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2020 3 28 1 等离子体的光谱诊断法 2020 3 28 2 光谱法计算电子温度 相对强度比较法 双谱线法 玻尔兹曼多线斜率法谱线的选择计算实例实验误差及改进 2020 3 28 3 相对强度比较法 原子在两个能级之间跃迁 谱线强度等离子体在局域热平衡条件下 同种原子或离子在两个能级上的粒子数满足玻尔兹曼分布 En Em 2020 3 28 4 相对强度比较法 其中 下标1 2分别表示不同的谱线A 跃迁几率g 上能级统计权重 谱线波长E 上能级激发能量Te 电子激发温度 电子温度k 玻尔兹曼常数 2020 3 28 5 多线斜率法 波尔兹曼分布其中 得到则以为纵坐标 E为横坐标作曲线 拟合直线的斜率即精度较相对强度比较法高 2020 3 28 6 谱线的选择 具有可靠的跃迁几率和统计权重 NIST波长接近上能级差较大强度适中结合实验条件 分辨率 响应率 展宽 2020 3 28 7 等离子体辉光计算实例 2020 3 28 8 等离子体辉光计算实例 2020 3 28 9 等离子体辉光计算实例 探针法 Te 5 07eV 图一600V 4Pa条件下部分辉光谱线E与ln I Ag 的拟合直线 2020 3 28 10 等离子体弧光电子温度 取794 8nm 801 5nm 811 5nm谱线 用相同方法计算212V 64A 1 64ms条件下的弧光电子温度为Te 0 378eV弧光电子温度大约比辉光低一个数量级 2020 3 28 11 实验误差来源及改进 误差来源 跃迁几率的不确定性光谱仪的测量误差读数误差改进 测量谱线采用多次平均提高光谱仪的分辨率 使可测谱线增多 2020 3 28 12 工作参数对等离子体的影响 辉光放电管工作电压辉光放电管工作气压 2020 3 28 13 工作电压的影响 图二工作气压为72Pa时辉光电子温度与工作电压的关系曲线 2020 3 28 14 工作气压的影响 图三工作电压为406V时辉光电子温度与工作气压的关系曲线 2020 3 28 15 光谱诊断法的实验设想 提高光谱仪分辨率降低实验误差推断等离子体的重要参数 如 电子温度 元素成分 电离状态 电子密度 stark展宽10 2nm量级 研究等离子体的输运 多普勒频移10
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