三次超净实验室安全培训讲座PPT课件.ppt

超净实验室安全培训讲座 李洋2015年10月16日 1 火灾事故统计 2011年全国共接报火灾125402起 直接财产损失18 8亿元 危险化学品事故统计 2006 2010年全国共发生危险化学品事故490起 造成879人死亡 其中较大事故70起 死亡310人 重大事故5起 死亡96人 统计数据 2 制度 建立和完善超净实验室管理制度和安全管理规范 严格执行 环境 提高公共和个人卫生水平 保障超净实验室卫生条件 工艺 制定标准化工艺流程 改善器件的各种工艺条件 认知 提高个人安全意识 自觉履行安全管理规范 安全 消除安全隐患 保护使用者人身安全 减少污染 保护环境 超净实验室安全培训的意义 3 危险化学品防火与防爆超净实验室安全管理规范 课程内容 4 危险化学品的定义危险化学品的分类危险化学品的危害危险化学品的储存和运输危险化学品废弃物的处理危险化学品的安全防护危险化学品事故的应急处理 一 危险化学品 5 物质的燃烧物质的爆炸燃烧与爆炸的关系防火与防爆 二 防火与防爆 6 用户超净工作服设备化学清洗间危险化学品紧急疏散逃生路线图卫生实验记录 三 超净实验室安全管理规范 7 1危险化学品的定义 化学品 是指由化学元素组成的任何物质 包括各种单质 化合物及其混合物 无论是天然的或人造的 人类生存的地球和大气层中所有有形物质 包括固体 液体和气体都是化学品 危险化学品 化学品中具有易燃 易爆 有毒 有害 有腐蚀特性 在生产 运输 使用 和废弃物处置过程中容易造成人身伤亡 财产损失 环境污染的化学品 都属于危险化学品 如氯气有毒 有刺激性 硝酸有强烈腐蚀性 均属危险化学品 一 危险化学品 8 2危险化学品的分类 一 危险化学品 第1类 爆炸品 例如 TNT 硝化甘油等 第2类 压缩气体和液化气体 不燃 液N2 液O2 易燃 H2 NH3 CO CH4 助燃 F2 Cl2 有毒 液Cl2 液NH3 第3类 易燃液体 易燃 甲苯 丙酮 三氯乙烯等 助燃 HNO3 H3PO4 NH4OH H2O2 第4类 易燃固体 自燃物品和遇湿易燃物品 红磷 黄磷 金属钠 第5类 氧化剂和有机过氧化物 强氧化性助燃品 HNO3 H2O2 第6类 毒害品和感染性物品 各种氰化物 砷化物等 第7类 放射性物品 铀等 第8类 腐蚀品 H2SO4 HNO3 HCl NaOH 9 一 危险化学品 1 概念 是指在外界作用下 如受热 受压 摩擦 撞击等 能发生剧烈的化学反应 瞬间产生大量的气体和热量 使周围的压力急剧上升 发生爆炸 对周围环境 设备 人员造成破坏和伤害的物品 也包括无整体爆炸危险 但具有燃烧 抛射及较小爆炸危险 或仅产生热 光 音响或烟雾等一种或几种作用的烟火物品 2危险化学品的分类 1 爆炸品 10 一 危险化学品 2 特性 爆炸性强 具有化学不稳定性 一定条件下 发生猛烈的化学反应 产生大量气体和热量 周围的温度迅速升高 压力突然增大 引起爆炸 敏感度高 在外界条件作用下 炸药受热 撞击 摩擦 遇明火或酸碱等因素的影响都易发生爆炸 一般来讲 敏感度越高的物质越易爆炸 毒性 例如TNT 硝化甘油 雷汞等都具有一定的毒性 与酸 碱 盐 金属发生反应 反应的生成物是更容易爆炸的化学品 如 苦味酸遇某些碳酸盐能反应生成更易爆炸的苦味酸盐 苦味酸受铜 铁等金属撞击 立即发生爆炸 2危险化学品的分类 1 爆炸品 11 一 危险化学品 2危险化学品的分类 2 压缩气体和液化气体 1 概念 是指压缩的 液化的或加压溶解的气体 