药液浸泡半小时3.清水冲洗5.4.5.2.4RO清洗操作程序（以酸洗为例说明清洗过程）药品的称量及配制在药洗桶中加入RO产水1000L；准确称量柠檬酸（分析纯）20Kg，并溶解于1000L的药洗桶中；配成2%的柠檬酸溶液。 5.4.5.2.5RO清洗操作程序5.4.5.2.5.12%柠檬酸溶液配制5.4.5.2.5.2关闭RO高压泵出口阀门、RO产水出水阀及RO浓水产水阀。 5.4.5.2.5.3打开药洗泵进出口阀、药液进水阀、RO产水侧药洗回水阀及RO浓水侧药洗回水阀使药液能回流到药洗桶。 5.4.5.2.5.4确认所有开关阀位置准确无误后，才启动药洗泵。 5.4.5.2.5.5使药水循环清洗RO并维持时周约30分钟。 5.4.5.2.5.6注意冲洗满30分钟后要注意观察冲出的废水的颜色及杂质情况；若效果不佳时可以采用冲洗（30MIN）-浸泡（30分钟）-冲洗（30分钟）的程序反复；直至达到理想的效果为止。 5.4.5.2.5.7注意勿使水温上升至35C以上，以免损害RO膜，如发现温度上升至35C时应即刻停机，待冷却后，再行上项动作。 5.4.5.2.6RO冲洗操作程序5.4.5.2.6.1在RO系统化学清洗结束后即进入冲洗过程5.4.5.2.6.2关闭药液进水阀；打开RO保安过滤器出水阀，其它阀门保持药洗时的状态；5.4.5.2.6.3启动RO送水泵过滤水冲洗膜管直至将残余的酸冲洗干净为止（产水水质回升到与原水水质相当时）；5.4.5.2.6.4冲洗合格后，关闭RO产水侧药洗回水阀及RO浓水侧药洗回水阀，打开RO产水出水阀及RO浓水产水阀并调节至正常产水的位置。 5.4.5.3采水经上述清洗后，将所有开关回复至正常产水位置，并且旋转切换开关至自动状态，即可重新开机采水。 注意上述清洗过程中水温不能超过35C，否则立即停机处理。 上海博恩世通光电股份有限公司超纯水系统操作维护指导书文件编号PN-STONE/WIB0712版本号A/0页次/总页11/165.4.5.3长时周停机之操作程序5.4.5.3.1当RO系统拟暂停使用达一周以上时，系统应以1%的亚硫酸氢钠浸泡，防止细菌在膜表面繁殖)。 5.4.5.3.2以亚硫酸氢钠，投入清洗桶内注入适量清水使稀释混合至1%。 5.4.5.3.3打开RO药液进水阀、药洗管道的阀门，药液回流药桶的阀门，依清洗步骤开关循环操作约30分钟。 5.4.5.3.4关闭药洗泵电源开关及所有阀门。 5.4.5.3.5浸泡后，欲再使用本系统时，务必将药水冲洗完，始可采水，操作程序可参考上述说明。 5.4.5.4RO系统使用(保养)注意事项5.4.5.4.1RO送水泵启动，待RO入口之低压开关解除低压保护时，才启动RO高压泵采水；5.4.5.4.2RO前保安过滤器的滤芯最多三个月更换一次或出入口压差达1.0Kg/cm2时更换，要注意保安过滤器的压差,当出现压差急剧上升时.主要是过滤器浑浊度的泄漏,相反压差下降时是过滤组件的损坏所致；5.4.5.4.3纯水流量请维持在设计流量内，切勿任意调高出水压力以增加流量；5.4.5.4.4RO主机进水压力于运转中不得低于1.1Kg/cm2；5.4.5.4.5纯水水质若下降，请先对照原水质是否同时下降，再根据脱盐率计算水质结果是否正常；5.4.5.4.6RO系统高压泵是由低压保护开关的设定值来保护，即供水低压或水量不足时自行停机，若压力开关设定值产生变化，以致不能保护RO高压泵(低于0.2kg照常启动)时，请自行调整；5.4.5.4.7本RO膜须随时注意入口水质，进水氯含量不得超过0.1PPM，以免造成RO膜氧化水解，如有超过时，应及时增加NaHSO3的投加量，以免RO膜受到损害；5.4.5.4.8化学清洗不宜过于频繁，每月不宜超过二次，每次1-2小时；5.4.5.4.9RO装置出入口压差超过标准时说明膜面已受污染或给水流量在设计值以上.