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制程二次配排气系统简介 2014年8月27日 上海盛剑环境系统科技有限公司 制程排气供应系统系统介绍技术说明施工准备施工技术要求 目录 上海盛剑环境系统科技有限公司 制程排气系统 系统介绍 由制程机台至主管支管之间连接风管 统称二次配排气风管 ExhaustHook upDucting 工程 其主要是将制程机台所产生之各种废气 例如酸碱性废气 挥发性有机废气 一般性废气等等 经由二次配排气风管排至排气支管 主风管等再导入废气处理设备处理 处理后废气再排放至大气中的整个排气系统过程 上海盛剑环境系统科技有限公司 制程排气系统 技术说明 制程排气的目的 在产品制造过程中 无可避免地必须使用不同种类的化学物质 为了提高产品的良率 必须精密控制产品所接触环境的空气质量 而制程排气系统 ExhaustSystem 虽非制程生产所需设备 但却是为生产区域营造一个可供生产人员在安全情况下的工作环境 因此制程排气系统 从废气物质兼容性至排放气体输送 以至于各种污染处理设备 皆需经严格且缜密选择 这些均是环环相扣缺一不可 上海盛剑环境系统科技有限公司 制程排气系统 技术说明 排气系统分类 制程流程中 使用机台种类相当烦多 各种排放物质种类更是不胜枚举 若要针对单一种类设置单独排放处理设施 不仅有其设置上的因难 而且施工上及日后维修保养更属不易 因而 依据排放之特性大致上区分为酸 毒性 AcidExhaust 碱性 AlkaliExhaust 有机溶剂 SolventExhaust 及一般排气 GeneralExhaust 四个系统 1 酸 碱性废气 其主要来源为化学清洗工作站 清洗芯片时所产生之挥发性气体 此气体部分含有浓烟 部分则对呼吸系统有刺激性作用有害人体 故必须经过CentralScrubber做水洗中和处理后 再排入大气 2 毒性废气 其主要来源为化学气体沉积 CVD 干蚀刻机 扩散 离子植入机及磊晶等制程时所产生 由于以上之制程均使用大量的毒性气体 因此在其机台本身即设置有LocalScrubber作先行处理 再送至CentralScrubber做水洗中和处理后 再排入大气 3 有机溶剂废气 目前所见到大多以活性碳吸附塔或采用沸石浓缩转轮 燃气式焚化炉 去除率可达90 以上 为目前较佳之空气污染控制技术 4 一般废气 其来源为机器运转发热产生不含有害物质 故可经由排气设备直接排入大气 上海盛剑环境系统科技有限公司 制程排气系统 施工说明 洁净室培训 在二次配施工阶段所有厂房基本都已经进入无尘室三级管制阶段 因此首先应对施工作业人员一定要进行无尘室施工培训 并考核合格后方能进入无尘室施工 进入无尘室施工必须要进行申请 所以人员必须按照规定的人员动线行进 从单一的管制口登记后进出 并接受管制人员检查 服从管制 禁止携入非必须用品 如香烟 打火机 非洁净纸张等物品 洁净室内禁止吸烟 食用任何物品 禁止随意丢弃物品 人员进入无尘室流程1 在脱鞋区将鞋整齐放在鞋架上 赤脚 必须穿袜子 进入一次风淋室 接受工安检查 填写登记表格 2 口罩 网帽 无尘服 鞋 手套 安全帽依次按规定穿戴整齐 二次洗手烘干 进入二次风淋室 3 严禁穿洁净服出入室外 从其他物料口出入 物料进入无尘室流程1 携入无尘室之前 工具 物料 附件必须要在无尘室外擦拭干净 不能有油 锈 灰尘等 2 不可将纸箱 木质类发尘源带入洁净室 3 脚手架 手推车轮子要用斑马胶带包裹 A字梯要用无尘布包裹 上海盛剑环境系统科技有限公司 制程排气系统 施工说明 物料进入无尘室流程1 携入无尘室之前 工具 物料 附件必须要在无尘室外擦拭干净 不能有油 锈 灰尘等 2 不可将纸箱 木质类发尘源带入洁净室 3 脚手架 手推车轮子要用斑马胶带包裹 A字梯要用无尘布包裹 上海盛剑环境系统科技有限公司 制程排气系统 施工步骤及方法 1 风管的安装标高 对于矩形风管是从管底算起 而圆形风管是从风管中心计算 在安装吊架时应引起注意 圆形风管的管径由大变小时 为保持风管中心线的水平 托架的标高应按变径的尺寸相应地提高 2 为保证法兰接口的严密性 法兰之间应有耐高温 防腐蚀PTFE密封垫 在无特殊要求情况下 法兰垫料按标准选用 3 风管安装 根据施工现场情况 可以在地面连成一定的长度 然后采用吊装的方法就位 也可以把风管一节一节地放在支架上逐节连接 一般安装顺序是先干管后支管 应及时固定和调整支架 支架位置应准确 安装应平整牢固 与管子接触应紧密 4 对于暂时不安装的孔洞不要提前打开 暂停施工时 应加盖板 以防坠人坠物事故发生 5 防火阀安装 方向位置应正确 易熔件应迎气流方向 排烟阀手动装置 预埋导管 不得出现死弯及瘪管现象 手动密闭阀安装时阀门上标志的箭头方向应与受冲击波方向一致 6 安装必须牢固 位置 标高和走向符合设计要求 部件方向正确 操作方便 防火阀检查孔的位置必须设在便于操作的部位 9 洁净系统风管连接必须严密不漏 法兰垫料及接头方法必须符合设计要求和施工规范规定 上海盛剑环境系统科技有限公司 制程排气系统 施工步骤及方法 10 洁净系统柔性短管所采用的材料 必须不产尘 不透气 内壁光滑 柔性短管与风管 设备的连接必须严密不漏 并做好各项预检工程检查记录表及技术交底 11 二次配风管安装要了解机台所排介质 所排介质中有液体的接点 不允许有存水弯出现 如果因其他原因造成存水弯的出现 一定要在存水弯的底部开排水口 并接入废水管 12 二次配 LocalScrubber设备在安装风管时应要注意 LocalScrubber设备通常会放在下夹层 TAKEOFF点都会高过LocalScrubber设备的接口 设备在处理过程中会有水蒸汽带进风管中 水会越积越多 设备出口自带止回阀 液体回不到设备中 风管就会被堵死 安装方法见图 13 二次配 对于放在二楼的设备 主系统风管在下夹层 要穿过RC孔去接设备 会堪时了解所排介质中是否有液体 没有液体的设备下夹层风管可以水平安装 有液体的设备风管安装要有坡度 通常有液体的机台风管安装坡度3 5 且中间没有存水弯出现 风管躲其他系统的管路 风管只可以往上弯 不可以往下弯 14 二次配风管在现场切割 特氟龙风管绝对不准使用角磨机切割片切割 可以使用曲线锯及手提盘锯切割 切口要平整度一致 操作时要一人切割 一人拿吸尘器对准切割口吸尘 上海盛剑环境系统科技有限公司 制程排气系统 施工步骤及方法 17 二次配安装风管安装方法及固定支架安装见下图 上海盛剑环境系统科技有限公司 制程排气系统 施工步骤及方法 15 二次配风管翻遍 翻遍前检查机械是否运转正常 翻遍磨具是否有异物 毛刺 翻遍时压轮压力要适中 压力过大会破坏涂层 并且涂层会被