光栅传感实验论文.doc

光栅传感实验论文 文章题目光栅传感器实验论文姓名xx学号xxxx电话xxx邮箱xxxx创新点自述光栅传感器是将微小位移放大可用于多种测量领域1.与光纤结合形成光纤光栅传感器光纤光栅压力传感器、光纤光栅温度传感器、光纤光栅压力传感器、光纤光栅压力传感器光纤光栅压力传感器2.在位移自动测量系统中的应用采用光栅移动产生的莫尔条纹与电子电路以及单片机相结合来完成对位移量的自动测量，它具有判别光栅移动方向、预置初值、实现自动定位控制及过限报警、自检和掉电保护以及温度误差修正等功能。 以及机床行业三坐标测量机精密转台、工厂自动化电机行业电子制造设备印刷行业、造纸行业、水利行业纺织行业、天文望远镜航空和航天、测量参数、长度角度、速度加速度振动表面轮廓、长度计、数控机床、桥梁健康监测系统等均有应用。 光栅传感实验论文作者四川大学xx xxxxxxxx摘要该实验用光栅传感实验仪，研究莫尔条纹的产生机理，并测量直线光栅常数。 通过观察直线光栅，径向圆光栅，切向圆光栅的莫尔条纹，论证了莫尔条纹能起放大作用，移动与栅距成比例，能平均误差作用，运用这些特性，光栅传感器能运用在机床加工，检测仪表等高精度需求行业。 关键字:光栅传感莫尔条纹的应用高精度加工Grating sensingexperiment xxxxxsichuan universityAbstract Inthis experiment,the experimentalapparatus withgrating sensorresearch thegenerating mechanismof moire-fringe andmeasured thestraight line grating constant.Through theobservation straightlinegrating,radial roundgrating,tangential roundgrating,demonstrates moire-fringe amplifyingfunction canplay moire-fringe andmovement fromthe gate,proportional,can averageerror function,using thesecharacteristics,grating sensorcan usedin machininghigh-precision demand,measurement instrumentetc industries.Keyword gratingsensor applicationsof moire-fringe high-precision machining1.引言关于莫尔条纹现象的发现，可以追溯到19世纪的七十年代，英国物理学家Rayleigh于1874年第一次描述了两块光栅重叠后所形成的条纹。 他在一篇题为“关于衍射光栅的制造和理论”的论文中写到“如果把每英寸具有同样数目的刻线的两个(衍射光栅的)照相复制品处于接触状态，使两个光栅中的刻线几乎平行则就会产生一组平行的条纹，其方向将两个光栅刻线之间的外角二等分，而其距离随着倾角的减小而增大”。 在这之后，曾有过许多企图利用条纹运动作为测量目的的尝试。 1887年Righi第一次指出了这一现象用于测量的可能。 Giambiasi在1922年取得了一项采用目测条纹的测径规的专利。 随着时间的推移，莫尔条纹测量技术现已经广泛应用于多种工程计量测试中，为微位移的测量，做出了重大的贡献。 2.实验原理2.1.莫尔条纹现象两只光栅以很小的交角相向叠合时,在相干或非相干光的照明下，在叠合面上将出现明暗相间的条纹，称为莫尔条纹。 莫尔条纹现象是光栅传感器的理论基础，它可以用粗光栅或细光栅形成。 栅距远大于波长的光栅叫粗光栅，栅距接近波长的光栅叫细光栅。 2.1.1直线光栅两只光栅常数相同的光栅，其刻划面相向叠合并且使两者栅线有很小的交角,则由于挡光效应（刻线密度=100/mm），在与光栅刻线大致垂直的方向上形成明暗相间的条纹，如图1图1直线光栅莫尔条纹设主光栅与指示光栅之间的夹角为，主光栅光栅常数为1d，指示光栅光栅常数为2d，相邻莫尔条纹之间的距离为w。 为了求叠合后的莫尔条纹方程，先建立直角坐标系及相应的光栅方程。 取光栅常数为1d的光栅的任一栅线为y轴，与其垂直的方向为x轴。 