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文档简介

真空退火炉工安全技术操作规程真空退火炉工安全技术操作规程 1 先送水源 检查水源是否畅通 水压 0 lmpa 否则不准开炉 2 合上总电源 再合上操作电源 1 开机械泵 分别打开 1 号 2 号闸门 2 合上真空计总电源 接通热电偶电源 调整好加热电流 电流 调为 128a 测量真空度 电流为 22ma 时真空度为 10 1torr 13 3pa 电流为 84ma 时真空度为 10 2torr 1 33pa 电流为 98ma 时真空度为 10 3torr 0 133pa 电流为 10oma 时真空度为 10 4torr 0 0133pa 5 真空度高于 1 33pa 以后 打开 3 号真空阀 使扩散泵内的真 空度也达到 1 33pa 以上 6 扩散泵送电加热 约 40min 以后 泵油加热蒸发 这时关闭 2 号真空阀 然后再打开高真空阀 7 真空度高于 0 133pa 后关闭热电偶电源 打开电离计电源 用电离计测量真空度 8 把电子电位差计的定针调到要求的温度值 把 pid 调整到 规定的比例带和积分 微分时间 比例带为 40 150 积分时 间为 6 2 5min 微分时间为 5 4min 9 把电路电源手动给定旋钮调到最小 开关打到自动位置 把 pid 调节器的手动调到最小 开关打到手动位置 并接通 pid 电源 10 电炉送电 调整 pid 的手动 使三相电流表的输出指示基本 均衡在 30 70a 11 待炉温接近给定值时 把 pid 的炉温控制从手动打到自动 以便进行自动控制 12 保温时间满足要求后 如工艺要求随炉冷却 可关闭电炉 电源 如工艺要求控制冷却 即把 pid 由自动打到手动 靠手动调 节冷却 13 350 以上不准关闭水源和真空系统 关闭扩散泵时 必须 首先关闭高真空阀 然后关闭 3 号真空阀 打开 2 号真空阀 14 关闭机械泵时 先关闭 2 号真空阀 再关闭电源 15 炉温高于 150 时 不准放气和打开炉盖 16 工作过程中一定要严格遵守上述安全技术操作规程 不准 脱离岗位 经常
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