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操作手册 1 提示 本操作手册仅是英文版的参考 说明 如有问题 请参考英文版操作 手册 提示 本操作手册仅是英文版的参考 说明 如有问题 请参考英文版操作 手册 供 参 考 操作手册 2 目录目录 1 绪论绪论 4 1 1 前言 4 1 2 专业术语缩写 5 1 3 权限与义务 6 2 安全安全 7 2 1 安全设施 7 2 2 安全标识 8 2 3 常规安全说明 8 2 4 警告标识 9 2 5 安全区域 10 2 5 1 说明 10 2 5 2 区域 10 2 6 使用目的 11 2 7 人员操作资格 11 2 8 急停开关 12 2 9 个人防护器材 13 2 10 环境安全要求 14 2 11 自动压力开关 15 3 描述描述 16 3 1 构造 16 3 2 概览 17 3 2 1 前视图 17 3 2 2 后视图 18 3 3 工作原理 19 3 3 1 系统概述 19 3 3 2 硅片载入 20 3 3 3 硅片传送 21 3 3 4 加热和沉积 22 3 3 5 冷却 23 3 3 6 硅片载出 24 3 3 7 石墨舟返回 25 3 4 控制概览 26 3 5 指示灯和声音 27 3 6 操作界面 28 3 7 标签 30 4 操作操作 31 4 1 选择工艺程序 31 4 2 启动步骤 31 4 3 监管生产工艺 32 4 4 停止步骤 33 5 预防性维护预防性维护 34 5 1 时间表 34 5 2 更换和维护电极 34 5 2 1 准备 34 供 参 考 操作手册 3 5 2 2 拆除和安装 35 6 故障分析故障分析 37 6 1 介绍 37 6 2 DEPx 错误信息 38 6 3 气体压力控制 39 6 3 1 气体压力控制面板 39 6 3 2 检查气压 39 6 3 3 手动开关 39 6 4 断电后系统开启步骤 40 A 附录附录 界面界面 41 A 1 主界面 41 A 2 真空界面 42 A 3 真空设定界面 43 A 4 沉积腔室界面 44 A 5 沉积腔室设定界面 45 A 6 温度预热界面 46 A 7 温度预热设定界面 47 A 8 温度预热设置界面 48 A 9 线性马达传输系统界面 49 A 10 LLI界面 50 A 11 LLI设置界面 51 A 12 LLO界面 52 A 13 LLO设置界面 53 A 14 石墨舟返回轨道 CRT 界面 54 A 15 石墨舟返回轨道 CRT 设置界面 55 A 16 硅片载入机械手 HDI 界面 56 A 17 硅片载入机械手 HDI 设置界面 57 A 18 硅片载出机械手 HDO 界面 58 A 19 硅片载出机械手 HDO 设置界面 59 A 20 安全门的管理界面 60 A 21 工艺管理界面 61 B B 附录 安全数据清单附录 安全数据清单 62 B 1 介绍 62 B 2 材料安全数据清单 MSDS 62 供 参 考 操作手册 4 1 绪论1 绪论 1 1 前言 1 1 前言 本操作手册用于操作人员关于DEPx的日常使用和维护 附件的资料为本文件的一部 风 本手册只是关于DEPx文件的一部分 文件类型 培训级别 文件号码 操作员手册 1 A 100 15 625 6 M1 额外载入 载出的操作手册 1 维护手册 2 A 100 15 625 6 M2 工艺手册 2 A 100 15 625 6 M3 DEPx 有向左或向右传送两种模式 本手册适用于这两种结构 本手册中的视图 以向右传送的模式 本手册不包括生产设备维护 可以查阅维护手册和专业维护手册 本文件属于设备的一部分 保存文件在安全的地方 文件中的内容在以后或日常 的维护中可能会用到 厂家可根据客户的需求提供设备资料的额外需求 供 参 考 操作手册 5 1 2 专业术语缩写 专业术语缩写 Ar 氩气 Ar a SiNxH 氢参杂非结晶氮化硅 Amorphous hydrogenated silicon nitride BHT 底部加热单元 Bottom heater CRT 