沉铜线作业指导书.doc

沉铜线作业指导书 1.0目的为PCB的生产操作、过程控制等过程提供标准依据，指导操作员工正确操作，保证品质。 文件编号DS-SP-PE01标题工艺作业指引书版版次次11发行日期xx-33-22制定部门工艺部页数9退膜、蚀刻操作指引书版本审批栏受控印章栏A编制人:韦虎军审核:批准:发送一览表“（）”注明发送部门()厂长()工程部()品质部()生产部()工艺部()财务部()物控部()维修部()市场部2.0适用范围本操作指引适用于垂直化学沉铜制作流程。 3.0职责权限生产部执行日常操作、控制工艺参数、生产中出现问题及时进行处理、日常保养并做好相应记录。 工艺部负责为流程工艺问题解决和提供技术支持。 维修部负责为生产设备提供保养及维修服务和新设备安装，调试。 品质部负责流程参数的监控，指导员工操作及测试仪器和调校。 仓库部负责提供合格的物料。 4.0作业流程工艺(作业)流程上板膨松双逆流漂洗除胶渣（凹蚀）回收水洗顶喷水洗溢流水洗预中和双逆流漂洗中和双逆流漂洗除油热水洗双逆流漂洗微蚀双逆流漂洗酸洗双逆流漂洗预浸活化双逆流漂洗加速双逆流漂洗沉铜双逆流漂洗下板放入2%的稀硫酸液浸泡。 流程说明膨松膨松及软化基材使易于被KMnO4咬蚀。 除胶通过KMnO4对基材及胶渣的蚀刻作用以清除钻孔留下的胶渣并使孔壁粗化以利于钯的吸附增强化学铜的结合能力。 回收对凹蚀液进行回收再利用。 预中和调整铜面及保护中和槽液中和:清除除胶渣后的残液并除去孔内及版面上残留下之高价锰确保孔壁为最佳状态。 除油清洁孔壁表面并调整其电荷，使催化剂易于吸附。 热水洗防止除油温度过高，保护板的伸缩性。 微蚀蚀刻孔壁内层及板面的铜层，增强电镀铜层与基材铜层的结合力。 酸洗清除微蚀液中的微量元素。 预浸调整铜面及保护活化槽液。 加速（解胶）除去胶体钯颗粒外面包围的亚锡离子，使胶体颗粒中的钯核暴露出来，以直接有效催化启动化学沉铜反应。 活化使孔壁附着上胶体钯，活化非导电的孔壁，以催化后面化学铜的沉积。 加速沉铜通过催化钯之作用，使在孔壁及铜面沉积一层细致的铜层为电镀加厚铜提供导电基体。 5.0作业参数垂直H PTH参数控制总表流程控制项目控制点控制范围检查频率膨松NaOH0.85N0.160.2N1次/班SW-01(强度)40%3545%1次/班温度7065751次/班除胶高锰酸钾55g/L50-60g/L1次/班K2MnO425g/L25g/L1次/班NaOH1.0N0.91.1N1次/班温度7565-851次/班再生电流250A25050A1次/班机械搅拌运转正常运转正常1次/班打气开启开启1次/班预中和H2O22%13%1次/班H2SO42%13%1次/班Cu2+20g/L20g/L1次/班温度2520-301次/班中和N-03100%80%-100%1次/班H2SO42.7N1.8N-3.6N1次/班温度4035-451次/班除油CD-121100ML/L80-120ML/L1次/班超声波电流2A2.50.5A1次/班温度6055-651次/班微蚀H2SO44%25%1次/班SPS100g/L75120g/L1次/班Cu2+3-25g/L25g/L1次/班温度252051次/班打气开启开启1次/班酸洗H2SO43%2-4%1次/班预浸PD-130A200G/L波美度15-181次/班过滤机压力0.5kg/cm20.5kg/cm21次/班温度252051次/班活化PD-130A200G/L波美度15-181次/班AT-1402%2%1次/班温度4435-441次/班震动开启开启1次/班加速AC-151A8%5%-10%次/6H