第五代低温多晶硅薄膜晶体管液晶显示器件(LTPS_TFT-LCD)项目环境影响报告书.doc

国 环 评 证甲字第2806号第五代低温多晶硅薄膜晶体管液晶显示器件(LTPS TFT-LCD)项目环境影响报告书（简本）评价单位：深圳市环境科学研究院 二O一一年十月深圳54目 录第一章 总 论31.1任务来源31.2区域环境功能属性41.3评价标准41.4评价等级81.5评价工作范围91.6环境敏感点及环境保护目标9第二章 现有工程回顾性影响评价122.1现有工程的基本情况122.2现有工程建设内容132.3现有工程污染物排放及治理措施回顾性评价16第三章 技改项目工程概况、工程分析223.1技改项目基本情况223.2技改项目建设内容223.3工程分析243.4“三本帐”核算37第四章 环境现状调查与评价384.1环境空气质量现状384.2水环境质量现状384.3声环境现状384.4评价区域的环境问题38第五章 环境影响预测与评价395.1水环境影响评价结论395.2大气环境影响评价结论395.3声环境影响评价结论395.4固（液）体废物环境影响评价结论395.5环境风险评价结论40第六章 污染防治措施416.1废水治理措施416.2废气处理措施446.3噪声治理措施可行性分析496.4固体废物治理措施可行性分析496.5地下水污染防治措施506.6项目二期工程达产后进行技改的环保措施要求50第七章 项目与规划符合性分析51第八章 结 论52第一章 总 论1.1任务来源平板显示（FPD）技术是信息社会的支柱产业之一，具有十分广阔的发展前景。近年来新型显示器件特别是以薄膜晶体管液晶显示器（TFT-LCD）为代表的各种新型平板显示器件，随着生产技术的不断提高已进入到加速发展的时期，二十一世纪将是新型平板显示技术快速发展与应用的新时代。平板显示器中占主导地位的是薄膜晶体管液晶显示器（TFT-LCD）。近年来，TFT-LCD产品性能已日臻完美，TFT-LCD大规模生产技术也已经成熟，同时产品良品率和生产自动化程度也已达到较高水平。随着市场的成长，目前世界各主要生产国（主要为我国大陆及台湾地区，与日、韩等国）厂家皆大力投入各项资源抢占市场份额，市场竞争早已进入白热化阶段，如何在激烈竞争中取得优势，各厂家无不竭力抢占先机，深超光电（深圳）有限公司投资的第五代低温多晶硅薄膜晶体管液晶显示器件项目（以下简称“LTPS TFT-LCD”）即为其中最有效的一项利器。目前LTPS TFT-LCD显示技术产品主要应用于平板电脑、掌上电脑、移动电话、PDA、数码相机（DSC）、车用电子、数字摄影录像机及携带式DVD等中小尺寸电子产品，因其拥有比传统TFT-LCD更佳的性能表现及视觉效果，已成为下一个世代电子信息终端产品首选的平板显示器件。深超光电（深圳）有限公司2004年12月成立于深圳市宝安区龙华街道(企业营业执照见附件1)，主要从事第五代（或以上）之TFT-LCD产品全工序（包含阵列、彩色滤光片、成盒和模块）的生产制造与销售。根据深圳市政府人民办公厅“关于协调深超光电低温多晶硅液晶面板项目有关的会议纪要”（附件2）和深圳市企业技术改造项目的备案证明（附件3），深超光电（深圳）有限公司拟投资9800万美元对传统TFT-LCD进行改造，建设第五代低温多晶硅薄膜晶体管液晶显示器件(LTPS TFT LCD)项目。项目依托科技园已建设的TFT-LCD 项目配套厂房、动力厂房进行建设，不新增土建内容。项目技改后年产液晶显示面板（代表产品规格为3.5英寸）4860万块。受深超光电（深圳）有限公司的委托，深圳市环境科学研究院承担了第五代低温多晶硅薄膜晶体管液晶显示器件(LTPS TFT LCD)项目的环境影响评价工作。根据环境影响评价技术导则（HJ/T2.12.3-93、HJ/T2.4-1995）等技术规范，进行环评工作。2011年9月26日通过深圳市人居环境技术审查中心组织第五代低温多晶硅薄膜晶体管液晶显示器件(LTPS TFT-LCD)项目环境影响报告书专家评审，并形成了专家意见。依据该项目评审专家意见修改完成了第五代低温多晶硅薄膜晶体管液晶显示器件(LTPS TFT-LCD)项目环境影响报告书（报批稿）。1.2区域环境功能属性项目所在区域的环境功能属性见表1.2-1。表1.2-1 项目所在区域环境功能属性一览表编号环境功能区名称评价区域所属类别1是否在“基本生态控制线”内否2是否在“饮用水源保护区”内是，观澜河二级水源保护区3地表水环境功能区观澜河，地表水类功能区4地下水环境功能区类，东江深圳地下水水源涵养区5环境空气功能区二类区，执行二类区的相关规定6环境噪声功能区3类区，执行3类区的相关规定7基本农田保护区否8自然保护区否9风景名胜保护区否10文物保护单位否11市政污水处理厂的集水范围是，龙华污水处理厂1.3评价标准1.3.1环境质量标准（1）水环境质量标准根据深府1996352号文件关于颁布深圳市地面水环境功能区划的通知和深府2006227号文件关于调整深圳市生活饮用水地表水源保护区的通知，本项目所在区域属观澜河二级水源保护区，水域范围属于地表水类功能区，执行地表水环境质量标准（GB3838-2002）类标准，见表1.3-1。表1.3-1 地表水环境质量标准（GB3838-2002）（单位：mg/L）污 污染物执行标准pHCODDOBOD5总磷氨氮石油类挥发酚氟化物总氮III类标准值6920540.21.00.050.0051.01.0（2）大气环境质量标准根据深府200898号文件关于调整深圳市环境空气质量功能区划分的通知，本项目所在区域属于二类环境空气质量功能区，执行国家环境空气质量标准(GB3095-96)及“修改单通知单”(环发20011号)中的二级标准。