经调整后仍不能解决问题则应进行化学清洗；5.4.5.4.10化学清洗所用药剂由污染源来决定；5.4.5.4.11化学清洗液的温度不超过35；5.4.5.4.12系统若停用5天以上最好用甲醛冲洗后投入使用；5.4.5.4.13若长时间停用宜用1%的亚硫酸氢钠浸泡；上海博恩世通光电股份有限公司超纯水系统操作维护指导书文件编号PN-STONE/WIB0712版本号A/0页次/总页12/165.4.5.4.14过量的给水流量将使RO膜组件提前劣化,给水不能超过设计值;浓水流量不能小于设计值；5.4.5.4.15RO入口压力要保持有适当的余量,否则由于没有适当的压实,除盐率会下降。 5.4.5.5EDI的化学清洗及保养5.4.5.5.1EDI的化学清洗的条件5.4.5.5.1.1产水流量与平时正常运行流量相比下降10%以上5.4.5.5.1.2产水压力下降了15%以上或进水压力上升了15%以上5.4.5.5.1.3产水水质显着下降5.4.5.5.1.4模块运行电压显着升高5.4.5.5.1.5浓缩水及电极水流量下降5.4.5.5.1.6尽可能在产水水质下降之前采取化学清洗。 5.4.5.5.2化学清洗时注意点5.4.5.5.2.1化学清洗不宜过于频繁，每月不宜超过二次；每次1-2小时5.4.5.5.2.2化学清洗所用药剂由污染源来决定。 5.4.5.5.2.3为了保证化学清洗效果在清洗前要进行冲洗5.4.5.5.2.4化学清洗液的温度不超过35。 5.4.5.5.2.5若长时间停用宜用5%NaCL溶液浸泡.5.4.5.5.3EDI化学清洗药剂的选择当EDI系统出现上述状况后，要求进行EDI模块堵塞的原因分析；然后再对模块选择合适的药剂进行药学清洗污染原因清洗液用量(L/台膜块)清洗方法1金属氧化物、钙沉积物沉积2%柠檬酸501药液循环冲洗一小时2停机药液浸泡半小时3.清水冲洗0.2%盐酸0.5%磷酸2细菌及黏泥1%NaOH PH12501药液循环冲洗一小时2停机药液浸泡半小时3.清水冲洗上海博恩世通光电股份有限公司超纯水系统操作维护指导书文件编号PN-STONE/WIB0712版本号A/0页次/总页13/165.4.5.5.4EDI清洗操作程序（以酸洗为例说明清洗过程）5.4.5.5.4.1药品的称量及配制5.4.5.5.4.1.1在药洗桶中加入RO产水1000L；5.4.5.5.4.1.2准确称量柠檬酸（分析纯）20Kg，并溶解于1000L的药洗桶中；5.4.5.5.4.1.3配成2%的柠檬酸溶液5.4.5.5.4.2EDI清洗操作程序5.4.5.5.4.2.12%柠檬酸溶液配制5.4.5.5.4.2.2关闭EDI进水阀、产水阀、浓水产水阀5.4.5.5.4.2.3打开药洗泵进出口阀、药液进水阀、产水侧药洗回水阀、浓水侧药洗回水阀以利药液能回流到药洗桶5.4.5.5.4.2.4确认所有开关阀位置准确无误后，才启动药洗泵5.4.5.5.4.2.5使药液循环清洗EDI并维持时周约60分钟5.4.5.5.4.2.6注意冲洗满60分钟后要注意观察冲出的废水的颜色及杂质情况，若效果不佳时可以采用冲洗（60MIN）-浸泡（30分钟）-冲洗（60分钟）的程序反复，直至达到理想的效果为止。 