AC151B10g/L105g/L次/6H温度45405次/6H沉铜CU-160M8%HCHO5-7g/L1次/班CU-160A7%Cu2+1.6-2.0g/L1次/班CU160B7%NAOH10-12g/L1次/班打气开启开启1次/班副槽滤袋清洗更换清洗更换1次/班倒槽/1次/周温度2522-271次/班各水洗缸溢流量8L/min6-10L/min1次/班换槽/1次/周打气开启开启1次/班备注除油、膨松第一道水洗打气不开，活化后水洗打气不开。 6.0作业内容序号流程建浴标准（每升含量）开缸添加量药水更换、维护频率1膨松膨松剂400ml氢氧化钠8g氢氧化钠2.16kg,膨松剂108L每三月或81002除胶渣（凹蚀）540L高锰酸钾55G氢氧化钠8%高锰酸钾29.7kg,氢氧化钠21.6KG每年或350003预中和硫酸2%双氧水2%硫酸5.4L双氧水5.4L Cu20g/l时换缸4中和AR级硫酸100ml中和剂N-03为200ML硫酸27L，中和剂54L Cu20g/l时换缸5整孔整孔剂CD-120为100ML整孔剂27L Cu1g/l时换缸或67006微蚀（粗化）AR级硫酸70ML过硫酸钠80G硫酸10L,过硫酸钠27KG生产面积达500m2或Cu2+25g/L7酸洗硫酸2%-4%8L同上（即微蚀换缸同时更换）8预浸预浸盐PD-130A为220G预浸盐60KG槽液转为蓝色、绿色或67009活化预浸盐PD-130A为220G，AT140活化剂为25ML预浸盐60KG，活化剂5.4L一年或铁离子含量高于150PPM10加速AC-151A加速剂80ML AC151B加速盐10G加速剂22L加速盐2.7KG药水浑浊、铜离子达200PPM或500011沉薄铜注含副槽共700L。 铜离子7%，氢氧化钠7%,HCHO为8%160M稳定剂56L，160A为49L,160B为49L注开缸必须按下列顺序严格执行（ 1、加入70%DI水 2、开启循环搅拌 3、加入160M稳定剂 4、加入160A 5、加入160B一年,每周倒缸6.1开机6.1.1沉铜线开机6.1.1.1将动力配电箱中的总电源开关合上；6.1.1.2按生产需要及工艺要求开启相应的功能控制开关(包括过滤打气添加泵,液槽的加热、恒温震荡、搅拌垂直气缸振动及整流柜的控制开关)；6.1.1.3按工艺要求设定各药水缸的温度；6.1.1.4根据MI要求选择生产程序6.2关机6.2.1沉铜线关机6.2.1.1空篮后依次关闭空缸的打气、水阀、过滤、加热、搅拌、震荡等系统；6.2.1.2最后一篮板出来关闭行车电源，保留沉铜缸打气及过滤。 6.3生产操作规定6.3.1无论停产还是生产，沉铜缸均保持打气状态。 6.3.2不生产时沉铜缸自动补加器的感应头需用微蚀液泡洗。 6.3.3停拉2小时内进1篮拖缸板，停拉4小时内进2篮拖缸板，停拉4小时以上进3篮拖缸板，每篮拖缸板面积4070FT2，拖缸板使用60次后更换新的拖缸板，拖缸板使用记录在生产记录上备注，拖缸板使用无铜基板。 6.3.4停产后再次启动生产时，沉铜缸添加药水半小时后由工序送样到化验室复测药水的含量，按化验分析单进行调整。 6.3.5每班检测一次振动系统6.3.5.1振动马达标准20mm/s；6.3.6停止生产4小时后沉铜缸降温至室温，停拉3天后进行倒缸一次后再生产。 6.3.7生产中（收拉除外），维持如下铜缸负载0.10.2Ft2/L。 6.3.8由于AT-140直接与水混合时会出现分解.