这类物品当受热 撞击或强烈震动时 容器内压力急剧增大 致使容器破裂 物质泄漏 爆炸等 2 分类 易燃气体 与空气混合能形成爆炸性混合物 在常温常压下遇明火 高温即会发生燃烧或爆炸 H2 NH3 CO CH4等 不燃气体 冻伤 高浓度时有窒息作用 液N2 液O2等 助燃气体 有强烈的氧化作用 遇油脂能发生燃烧或爆炸 F2 Cl2等 有毒气体 对人和动物有强烈的毒害 窒息 灼伤 刺激作用 其中有些还具有易燃 氧化 腐蚀等性质 液Cl2 液NH3等 12 一 危险化学品 3 特性 可压缩 温度不变 压力越大体积越小 继续加压 液态 受热膨胀 气体湿度升高 气体极易膨胀产生很大的压力 当压力超过容器的耐压强度时 就会造成爆炸事故 易燃 易爆 易燃气体与空气能形成爆炸性混合物 遇明火极易发生燃烧爆炸 有毒 有毒气体具有刺激 致敏 腐蚀 窒息等性质 2危险化学品的分类 2 压缩气体和液化气体 13 一 危险化学品 1 概念 是指易燃的液体 液体混合物或含有固体物质的液体 其闭杯试验闪点等于或低于61 本类物质在常温下易挥发 其蒸气与空气混合能形成爆炸性混合物 闪点 是可燃性气体被点燃时的最低温度 2危险化学品的分类 3 易燃液体 2 分类 低闪点液体 闪点低于 18 的液体 如乙醛 丙酮等 中闪点液体 闪点在 18 至23 的液体 如苯类 甲醇等 高闪点液体 闪点在23 至61 的液体 如环辛烷 氯苯 苯甲醚等 常见易燃液体 如甲苯 丙酮 三氯乙烯等 常见助燃液体 如HNO3 H3PO4 NH4OH H2O2等 14 一 危险化学品 3 特性 易挥发 易燃液体沸点低 闪点低 挥发性强 随着温度的升高 蒸发速度加快 当蒸气与空气达到一定浓度时遇火源极易发生燃烧爆炸 易流动扩散 易流动 有蔓延和扩大火灾的危险 受热膨胀 在密闭容器中贮存时 常常会出现鼓桶或挥发现象 如果体积急剧膨胀就会引起爆炸 带电 易产生静电 当静电荷聚积到一定程度时 就会产生静电火花 有引起燃烧和爆炸的危险 有毒 对人体的内脏器官和系统有毒害作用 2危险化学品的分类 3 易燃液体 15 本类物品易于引起和促成火灾 按其燃烧特性分为以下三项 1 概念 易燃固体 是指燃点低 对热 撞击 摩擦敏感 易被外部火源点燃 迅速燃烧 能散发有毒烟雾或有毒气体的固体 但不包括已列入爆炸品的物质 如红磷等 自燃物品 是指自燃点低 在空气中易于发生氧化反应 放出热量 而自行燃烧的物品 如黄磷 三氯化钛等 遇湿易燃物品 是指遇水或受潮时 发生剧烈反应 放出大量易燃气体和热量的物品 有的不需明火 就能燃烧或爆炸 如金属钠 氢化钾KH等 一 危险化学品 2危险化学品的分类 4 易燃固体 自燃物品和遇湿易燃物品 16 一 危险化学品 2 易燃固体特性 易燃性 易燃固体容易被氧化 遇火种 热源常会引起燃烧 可分散性与氧化性 易燃固体与氧化剂接触 会发生剧烈反应而引起燃烧或爆炸 如粉尘爆炸 赤磷 KClO3 硫磺粉 KClO3 Na2O2 都会发生燃烧爆炸 热分解性 某些易燃固体受热后不熔融而发生分解 有的受热后边熔融边分解 受热分解温度越低的物质 其火灾爆炸危险性就越大 如硝酸铵在分解过程中 往往放出NH3 NO等有毒气体 对撞击 磨擦的敏感 易燃固体对摩擦 撞击 震动也很敏感 例如 赤磷 闪光粉等受摩擦 震动 撞击等也能起火燃烧甚至爆炸 有毒 许多易燃固体有毒 或燃烧产物有毒或有腐蚀性 如二硝基苯 二硝基苯酚 硫磺 五硫化二磷等 2危险化学品的分类 4 易燃固体 自燃物品和遇湿易燃物品 17 一 危险化学品 