5.4.5.5.4.2.7注意勿使水温上升至35C以上，以免损害EDI系统，如发现温度上升至35C时应即刻停机，待冷却后，再行上项动作。 5.4.5.5.5EDI冲洗操作程序在EDI系统化学清洗结束后即进入冲洗过程5.4.5.5.5.1关闭药液进水阀，打开CDI进水阀，其它阀门保持药洗时的状态；5.4.5.5.5.2启动CDI送水泵，利用RO产水冲洗模块直至将残余的酸冲洗干净为止（产水水质回升到与RO水水质相当时）；5.4.5.5.5.3冲洗合格后，关闭产水侧药洗回水阀、浓水侧药洗回水阀；打开CDI产水阀、浓水产水阀并调节至正常产水的位置。 5.4.5.6再生/采水5.4.5.6.1经上述清洗后，模块中的树脂已失去交换能力需要进行树脂再生动作。 5.4.5.6.2打开EDI纯水侧的药洗回水阀，关闭EDI产水阀5.4.5.6.3启动EDI送水泵，启动整流器送点执行再生5.4.5.6.4待产水水质达到标准要求后即可打开EDI产水阀，再关闭EDI纯水侧的药洗回水阀使EDI上海博恩世通光电股份有限公司超纯水系统操作维护指导书文件编号PN-STONE/WIB0712版本号A/0页次/总页14/16回复到产水状态5.4.5.7EDI系统关机之操作程序5.4.5.7.1关闭EDI系统进水阀；5.4.5.7.2打开排水阀将膜堆中的水全部排出；5.4.5.7.3关闭进出口阀门。 5.4.5.8EDI系统重新启动5.4.5.8.1将产水出水接到排水沟；5.4.5.8.2开启膜堆进水阀；5.4.5.8.3在直流电源已启动的情况下运行系统，冲洗并排水；5.4.5.8.4如有要求可对膜堆进行消毒。 5.4.5.8EDI系统使用(保养)注意事项5.4.5.8.11um过滤器的滤芯最多三个月更换一次或出入口压差达1.0Kg/cm2时更换;要注意保安过滤器的压差,当出现压差急剧上升时.主要是过滤器浑浊度的泄漏,相反压差下降时是过滤组件的损坏所致；5.4.5.8.2各水道的流量请维持在设计量内，如超出设定值，系统会自动停机；5.4.5.8.3CDI进水压力需大于浓水侧进水压力5Psi/cm2以上；产水压力需大于浓水侧产水压力5Psi/cm2以上；5.4.5.8.4化学清洗不宜过于频繁，每月不宜超过二次，每次1-2小时；5.4.5.8.5模块进水、产水压差超过标准或运行电压过高说明膜面已受污染.经调整后仍不能解决问题则应进行化学清洗；5.4.5.8.6化学清洗所用药剂由污染源来决定；5.4.5.8.7化学清洗液的温度不超过35；5.5故障与应急处理上海博恩世通光电股份有限公司超纯水系统操作维护指导书文件编号PN-STONE/WIB0712版本号A/0页次/总页15/16项次警报名称警报概要装置的自动应对确认事项1控制空气气源压力低CDA气源压力不足0.5MPa发出警报，RO之前的装置全部停止工作RO后部份仍正常工作，直至压力达到0.5MPa以上时会自动恢复请确认气源在本系统入口处阀门有无故障，压力有无异常确认上述没有问题时，请确认压力开关是否存在故障2RO高压泵