所以如要补充水位时,应该用预浸液补加，而补充水位每次不能多于15升.6.3.9沉铜后的板泡稀酸，浓度2%，沉铜后的板至电镀上板时间4小时，超过4小时的返沉铜处理。 6.3.10生产操作要求6.3.10.1生产中,每小时检查一次各药水缸的液位是否正常,过滤泵、震荡器、气震系统运作状况是否正常。 6.3.10.2各药水缸舀出之药水禁止倒入水洗缸，必须充分保证水洗的清洁度。 6.3.10.3缸内有板时禁止添加药水进缸，待板吊起才能补加药水。 6.3.10.4除胶缸再生器电流生产时保持25050A的电流；停产时间预计在12小时之内保持100200A的电流，并不关搅拌；停产时间预计在12小时之外的关闭再生器电流及搅拌。 6.3.10.5每次维护用干布碎擦洗行车、导轨、泵浦，防止设备表面有药水造成腐蚀，控制箱所有开关按扭不能带水操作。 6.3.11自检项目6.3.11.1.1板面不允许起砂、铜皮起泡、刮伤划伤铜皮等现象；6.3.11.1.2铜粒、肿瘤、起砂DPU值0.10；6.3.11.1.3无板面发黑、发红等变色现象；6.3.11.2检查方法6.3.11.2.1用10倍放大镜和目检（在明亮的灯光下）。 6.3.11.2.2检查频率10%抽检6.3.11.3背光值6.3.11.3.1接收标准6.3.11.3.2双面板背光值8级；6.3.11.3.3多层板背光值9级。 6.3.11.3.4检查方法切片。 6.3.11.3.5检查频率停拉后启动生产前面连续3篮检查背光，连续生产2小时检查一次背光,QA负责检查并记录。 6.3.12异常处理6.3.12.1背光不良处理方法6.3.12.1.1处理流程问题板磨板返沉铜（从除油段进板）检查背光下工序。 6.3.12.1.2生产线停电或机械故障之处理方法6.3.12.1.3当遇到停电或机械故障的时候应立即取出微蚀和加速缸中的板。 6.3.12.1.4如果停机超过10分钟则应把药水缸中的板全部取出放入水槽中。 活化后的板应重新从预浸开始做。 6.3.12.1.5在化学铜内之板可以继续沉铜直至时间足够。 6.3.12.1.6如果停机超过1小时则应取出所有的板经过高压水洗后重做。 6.3.12.1.7PTH出现异常的处理、监控及追溯异常项目处理、监控及追溯责任背光不良,药水参数异常（除油、活化、沉铜缸）,设备故障（含自动补加系统、超声波等）,异常停水,突发异常停电, 1、即时暂停进板生产，知会工程师、主管，查找问题原因（重点除油、活化、沉铜），并试首板OK再生产。 2、同时即时对出现不良时的前三批板，后面批量板，加查背光情况，抽样比率增加（每100PNLS抽5pnls，前三批均有不良，则继续往前追查至连续三批无不良为止。 ） 3、问题板需排除异常后试首板OK再返工，并由QA追踪可靠性测试工序、工艺、QA PTH后板停放时间超标对无法在规定停放时间内生产完的板均作返工处理，并标识由QA追踪可靠性测试。 工序、QA7.0保养内容7.1日保养7.1.1每日下班前需对设备表面进行清洁，如缸体、行车路轨、铜缸副槽、再生火牛、过滤泵等，清洗沉铜缸过滤滤袋，同时执行水洗、药液更换维护项目等。 7.2周保养缸名保养项目频率保养要求（或程序）水洗缸更换新鲜清洁的水及清洗槽边和槽底且将缸底集物清除干净1次/周保证缸体、缸壁无脏污膨松缸中和缸微蚀缸除油缸预浸缸活化缸更换滤芯1次/周a.稀硫酸浸洗过滤芯.b.自来水清洗过滤芯.c.滤芯放入过滤泵中使用.沉铜缸更换过滤芯1次/周清理缸中积铜1次/周保证缸内药液的鲜活性，缸体、缸壁干净，无沉上铜层7.3月保养缸名维护项目频率保养要求所有药水缸更换活化缸每3个月倒缸一次，其余以生产面积维护/所有水洗缸清洗缸体