石墨舟返回轨道 Carrier return track CSD 石墨舟向下翻转单元 Carrier Swivel Down CSU 石墨舟向上翻转单元 Carrier Swivel Up DCH 沉积腔室 Deposition Chamber H2氢气 Hydrogen HDI 硅片载入机械手 Handler DEPx In HDO 硅片载出机械手 Handler DEPx Out HMI 操作界面 Human Machine Interface IPA IPA 2 propanol IsoPropAnol LLI LLI Load Lock In LLO LLD Load Lock Out LMS 线性马达系统 Linear Motor System MFC MFC Mass Flow Controller N2 氮气 Nitrogen NaOH 氢氧化钠 Sodium Hydroxide NH3 氨气 Ammonia PC 个人电脑 Personal Computer PECVD 等离子增强化学气相沉积 Plasma Enhanced Chemical Vapour Deposition PHT 预热单元 Pre Heat PLC 可编程逻辑控制器 Programmable Logic Controller PPE 个人防护器材 Personal Protection Equipment Profibus Profibus通信系统 Process Field Bus RAG module 红黄绿讯号警示灯 Red Amber and Green signal Module RI 折射率 Refractive Index SiH4 硅烷 Silane SLM 标准升 分钟 Standard Litres per Minute 供 参 考 操作手册 6 1 3 权限与义务 1 3 权限与义务 制造商不会对损失或是其它损伤负责任 除非责任是归属于制造商主管或是员工的明 显过失 制造商的责任不包含 损伤来自于自然磨损 人员错误或是疏忽的处置 客户 第三 者错误或是未经许可的委任 设置和生产设定而导致的损伤 不正当的存贮或者卸载和 未批准打开机器的机器 不正当或瑕疵环境情况和未批准的拆迁机台 未经许可的更 改机台或是增加装置 擅自修改或是增加软件 以不适当或是不正确的方式来维修或 是操作机台 在这边遗漏没有被提到 但是在操作手册 维修手册和工艺手册中有说明 的部份 当客户没有完全遵守制造商的契约及指示 制造商将不会对损失或是其它损伤负责 任 对比于上述所提几项 如果制造商必须对损失或是损伤负责任 制造商只针对直接受 损的机台和人员部分负责 不对延伸的可能性的损失负责 或是最终的损失负责 包含 收入上的损失 客户必须使用原厂的料件 不可以使用替代性的料件 除此之外 客户必须依照手册 上记载的方法来维修机台 不可以使用客户原创的方式维修机台 客户不被允许擅自修 改机台 包含控制软件的修改 焊接 硬件上的修改以及增加机台控制的装置 否则制 造商不会对损失或是其它损伤负责任 供 参 考 操作手册 7 2 安全 2 安全 本系统设计符合安全性 包含使用 环境和手册上的安全性说明 本系统符合欧洲健康与安全方针与规范 此规范详列在 声明和规范 中 详细内容请 参照机台日志 在接下来的安全规范章节中 如果没有依照安全指示工作 有可能会造成系统或是人员 的损伤 可以依照不同国家区域增加安全规范 本文件仅提供最基本和必须的及台操作安全规 范 2 1 安全设施 2 1 安全设施 本系统有以下安全防备 预备的气体侦测输入 输出讯号线 可以侦测气体外泄 以防气体外泄时 系统可以 自动 关闭所有的气体管路 手动的紧急开关 自动关闭装置 当系统压力过高时 气体释放阀门将会自动关闭 系统正面所有的门都有安全护锁 机械式安全护照以免人员碰触危险区域 供 参 考 操作手册 8 2 2 安全标识 2 2 安全标识 2 3 常规安全说明常规安全说明 警告警告 勿损坏安全标示 操作中 禁止饮食或吸烟 不要用易燃液体擦拭高温表面 断电后 才能维护设备 当开启设备时 确保周围通道无杂物 