令n与m分别为两光栅的栅线序数，两光栅的栅线方程分别为1ndx= （1）sincot2mdxy?= （2）然后求两光栅栅线交点的轨迹，交点轨迹是由栅线的某一列序数（n，m）给定。 一般情况下，交点连线由（n,m=n+k）序列给定，其中k是整数。 今以m=n+k，1/dxn=代入 （2），解得图2径向圆光栅莫尔条纹莫尔条纹方程的一般表达式为sincot)cos1(212kdddxy?= （3）上式为一直线方程簇，每一个k对应一条条纹。 由上式得到条纹的斜率为?cot)cos1(tan12?=dd （4）则莫尔条纹间距w为式 （3）中相邻两个k值所代表的两直线之间的距离，其一般表达式为cos221222121?+?=ddddddw （5）当ddd=21时，由 （5）可得2sin2dw= （6）由上式可知，当改变光栅夹角，莫尔条纹宽度w也将随之改变。 若主光栅沿与刻线垂直方向移动一个栅距d，莫尔条纹移动一个条纹间距w。 因此，莫尔条纹可以将很小的光栅位移同步放大为莫尔条纹的位移。 当得到莫尔条纹相对移动的个数N Ndx=线性莫尔条纹有如下主要特性 (1)条纹的移动与光栅的相对运动方向相对应就可以得到光栅相对移动的位移x为在保持两光栅交角一定的情况下，使一个光栅固定，另一个光栅沿栅线的垂直方向运动，则莫尔条纹将沿栅线方向移动。 若光栅反向运动，则莫尔条纹的移动方向也相应反向。 (2)位移放大作用当两光栅交角很小时，相当于把栅距d放大了1/倍。 当闸莫尔条纹。 (3)同步性0=时w,称为光光栅运动一个栅距d，莫尔条纹相应移动一个条纹间距。 2.1.2径向圆光栅径向圆光栅是指大量在空间均匀分布都指向圆心的刻线形成的光栅。 图2是两只节距角相同（即=21）的径向光栅相向叠合产生的莫尔条纹。 设两块径向辐射光栅，光栅中心为1o与2o，节距角相同。 建立坐标系，以21oo为x轴，以21oo中心o为原点，21ooe=节距角值由x轴起算，计算径向莫尔条纹方程的过程与计算直线莫尔条纹方程的过程相似。 光栅1o的栅线方程为)tan (2)tan(nnexy?= （7）光栅2o的栅线方程为)tan (2)tan(nnexy?+?= （8）对光栅1o考虑栅线序号（n+k），k为大于0的任意有理数，则可将式 （7）式改为)tan(2)tan(?+?+=knexkny （9）由 （8） （9）两式，可求的莫尔条纹方程04tan222=?+eykeyx （10）因此，莫尔条纹有如下特点 （1）莫尔条纹为一组不同半径的圆方程，圆心位置为?ketan2,0，半径为kketan21tan2+。 所有的圆均通过两光栅的中心(e/2,0)和(-e/2,0)。 （2）条纹的曲率半径随位置不同而变化，靠近外面的曲率半径较大，靠近光栅中心的曲率半径较小。 （3）当其中一只光栅转动时，圆族将向外扩张或向内收缩。 每转动1个节距角，莫尔条纹移动一个条纹宽度。 2.1.3切向圆光栅切向圆光栅是由空间分布均匀且都与1个半径很小的同心圆单向相切的众多刻线构成的圆光栅，如图3(A)所示。 切向光栅的栅线都切于一个小圆。 它们是一组同心圆环，如图3(B)所示。 设两块切向光栅，节距角相同，栅线分别切于半径为1r与2r的两个小圆上。 求两者叠合时的莫尔条纹方程，建立直角坐标系。 以光栅中心为原点，令两块光栅的零号栅线平行于x轴，则光栅1（半径为1r）的栅线方程为图3(A)切向圆光图3(B)切向光栅莫尔条nnrxycos)tan(1?= （11）光栅2（半径为2r）的栅线方程为nnrxycos)tan(2?= （12）对光栅2考虑栅线序号（n-k），式 （12）可改为)cos()tan(2?knrxkny?+?= （13）由 （11）与 （13）两式，解得两光栅相应栅线交点的坐标为kn)rrknxsin)cos(cos(21?+?= （14）kn)rrknysin)sin(sin(21?+?= （15）由式 （14）与 （15），可解得莫尔条纹方程的表达式为kkrrrryx221222122sincos2+=+ （16）当k足够小时，式 （16）简化为22122)(krryx+=+ （17）由式 （17），讨论分析如下 （1）两切向光栅形成的莫尔条纹花样是一簇以光栅盘中心为圆心，以krr21+为半径的同心圆簇。 （2）条纹宽度为相邻两条纹半径之差，其表达式为)1+(21+=kkrrw （3）若两光栅圆半径相同，均为r，则 （17）式简化为2(k222)ryx=+2.2.