3 自燃物品特性 容易氧化 经过缓慢的氧化过程 产生一定热量 当热量越积越多 达到该物质的自燃点时便会自燃 易分解 自燃物品经过分解 积蓄的分解热也会引起自燃 如硝化纤维素 塞璐璐 硝化甘油等 燃点低4 遇湿易燃物品特性 遇湿易燃 遇水或受潮时 发生自燃 2危险化学品的分类 4 易燃固体 自燃物品和遇湿易燃物品 18 本类物品具有强氧化性 易引起燃烧 爆炸 按其组成分为以下两项氧化剂 是指处于高氧状态 具有强氧化性 易分解并放出氧和热量的物质 包括含有过氧基的无机物 其本身不一定可燃 但能导致可燃物的燃烧 如强氧化性助燃品 HNO3 H2O2等有机过氧化物 是指分子组成中含有过氧化基的有机物 其本身易燃易爆 易分解 对热 振动或摩擦极为敏感 一 危险化学品 2危险化学品的分类 5 氧化剂和有机过氧化物 19 一 危险化学品 毒害品 是指进入人体后 累积达到一定的量 能与体液和组织发生生物化学作用或生物物理学变化 扰乱或破坏人体肌能 引起暂时或持久性的病理改变 甚至危及生命的物品 固 液 气 如各种氰化物 砷化物等 毒害品分类 根据毒性的强弱不同 分为剧毒品 有毒品 有害品 感染性物品 是指含有致病的微生物 能引起病态 甚至死亡的物质 2危险化学品的分类 6 毒害品和感染性物品 20 一 危险化学品 1 概念 是指放射性比活度大于7 4 104Bq kg的物品 如铀等2 分类 按放射性大小 一级放射性物品二级放射性物品三级放射性物品 2危险化学品的分类 7 放射性物品 21 一 危险化学品 1 概念 是指能灼伤人体组织并对金属等物品造成损伤的固体或液体 主要是酸类和碱类 固 液 酸 碱 2 分类 酸性腐蚀品 如硫酸 硝酸 盐酸等 碱性腐蚀品 如氢氧化钠 硫氢化钙等 其它腐蚀品 如二氯乙醛 苯酚钠等 2危险化学品的分类 8 腐蚀品 22 一 危险化学品 3 特性 强烈的腐蚀性 它对人体 设备 建筑物 车辆 船舶的金属结构都易发生化学反应 而使之腐蚀并遭受破坏 氧化性 腐蚀性物质都是氧化性很强的物质 与还原剂接触易发生强烈的氧化还原反应 放出大量的热 容易引起燃烧 如浓硫酸 硝酸 氯磺酸 漂白粉等 稀释放热性 多种腐蚀品遇水会放出大量的热 液体四处飞溅造成人体灼伤 2危险化学品的分类 8 腐蚀品 23 一 危险化学品 2危险化学品的分类 危险化学品标签 24 一 危险化学品 燃爆危害 是指化学品能引起燃烧 爆炸的危险 健康危害 是指接触后能对人体产生的危害 环境危害 是指化学品对环境造成的危害 3危险化学品的危害 25 一 危险化学品 储存于阴凉 干燥 通风的库房 远离居民住宅 学校 企业 工厂等人群密集场所 化学药品房 南区北门 门卫室旁边氢气氮气房 科技大厦南面 大台阶旁边远离火种 热源 及易燃物品 各危险化学品之间不得混放 装卸和搬运危险化学品时 必须轻装轻卸 严禁摔 滚 翻 抛以及拖 拉 摩擦 撞击等危及安全的操作 堆放各种危险化学品时 要求做到牢固 稳妥 整齐 防止倒垛 便于搬运 4危险化学品的储存和运输 26 一 危险化学品 危险化学品安全管理条例 规定 禁止在危险化学品储存区域内堆积可燃废弃物 泄漏或渗漏危险化学品的包装容器应迅速移至安全区域 按危险化学品特性 用化学的或物理的方法处理废弃物品 不得任意抛弃 污染环境 应集中回收处理 超净实验室安全管理条例 规定 化学清洗间内使用之后的化学废液由专门的公司定期回收处理 待集中回收处理的化学废液按不同类型分别储藏在不同的废液回收桶内 任何人不得把废液直接倒入下水管道 一经发现 