没有专业人员在场禁止开启设备 遵守本手册进行操作维护 供 参 考 操作手册 9 2 4 警告标识 警告标识 供 参 考 操作手册 10 2 5 安全区域安全区域 2 5 1 说明说明 系统清晰的划分了安全单元 当你接近安全区域时 关闭那些设备危险的运行动作 2 5 2 区域区域 区域 危险运行描述 石墨舟向上翻转单元 A 1 硅片载入机械手的 Y 轴方向的运动 石墨舟更换单元 B 2 C LLI 内部区域2 外侧 VAT 阀门 左 工艺侧 VAT 阀门 右 D 3 无危险运行 E 4 外侧 VAT 阀门 右 工艺侧 VAT 阀门 左 F 5 石墨舟向下翻转单元 硅片载出机械手的 Y 轴方向的运动 供 参 考 操作手册 11 2 6 使用目的使用目的 系统在硅片上镀上一层a SiNx H 减反射薄膜 2 7 人员操作资格人员操作资格 只有经过训练并且审核合格的人员可以操作本系统 请确认所有操作人员都接受过适当而且 完整的训练 如果你不理解以上说明可以要求接受所需要求的训练 供 参 考 操作手册 12 2 8 急停开关急停开关 警警告 告 在系统状态尚未达到安全状态前 请勿重新启动紧急开关 注意 注意 按下紧急开关后 真空泵浦不会停止运作 以维持系统的真空状态来 确保安全状态 供 参 考 操作手册 13 2 9 个人防护器材 个人防护器材 PPE 警告 在操作系统时 佩戴正确得个人防护器材 佩戴正确地安全鞋 佩戴防护眼镜 安全手套 防护耳塞和呼吸保护器当执行步骤需要这些时 询问当地的安全部门 供 参 考 操作手册 14 2 10 环境安全要求环境安全要求 警告警告 请勿让 SiH4 气体流入空气中 SiH4 是一种易燃且会产生高温的气体 如 果没有遵守安全指示 有可能会发生 SiH4 与空气接触而发生自燃与爆炸的 结果 警告警告 氢气是高度易燃 易爆的工艺反应物 请参考材料安全清单 警告警告 请勿让 NH3 流到空气中 NH3 是有毒的气体 经由呼吸道吸入或是皮肤 接触 可能造成严重灼伤 NH3 对人体的眼睛是非常有害的 警告警告 请勿让氩气与氮气流到空气中 高浓度的氩气与氮气会压缩空气中的氧气 如果没有遵守安全指示 操 作人员有可能会因为窒息而死亡 注意注意 某些化学清洁药剂可能会触发氨气气体侦测器 某些工艺反应物可能触发氢 气气体侦测器 注意注意 根据当地的规章 排风系统必须经过湿法处理或燃烧塔处理 详细数据请参考附表中的材料安全数据清单 MSDS 供 参 考 操作手册 15 2 11 自动压力开关自动压力开关 这两个自动检测压力开关 A 装在工艺腔室的排风处 当系统压力过1mbar开关将会 自动关闭 此时任何工艺气体将不能进入工艺腔室 供 参 考 操作手册 16 3 描述描述 3 1 构造构造 DEPx系列有硅片向右和向左两种传输方式 本手册以硅片向右传输举例说明介绍 A HDI 硅片载入机械手 B DEPx 主机DEPx C Lane1 第1道 D Lane2 第2道 E Lane3 第3道 F HDO 硅片载出机械手 G Coordinate system for HDO 载出机械手的坐标系统 H HMI of HDO 载出机械手的操作界面 I HMI of DEPx DEPx的操作界面 J HMI of HDI 载入机械手的操作界面 K Coordinate system for HDI 载入机械手的坐标系统 供 参 考 操作手册 17 3 2 概览概览 3 2 1 前视图前视图 A 石墨舟向上翻转单元 F 特气柜 K 沉积腔室 B 石墨舟 G LLO L 预热单元 C 硅片载入位置 H 硅片载出位置 M 底部加热单元 D LLI I 石墨舟向下翻转单元 E 泵浦组 J 石墨舟返回轨道 供 参 考 操作手册 18 3 2 2 后视图 3 2 2 后视图 A 冷却水进水阀门与流量 B 冷却水出水阀门与流量 C 主冷却水出水手动阀 D 主冷却水进水手动阀 供 参 考 操作手册 19 3 3 工作原理工作原理 3 3 1 系统概述系统概述 系统在硅片上镀一层a SiNx H膜 用来制作太阳能电池 硅片被载入系统 硅片通过系 统后 一层a SiNx