光栅传感器光栅传感器主要由光源系统、光栅副系统、光电转换及处理系统等组成，如图4。 光源系统使光源以平面波或球面波的形式照射到光栅副系统，光电转换及处理系统用于检测莫尔条纹的变化并经适当处理后转换为位移或角度的变换，其中光栅副系统主要用于产生各种类型的莫尔条纹，是关键部分。 2.3.仪器介绍仪器结构由主光栅基座、副光栅滑座、摄像头及监视器等组成（图5）。 主光栅和副光栅形成一个可组装的、开放式的光栅副结构。 图5实验装置结构图(1.主光栅基座2.副光栅滑座3.摄像头4.监视器)2.3.1.主光栅基座主光栅基座由主光栅和读数装置构成（图6）。 读数装置由直尺和百分手轮组成，用于读取副光栅的移动距离，作为副光栅移动距离的标准值。 主光栅和副光栅组成可组装、开放式结构，可以使学生直观地了解光栅位移传感器的结构，通过摄像头从监视器上观察和测量条纹的相关特性。 图6主光栅基座(1.直尺2.百分手轮3.主光栅)2.3.2.副光栅滑座副光栅滑座由副光栅、可转动副光栅座及角度读数盘组成(如图7所示)。 副光栅固定安装于副光栅座，转动副光栅座可改变光栅副之间的交角，其角位置由角度读数盘读出。 图7副光栅滑座1.读数位置2.摄像头3.角度读数盘4.副光栅5.视频接头2.3.3.摄像头及监视器摄像头及监视器用于观察和测量莫尔条纹特性，由摄像头升降台、摄像头及监视器组成。 摄像头升降台位于副光栅滑座上（图8），用于调整摄像头的上下位置。 图8摄像头升降3.实验过程3.1.安装好直线主光栅以及摄像头,测量直线光栅的光栅常数；计算成像系统放大率。 求平均值0d=0.5001cm从监视器上读出10个光栅条纹间隔距离s d，计算成像系统的放大率k。 平均值s d=4.92cm，由此计算成像系统的放大率0ddks=9.833.2.利用直线光栅测量线位移使主光栅和副光栅成一定夹角，调节摄像头的上下位置使监视器上出现清晰的莫尔条纹图案。 转动光栅盘使副光栅沿轨道运动。 每移动1个莫尔条纹，记录副光栅的位置。 以莫尔条纹变化的数目N为横坐标，位移量y为纵坐标，得到坐标图每10个光栅条纹间隔1234游标初始位置1d(cm)7.87828.40009.00009.6000游标末位置1d(cm)8.37858.90039.499810.10010d=|1d-1d|(cm)0.50030.50030.49980.500112345顺指针转动手轮s d(cm)5.04.95.05.14.9逆指针转动手轮s d(cm)4.94.94.84.94.83.3.利用径向光栅莫尔条纹测量角位移.使两光栅中心相距一定距离，调节摄像头的上下位置使监视器上出现清晰的莫尔条纹图案。 .顺时针转动副光栅，每移动5个莫尔条纹记录副光栅的角位置，直至30个条纹为止。 .逆时针转动副光栅，每移动5个莫尔条纹记录副光栅的角位置，直至30个条纹为止。 以莫尔条纹变化的数目N为横坐标，角度变化量为纵坐标得到坐标图3.4.利用切向光栅莫尔条纹测量角位移.使两光栅中心相距一定距离，调节摄像头的上下位置使监视器上出现清晰的莫尔条纹图案。 .顺时针转动副光栅，每移动5个莫尔条纹记录副光栅的角位置，直至30个条纹为止。 .逆时针转动副光栅，每移动5个莫尔条纹记录副光栅的角位置，直至30个条纹为止。 以莫尔条纹变化的数目N为横坐标，角度变化量为纵坐标得到坐标图4.实验结论莫尔条纹产生机理两条线或两个物体之间以恒定的角度和频率发生干涉的视觉结果，当人眼无法分辨这两条线或两个物体时，只能看到干涉花纹的光学现象。 莫尔条纹具有以下特点 （1）平均效应莫尔条纹是由光栅的大量刻线共同形成，对光栅的刻划误差有平均作用，从而能在很大程度上消除短周期误差的影响。 光栅的工作长度越大，参加工作的刻线越多，这一作用就越显著。 （2）放大作用由于角很小，从式(1-4)可明显看出光栅有放大作用，放大比为K1/ （3）对应关系两光栅沿与栅线垂直的方向相对移动时，莫尔条纹沿栅线方向移动。 两光栅相对移动一个栅距P，莫尔条纹移动一个条纹间距W。 光栅反向移动时，莫尔条纹亦反向移动。 利用这种严格的一一对应关系，根据光电元件接收到的条纹数目，就可以知道主光栅所移过的位移值。 5.应用领域1.与光纤结合形成光纤光栅传感器光纤光栅压力传感器、光纤光栅温度传感器、光纤光栅压力传感器、光纤光栅压力传感器光纤光栅压力传感器2.在位移自动测量系统中的应用采用光栅移动产生的莫尔条纹与电子电路以及单