氯化氢（HCl）、氯（Cl2）、氨（NH3）参照中华人民共和国国家职业卫生标准工业企业设计卫生标准（TJ36-79）中“居住区大气中有害物质的最高容许浓度”的规定，详见表1.3-2。表1.3-2 环境空气质量评价执行标准 单位：mg/m3标准名称污染物名称浓 度 限 值取值时间二级标准环境空气质量标准（GB3095-96）二氧化氮NO2日平均0.121小时平均0.24二氧化硫SO2日平均0.151小时平均0.50悬浮物微粒TSP日平均0.30可吸入颗粒物PM10年平均0.10日平均0.15氟化物日平均7 g/m31小时平均20 g/m3工业企业设计卫生标准（TJ36-79）氯化氢一次0.05日平均0.015氯一次0.10日平均0.03氨一次0.2注：一次最高允许浓度，指任何一次测定结果的最大容许值；（3）声环境质量标准根据深府200899号文件关于调整深圳市城市环境噪声标准适用区域划分的通知，本项目所在区域属于3类噪声标准适用区，执行声环境质量标准(GB3096-2008)中的3类标准。表1.3-3 声环境质量标准（GB3096-2008）(等效声级：LAeq:dB)类 别适 用 区 域昼间夜间3类标准工业生产、仓储物流为主要功能，需要防止工业噪声对周围环境产生严重影响的区域6555（4）地下水环境质量标准根据广东省地表水环境功能区划，本项目所在的浅层地下水功能为地下水二级功能区的“东江深圳地下水水源涵养区”（见图1.3-5）。现状水质类别为类类。本项目所在区域地下水执行地下水环境质量标准（GB/T14148-93）中类标准，详见表1.3-4。表1.3-4 地下水环境质量标准（GB/T14148-93）序号 类别标准值项目类1pH6.5-8.52总硬度 (mg/L)4503硫酸盐(mg/L)2504氯化物(mg/L)2505铁(Fe)(mg/L)0.36锰(Mn)(mg/L)0.17锌(Zn)(mg/L)1.08高锰酸盐指数(mg/L)3.09硝酸盐(以N计)(mg/L)2010亚硝酸盐(mg/L)0.0211氨氮(NH4)(mg/L)0.212氟化物(mg/L)1.013总大肠菌群(个/L)3.01.3.2污染物排放标准（1）水污染物排放标准本项目废水属于龙华污水处理厂的服务范围（主要是龙华、大浪和民治街道），运行期间的生产废水包括酸碱废水、含氟废水和有机废水。生产废水和厂区生活污水经过厂内处理后接入市政污水管网排往龙华污水处理厂处理。排放标准参照关于深超光电（深圳）有限公司液晶显示面板（TFT-LCD）项目环境影响报告书的批复（环审【2006】337号）的要求，即项目污废水执行广东省水污染物排放限值（DB44/26-2001）的第二时段一级标准。见表1.3-5。表1.3-5 水污染物排放限值（单位：mg/L，pH无量纲）污染物排放 污染物排放标准pHCODBOD5SS氟化物氨氮磷酸盐石油类动植物油LAS（DB 44/26-2001）一级标准（第二时段）6990206010100.55.0105.0（2）大气污染物排放标准本项目选址位于大气环境二类功能区，工艺废气排放应执行广东省地方标准大气污染物排放限值(DB44/27-2001)中的第二时段二级标准，锅炉废气执行广东省地方标准锅炉大气污染物排放标准（DB44/765-2010）；氨的排放应执行恶臭污染物排放标准(GB14554-93)；VOC执行国家环境保护部 环审2006337号关于深超光电（深圳）有限公司液晶显示面板（TFT-LCD）项目环境影响报告书的批复要求；其它特征污染物执行荷兰排放导则。见表1.3-6 和表1.3-7。表1.3-6 大气污染物排放限值标准名称污染物名称浓 度 限 值标准排气筒高度大气污染物排放限值（DB 44/27-2001）二级标准（第二时段）氟化物9.0 mg/m331 m0.52 kg/h氯气65 mg/m331 m0.87kg/h氯化氢100 mg/m331 m1.29kg/h硫酸雾35 mg/m331 m7.6 kg/h氮氧化物120 mg/m331 m3.86 kg/h锅炉大气污染物排放标准（DB44/765-2010）氮氧化物200 mg/m328 mSO250 mg/m3烟尘30 mg/m3烟气黑度（林格曼黑度，级）1.0环审2006337号VOC100 mg/m3处理效率90%31 m恶臭污染物排放标准（GB 14554-93）氨21.4kg/h31 m氨4.9kg/h15 m表1.3-7 特征污染物排放控制限值污染物分类浓度限值（mg/m3）排放速率（kg/h）本项目拟采用的控制限值本项目拟采用排放速率磷化氢PH3gA,1类1.00.010硅烷SiH4gA,2类5.00.04磷酸H3PO41.00.04总有机挥发物T-VOC100 cm2/VSTFT元件面积1约1/2耐冲撞强度180G300G耐扭强度约1000次10000次周边接点数4000个接点200个接点PCB数量2片1篇TAB-IC数量Scan：3个；Data：10个无电容零件数270个195个3.3.2工艺流程及产污环节分析LTPS TFT-LCD 工程与现有的非晶硅TFT-LCD生产工艺主体工程相同，均包括阵列工程、彩膜工程、成盒工程和模块工程(见图3.3-1)。两者不同点体现在