H被沉积 最后硅片从系统中取出 系统的过程有 硅片载入 硅片传送 加热 沉积 冷却 硅片载出 石墨舟返回 供 参 考 操作手册 20 3 3 2 硅片载入硅片载入 额外的机械手把硅片放入石墨舟 LLI 使硅片进入一个真空环境 互锁装置包括2个VAT阀门 2个阀门的相互配合 创造一个密闭的空间 此密闭空间的压力可以从大气状态变成真空状态 供 参 考 操作手册 21 3 3 3 硅片传送 3 3 3 硅片传送 传输系统 LMS 使硅片以匀速通过腔体 线性磁性系统推动石墨舟的运动 石墨舟在沉积腔室里互相紧密连接在一起 防止碎屑掉入石墨舟之间的缝隙中 供 参 考 操作手册 22 3 3 4 加热和沉积加热和沉积 预热部件把硅片加热到操作温度 大约400 C 上面和下面的红外灯管进行热辐射 加热 A Source 1 等离子产生器1 B Source 2 等离子产生器2 C Source 3 等离子产生器3 D Source 4 等离子产生器4 E Source 5 等离子产生器5 DCH 具有5个等离子体产生器 用来在硅片上沉积a SiNx H膜 这些等离子体源 利用氩气产生等离子体 注入NH3 等离子体经过SiH4环 在沉积腔室中 这些 气体在硅片表面形成a SiNx H薄膜 红外灯管用来维持硅片表面的温度 供 参 考 操作手册 23 3 3 5 冷却冷却 在沉积室后 硅片直接被冷却 直到硅片被取出 供 参 考 操作手册 24 3 3 6 硅片载出硅片载出 LLO 将硅片带出系统 LLO的互锁装置包括2个VAT阀门 2个阀门的相互配合 创造一个密闭的空间 这个密闭的空间在阀门的作用下 可以从真空状态变成大 气状态 一个额外的机械手会从载出位置取走硅片 供 参 考 操作手册 25 3 3 7 石墨舟返回石墨舟返回 CSD将石墨舟从卸载位置旋转成几乎竖直位置 碎片和颗粒粉尘将从石墨舟 上掉下 CRT把石墨舟传送回CSU CSU将石墨舟旋转到水平方向至载入位置 供 参 考 操作手册 26 3 4 控制概览控制概览 A 主电源开关 B 控制面板 包括操作界面 C 气动面板 注意 查看 3 2 2 该页显示冷却水进水和出水的位置 供 参 考 操作手册 27 3 5 指示灯和声音指示灯和声音 红红 色色 A 黄黄 色色 B 绿绿 色色 C 声声 音音 方方 法法 警告 间歇 开始 电源开启 持续 稳定的工艺状态 间歇 稳定的工艺状态 没有生产 持续 需要操作 持续 间歇 故障 持续 间歇 工艺超出规范 供 参 考 操作手册 28 3 6 操作界面操作界面 A 急停开关 B 复位键 C 电脑触摸屏 D 键盘 按键颜色的常规标准和指示 绿色 生产模式 红色 警告或者是急停状态 黄色 待机模式 蓝色 手动模式 暗灰 空闲模式 粉红 初始化 紫色 状态不明确 供 参 考 操作手册 29 A 信息和错误代码 B 按键 C 系统的示意概览 D 整个系统的模式 E 选择模块的模式 F 使用级别 错误信息用字母 E 指示 错误的文本是红色的 警告信息用字母 W 指示 警告的文本 是黑色的 进入不同模块的界面 在触摸屏上按模块 按相应的功能键 用鼠标点击界面上的模块 在界面区域的底部点击相应的键 供 参 考 操作手册 30 表格表格 3 1 按键按键 消息 界面的信息 查阅附录 3 7 标签标签 主要的系统和系统的部件都有序列号 序列号涉及设备记录的部分信息 供 参 考 操作手册 31 4 操作 4 操作 4 1 选择工艺程序选择工艺程序 1 在操作界面 HMI 上 按程序管理键 2 选择在线工艺列表 Online 3 选择相应工艺 4 按 Load 按钮 4 2 启动步骤启动步骤 登陆 1 在控制面板上面按复位 reset 键 2 按登陆 login 键 3 在下拉目录中选择操作员 operator 选项 4 输入密码 5 点击 OK 6 按主界面 Main Screen F8键进入主界面 7 按开始 start 键 8 按F2进入DCH界面 开始工艺 1 当状态是真空 Vacuum 在系统的示意概览中按待机 Standby 键 2 当状态是待机 Standby 按等离子开 