将取消用户资格 并予以相应处罚 5危险化学品废弃物的处理 27 一 危险化学品 使用防护器具 专业防护器具 个体防护用品遵守安全操作规程 6安全防护 28 一 危险化学品 专业防护器具 6安全防护 1 使用防护器具 个体防护用品 29 一 危险化学品 进入超净实验室 要穿超净工作服 衣 鞋 头套 手套 口罩 正确使用个人防护用品 更换超净工作服 个人防护用品时 要注意防止自我污染 从超净室中带出的物品 不要直接与皮肤接触 超净衣 鞋要定期清洗 超净手套 口罩尽量不重复使用 超净工作服 防护用品要分放 分洗 6安全防护 2 遵守安全操作规程 30 一 危险化学品 报警建立警戒区紧急疏散现场急救溢出或泄漏处理火灾控制 7危险化学品事故的应急处理 31 一 危险化学品 1 报警 事故时间 地点 事故化学品的名称和泄漏量 事故性质 外溢 爆炸 火灾 危险程度及有无人员伤亡 报警人姓名及联系电话 事故报警的及时与准确 是及时实施应急救援的关键 7危险化学品事故的应急处理 32 一 危险化学品 2 建立警戒区 事故发生后 应根据化学品泄漏的扩散情况建立警戒区 并在通往事故现场的主要干道上实行管制 注意事项 警戒区域的边界应设警示标志并有专人警戒 除消防及应急处理人员 其他人员禁止进入警戒区 泄漏溢出的化学品为易燃品时 区域内应严禁火种 7危险化学品事故的应急处理 33 一 危险化学品 3 紧急疏散 警戒区内与事故应急处理无关的人员撤离 以减少不必要的人员伤亡 注意事项 如事故物质有毒时 应急人员需佩戴专业防护器具 要向上风方向转移 要有专人引导和护送疏散人员到安全区 不要在低洼处滞留 要查清是否有人留在污染区与着火区 7危险化学品事故的应急处理 34 一 危险化学品 4 现场急救 如有人员受伤 须进行紧急救护 减少伤害 可能的伤害有 中毒 窒息 化学灼伤 烧伤 冻伤等 急救处理步骤 除去污染衣物 冲洗 共性处理 个性处理 转送医院 急救注意事项 把神志不清的病员置于侧位 防止气道梗阻 呼吸困难时给予氧气吸入 呼吸停止时立即进行人工呼吸 心脏停止者立即进行胸外心脏挤压 对伤员污染衣物处理 防止发生继发性损害 7危险化学品事故的应急处理 35 一 危险化学品 5 溢出或泄漏处理 泄漏源控制 关闭化学品导出阀门 阻止进一步泄漏 泄漏物处置 泄漏源被控制后 要及时将现场泄漏物进行安全可靠的处置 防止二次事故的发生 7危险化学品事故的应急处理 若处置不当 不仅不能有效扑灭火灾 反而会使灾情进一步扩大 36 一 危险化学品 6 火灾控制 危险化学品的溢出或泄漏 容易产生火灾爆炸事故 注意事项 非专业人员和应急人员不得参加灭火 灭火人员不应单独灭火 事故现场出口应始终保持清洁和畅通 选择正确的逃生路线 要选择正确的灭火剂 灭火人员要注意安全 7危险化学品事故的应急处理 37 物质的燃烧物质的爆炸燃烧与爆炸的关系防火防爆 二 防火与防爆 38 二 防火与防爆 物质的燃烧 1 燃烧的定义 物质发生强烈的氧化还原反应 同时发出光和热的现象称为燃烧 它具有发光 发热 生成新物质三个特征 2 燃烧的特性 发光 发热和产生新物质 1物质的燃烧 39 二 防火与防爆 物质的燃烧 3 燃烧的条件 必须同时俱备 可燃物 助燃物 着火源 物质燃烧三要素 1物质的燃烧 40 二 防火与防爆 物质的燃烧 4 燃烧的类型 着火 自燃 闪燃 爆燃 1物质的燃烧 41 二 防火与防爆 物质的燃烧 5 燃烧的过程 蒸发 氧化分解 着火 燃烧 1物质的燃烧 42 二 防火与防爆 物质的爆炸 2物质的爆炸 