已阅读5页，还剩26页未读， 继续免费阅读
版权说明：本文档由用户提供并上传，收益归属内容提供方，若内容存在侵权，请进行举报或认领
文档简介
1 微影照像用材料 2 ElectronicMaterials 電子材料 2 圖2 1 a 正光阻 和 b 負光阻成像的比較 3 4 5 6 圖2 2光阻覆蓋製程 7 圖2 3 a 正光阻 b 負光阻的特性比較 8 續 圖2 3 a 正光阻 b 負光阻的特性比較 9 10 11 圖2 4電漿預處理 12 圖2 5影像反轉製程和 a 以深紫外光照像 b 曝光後 c 矽離子植入 d 氧離子植入 e 最後是光罩中透明的部份被保留了 13 圖2 6駐波現象 14 圖2 7 a 繞射現象和 b 降低繞射的比較 15 圖2 8一個光罩的例子 16 17 圖2 9光罩護膜 18 19 20 圖2 10接觸式曝光系統 21 圖2 11步進照像系統 22 圖2 12在晶圓上步進曝光 23 圖2 13霧狀晶圓的對準原理 24 圖2 14 a 傳統光罩 和 b 相移光罩的成像的解析度比像 25 圖2 15數值孔徑的表示方法 26 圖2 16焦距深度的表示方法 27 圖2 17解析力的表示方法 28 圖2 18各種紫外光和可見光光譜 29 圖2 19x光微影技術用的光罩 30 31
温馨提示
- 1. 本站所有资源如无特殊说明，都需要本地电脑安装OFFICE2007和PDF阅读器。图纸软件为CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.压缩文件请下载最新的WinRAR软件解压。
- 2. 本站的文档不包含任何第三方提供的附件图纸等，如果需要附件，请联系上传者。文件的所有权益归上传用户所有。
- 3. 本站RAR压缩包中若带图纸，网页内容里面会有图纸预览，若没有图纸预览就没有图纸。
- 4. 未经权益所有人同意不得将文件中的内容挪作商业或盈利用途。
- 5. 人人文库网仅提供信息存储空间，仅对用户上传内容的表现方式做保护处理，对用户上传分享的文档内容本身不做任何修改或编辑，并不能对任何下载内容负责。
- 6. 下载文件中如有侵权或不适当内容，请与我们联系，我们立即纠正。
- 7. 本站不保证下载资源的准确性、安全性和完整性, 同时也不承担用户因使用这些下载资源对自己和他人造成任何形式的伤害或损失。
最新文档
- 小学心理健康主题教案设计方案
- 职业技能培训课件制作标准
- 2025中国移动广东公司专项社会招聘笔试考试备考试题及答案解析
- 八年级语文教学质量提升报告
- 2026届山西省吕梁市柳林县化学高二上期末统考试题含答案
- 建筑木工班模板安装安全培训教材
- 2025修水县城镇建设科技有限公司招聘工作人员1人笔试考试备考试题及答案解析
- 软件项目需求分析文档模板全集
- 2025重庆好德医院招聘笔试考试备考试题及答案解析
- 小学体育“跳绳技巧”教学设计
- 机房设备维护及运维管理手册
- 2025广投集团春季校园招聘230人笔试参考题库附带答案详解
- 2025年中国华电集团有限公司“青年骏才”招聘和校园招聘笔试参考题库附带答案详解
- 台海形势的形与势课件
- 2025青鸟消安AI产品手册
- 《筑牢网络防线守护绿色童年》主题班会
- 吊篮安拆安全培训课件
- 太阳能热水工程系统安装与验收规范
- 2025年秋期新教材人音版三年级上册小学音乐教学计划+进度表
- 数字化公共文化服务-洞察及研究
- LNG-CNG-LPG液化石油气、液化天然气、压缩天然气汽车、罐车事故处置
评论
0/150
提交评论