Plasma on 键 3 当状态是等离子开 Plasma on 按 Plasma on NH3 键 4 等待45分钟 系统加热 5 当状态是 Plasma on NH3 按 PECVD 键 6 确认工艺 询问工艺工程师 系统会自动开始 系统会取出在留在里面所有的硅片 如果外部的机械手也在生产状态 而且有硅片 生产开始 供 参 考 操作手册 32 4 3 监管生产工艺监管生产工艺 警告 在触摸硅片时 必须佩戴防护眼镜和安全手套 查看 2 9 警告 在触摸硅片时 必须佩戴防护眼镜和安全手套 查看 2 9 系统自动运行 当管理生产工艺 要做以下的作业 管理 规格 万一有异常 通知 HDI 和 HDO Loadlock 的所有硅片进入和取出 维护工程师 硅片的颜色 根据规格 工艺工程师 进水温度 在 18 度到 20 度之间 维护工程师 出水温度 最高 30 度 维护工程师 DCH 沉积室的温度 不高于 450 度 工艺工程师 真空压力 根据工艺工程师 工艺工程师 供 参 考 操作手册 33 4 4 停止步骤 4 4 停止步骤 警告 尽量减少停止系统的次数 否则会扰乱工艺 设置系统到待机 stand by 模式 1 按F8键进入主界面 2 按 HDI 模块 3 按待机 stand by 键 4 等待直到所有的硅片从系统中取出 5 按F8键进入主界面 6 按待机 stand by 键 7 按F2进入DCH界面 停止工艺 等待生产 1 当状态是化学沉积 PECVD 按等离子开 Plasma on NH3 键 2 当状态是化学沉积 Plasma on NH3 按等离子开 Plasma on 键 停止工艺 打开腔体 1 当状态是化学沉积 PECVD 按等离子开 Plasma on NH3 键 2 当状态是化学沉积 Plasma on NH3 按等离子开 Plasma on 键 3 当状态是等离子开 Plasma on 在系统的示意概览中按待机 Standby 键 4 当状态是待机 Standby 按真空 Vacuum 键 5 按 Flush all 去除危险气体 注意 在次步骤后 系统不能马上停止 系统不会载入新的硅片 供 参 考 操作手册 34 5 预防性维护预防性维护 5 1 时间表时间表 作业 频率 查看 更换和维护电极 44 小时生产完后 5 2 5 2 更换和维护电极更换和维护电极 5 2 1 准备 5 2 1 准备 电极钝化和失效以后 警告 更换之前 确认好系统已经完全停止 查看 4 4 所有的 5 个电极都执行该步骤 零件 零件 电极 5x 工具 工具 开口扳手 尺寸8 一套内六角扳手 电极的长度标准工具 物品号码P 100 15 201 削尖新的电极 1 削尖电极的尖端 2个斜面的夹角是15度 2 清除电极的污染物和毛刺 供 参 考 操作手册 35 设置新的电极长度 1 把新的电极嵌入导向螺钉 2 把新的电极插入电极长度标准容器 电 极尖端向下 警告 插入电极时要非常小心 如果电 极掉入电极长度标准工具 电极 尖端会损坏 3 锁紧导向螺钉 5 2 2 拆除和安装拆除和安装 停止 1 确认新的电极已经准备好 查看 5 2 1 2 停止系统 查看 4 4 拆除盖板 1 拉开保护的屏蔽盖板 A 然后移开它 2 拆除盖板导管 B 供 参 考 操作手册 36 拆除电极 1 拆除固定电极的螺母 D 2 拆除电极 3 从电极上拆除导向螺钉 C 安装 1 立刻把新的电极安装到原来的地方 警告 如果拆除和安装中间隔得时间太长 系统的真空就会丢失 2 锁紧固定电极的螺母 3 安装盖板导管 4 安装保护的屏蔽盖板 供 参 考 操作手册 37 6 故障分析故障分析 6 1 介绍介绍 如果操作手册里面的信息不能解决错误 联系维护工程师 A 1代表信息 2代表警告 3代表错误 B 装置 C 错误代码 对于装置的额外清单 参考维护手册 供 参 考 操作手册 38 6 2 DEPx错误信息错误信息 错误信息错误信息 错误描述错误描述 可能的原因可能的原因 可能的解决方案可能的解决方案 还存在紧急停止 的问题 检查和解决紧急停止的原因 300100003 紧急停止处于激活 状态 