1 爆炸的定义 物质在瞬间由一种状态迅速地转变为另一种状态 同时释放出大量气体和能量 并伴有巨大声音的现象 2 爆炸的分类 物理性爆炸化学性爆炸原子爆炸 43 二 防火与防爆 物质的爆炸 2物质的爆炸 2 爆炸的分类 物理性爆炸 通常指锅炉 压力容器或气瓶内的物质由于受热 碰撞等因素 使气体膨胀 压力急剧升高 超过了设备所能承受的机械强度而发生的爆炸 化学性爆炸 物质由于发生化学反应 产生出大量气体和热量而形成的爆炸 这种爆炸能够直接造成火灾 原子爆炸 原子弹 氢弹爆炸理论 44 二 防火与防爆 物质的爆炸 2物质的爆炸 3 爆炸的条件 必须同时俱备 存在着可燃物质 包括可燃气体 蒸汽或薄雾等 可燃物与空气混合 形成爆炸性混合物并达到爆炸极限 必须有足够引燃爆炸性混合物的引爆能量 4 爆炸的危害 直接的破坏作用 爆炸后碎片飞裂 冲击波的破坏作用 冲击波产生的震荡 造成火灾 爆炸后泄露的可燃材料 45 二 防火与防爆 3燃烧与爆炸的关系 46 二 防火与防爆 4防火与防爆 1 基本措施 消除导致火爆灾害的物质条件 控制物质燃烧的三要素 消除着火源 控制可燃物 隔离助燃物 2 安全装置阻火装置 安全液封 水封井 阻火器 单向阀 阻火闸门 灭火器 防爆泄压装置 安全阀 爆破片 防爆帽 防爆门 防爆球阀 防火防爆检测报警仪器 火灾探测器 可燃气监测报警器 47 用户超净工作服设备化学清洗间危险化学品紧急疏散逃生路线图卫生实验记录 三 超净实验室安全管理规范 48 1 用户的申请 先填写 超净实验室用户资格申请表 取得用户资格 学生申请 须由导师授权签字 审批 外部人员申请 须由重点实验室主任审核批准 参加安全培训 考试合格者 成为用户 实验室给用户配发超净工作服 门禁卡 指纹号 用户帐号 2 用户的权限 用户持门禁卡 指纹可进入超净实验室 门禁卡记录着用户的注册信息 不得外借 如果要操作设备 还需经过设备操作培训 1用户 三 超净实验室安全管理规范 49 1用户 三 超净实验室安全管理规范 3 用户申请流程 50 2超净工作服 用户配发一套超净衣 超净鞋 个人保管 单独使用 头套 手套 口罩为一次性使用品 进出超净实验室 要更换超工作净服 出超净实验室 包括外廊 必须脱掉超净工作服 穿超净服顺序 头套 口罩 超净衣 超净鞋 手套 脱超净服顺序 手套 超净鞋 超净衣 口罩 头套 超净衣 超净鞋要定期清洗 超净手套 口罩 头套不要重复使用 三 超净实验室安全管理规范 51 设备的使用 对外开放 所有人 内部人员 学生 外部人员 都可使用 收费标准 按 设备使用收费管理办法 进行收费 设备的操作 只针对用户开放 只有成为用户才有权限操作设备 除A类的其它设备 用户如操作设备 还需经过设备操作培训 设备的预订 用户使用设备 需递交 设备使用申请表 或通过网上预订系统 批准 使用 重点实验室设备 MBE MOCVD XRD SEM C V Hall PL PLmapping AFM Photolithography Spincoater Hotplate Oven ICP PECVD Sputter E beamevaporator Heatingevaporator Lapper Polisher RTP Stepper Wafercutter Wetstation Microscopy 3DMicroscopy Diebonder Wirebonder SynthesisParameterTestSystem Powermeter Fiberpolisher 