急停开关还处于 开 的位置 1 拉出急停开关 2 在操作界面上面按复位按钮 3 开始系统 查看 4 2 气压太低 检查气压 查看 6 3 2 300100005 压缩空气的气压不 存在 手动开关处于 关 的位置 把开关设置到 开 的位置 查 看 6 3 3 300210013 300220013 300230013 300250013 300260013 首先关闭安全门 安全门处于开的 状态 1 按门 door 的键进入门的界 面 2 关闭显示为 开 状态的门 300210014 300220014 300230014 300250014 300260014 在不允许的情况 下 安全门被打开 安全门处于开的 状态 1 按门 door 的键进入门的界 面 2 关闭显示为 开 状态的门 300600603 一号门部分被关闭1号门的门接触 装置失效 2号门的门接触 装置失效 300600605 二号或三号门部分 被关闭 3号门的门接触 装置失效 4号门的门接触 装置失效 300600607 四号或五号号门部 分被关闭 5号门的门接触 装置失效 1 按门 door 的键进入门的 界面 2 关闭显示为 开 状态的门 3 通知相关的护卫工程师 300600609 DEPx载入位置的 门部分被关闭 进料系统的侧门 处于开的状态 1 关闭进料系统的侧门 2 通知相关的护卫工程师 300600611 DEPx载出位置的 门部分被关闭 出料系统的侧门 处于开的状态 1 关闭出料系统的侧门 2 通知相关的护卫工程师 307110827 错误的电极类型 被使用 使用正确的电极 307120827 307130827 等离子产生器不能 被点燃 电极尖端已经钝 化 削尖电极 查看 5 2 供 参 考 操作手册 39 6 3 气体压力控制气体压力控制 6 3 1 气动压力控制面板气动压力控制面板 A 手动开关 B 气体调节阀 C 气压表 1 要访问气动面板的话 要打开系统的右 上方的门 6 3 2 检查气压检查气压 1 读气压表的压力 气压应该是大于6 bar 6 3 3 手动开关手动开关 1 把手动开关设置到 开 的位置 供 参 考 操作手册 40 6 4 断电后的启动步骤断电后的启动步骤 登陆 1 在控制面板上面按复位 reset 键 2 按登陆 login 键 3 在下拉目录中选择操作员 operator 选项 4 输入密码 5 点击 OK 转换到远程的泵浦组 1 在泵浦组 A 的操作界面上 按远程 Remote 键 现在 泵浦组可以从DEPx 上的操作界面上操作 结束 1 按主界面 Main F8键进入主界面 2 按空闲 idle 键 3 通知维护工程师 供 参 考 操作手册 41 A 附录 界面附录 界面 注意 这些界面只是起参考的作用 操作员不能被授权更改参数 A 1 主界面主界面 主界面显示的是系统各个模块的分布 模块不同的颜色代表着不同的状态 如果要进入 模块 点击所要的模块 供 参 考 操作手册 42 A 2 真空界面真空界面 真空界面显示泵浦组的不同的泵浦 通过压力趋势线检查压力 真空界面和预热界面具 有相同的局部模式 空闲 待机或者生产 供 参 考 操作手册 43 A 3 真空设定界面真空设定界面 真空设定界面显示了真空模块的工艺参数 供 参 考 操作手册 44 A 4 沉积腔室界面沉积腔室界面 沉积腔室界面显示工艺气体 氩气 氨气和硅烷 和氮气供给的设定 在待机模式下 氨气和硅烷的供给停止 供 参 考 操作手册 45 A 5 沉积腔室设置界面沉积腔室设置界面 沉积腔室设置界面显示了沉积腔室模块的生产和系统的参数 供 参 考 操作手册 46 A 6 温度预热界面温度预热界面 预热界面显示预热的功率 预热界面和真空界面具有相同的局部模式 空闲 待机或者 生产 供 参 考 操作手册 47 A 7 温度预热设定界面温度预热设定界面 温度预热设定界面显示了预热模块的工艺参数 供 参 考 操作手册 48 A 8 温度预热设置界面温度预热设置界面 温度预热设定界面显示了预热模块的生产和系统参数 供 参 考 操作手册 49 A 9 线性马达传输系统界面线性马达传输系统