3设备 三 超净实验室安全管理规范 52 4化学清洗间 功能 清洗样品 湿法腐蚀 各种化学试剂的使用 设备 高纯去离子水制备系统 自动冲洗台 化学清洗台 高纯去离子水制备系统 提供18 2M 的高纯去离子水 自动冲洗台 采用标准化程序清洗样品 化学清洗台 加热 超声 清洗 化学处理 注意事项 进行化学处理要穿个体防护用品 防护服 靴 手套 面罩 眼镜 化学废液不得直接倒入下水管道 由专业公司回收处理 领取化学药品要填写 化学药品领取单 由管理员授权签字 剩余有毒化学药品 要及时送回化学药品库集中管理 三 超净实验室安全管理规范 53 5危险化学品 常用有害化学药品 HF H2O2 NH4OH 常用酸 甲苯 丙酮等强危险化学药品 氰化钾 C2HCl3 CCl4等其它危险化学品 三 超净实验室安全管理规范 54 1 氢氟酸 HF 用途 用于雕刻玻璃 SiO2 腐蚀和清洗半导体硅片 与SiO2反应 SiO2 4HF SiF4 气 2H2O 液 性质 有腐蚀性 能强烈地腐蚀玻璃 骨头和含硅的物体 危害 对人体有极大伤害 伤骨 伤牙 伤皮肤 对牙 骨损害较严重 对皮肤有强烈刺激性和腐蚀性 接触低浓度时 数小时始会出现疼痛及皮肤灼伤 吸入高浓度的氢氟酸酸雾 引起支气管炎和出血性肺水肿 摄入1 5g氢氟酸可致立即死亡 5危险化学品 1 常用有害化学药品 三 超净实验室安全管理规范 55 2 双氧水 H2O2 用途 医药杀菌剂 消毒剂 火箭动力燃料 GaAs腐蚀液 H3PO4 H2O2 H2O性质 弱酸 强的氧化性 危害 助燃品 对呼吸道有强烈刺激性 接触眼睛可致失明 口服中毒 长期接触可致接触性皮炎 5危险化学品 1 常用有害化学药品 三 超净实验室安全管理规范 56 3 氨水 NH4OH 用途 化学肥料 碱性消毒剂 洗涤剂 助染剂 GaAs腐蚀液 NH4OH H2O2 H2O性质 弱碱性 还原性 挥发性 腐蚀性 危害 助燃品 有刺激性气味 对鼻 喉和肺有刺激性 引起咳嗽 气短和哮喘等 皮肤接触可致灼伤 5危险化学品 1 常用有害化学药品 三 超净实验室安全管理规范 57 4 常用酸 HNO3 H2SO4 HCl H3PO4 用途 氧化剂 去氧除金属氧化物 腐蚀液 性质 酸性 氧化性 挥发性 腐蚀性 危害 助燃品 对皮肤和粘膜有强刺激和腐蚀作用 皮肤或眼睛接触硝酸可引起灼伤 污染环境 对空气 水环境及水源可造成严重污染 5危险化学品 1 常用有害化学药品 三 超净实验室安全管理规范 58 5 甲苯 C7H8 用途 强溶解剂 用于去除样品表面难溶的有机物 性质 易燃性 强溶解性 危害 易燃 遇明火 高热 能引起燃烧爆炸 有毒 对皮肤 粘膜有刺激性 对中枢神经系统有麻醉作用 污染环境 对空气 水环境及水源可造成严重污染 5危险化学品 1 常用有害化学药品 三 超净实验室安全管理规范 59 6 丙酮 C3H6O 用途 良好溶剂 清洗剂 用于清先样品 表面去油污 性质 易燃 易挥发 良好溶解性 对氧化剂比较稳定 在还原剂作用下生成异丙酮与频哪醇 危害 极度易燃 有毒 具有刺激性 对中枢神经系统的麻醉作用 皮肤长期接触可致皮炎 5危险化学品 1 常用有害化学药品 三 超净实验室安全管理规范 60 1 氰化钾 KCN 用途 电镀 刻蚀 性质 水溶液为碱性腐蚀液 空气中变质 2KCN CO2 H2O 2HCN K2CO3水溶液易变质 KCN H2O HCN KOH危害 剧毒 吸入 口服 皮肤吸收均可引起急性中毒 接触皮肤的伤口或吸入微量粉末即可中毒死亡