主题：ST2000系列电镀铜光剂初步试用报告

一 背景一 背景 因生产需要及改善品质 经公司上层决定在 09 年 5 月 25 日开始导入恒侨公司 ST 2000 系列电镀铜光剂进行试用评估 二 目的二 目的 改善电镀品质 降低公司成本及开发新供应商 三 药水简介三 药水简介 1 恒侨 ST 2000 系列电镀铜光剂为代理乐思公司药水 由 ST 2000M 开缸剂 ST2000B 添加剂 ST2000C 调整剂 组成 2 生产时 ST2000B 按每千尺耗量添加 2L 据每班哈氏片效果补加 ST2000C 每天添加量 小于 0 5ML L 按槽液体积计算 3 此药水特点为镀液稳定性好 镀铜分散能力好 适合高电流密度电镀 可提高产能 深镀能力好 电沉积层延展性优秀 热应力低 四 跟进过程及测试结果四 跟进过程及测试结果 1 洗缸操作详见附件示 2 开缸操作详见下附件示 3 试板跟进 3 1 试板流程 开料 钻孔 沉铜 板电 3 2 试板条件 8 铜缸药水分析铜缸药水分析电镀条件电镀条件备注备注 CuSo4 5H2O 66g L H2SO4 210g L Cl 47PPM 1 电流密度 18ASF 2 电镀时间 75min 3 铜缸温度 25 1 试板开料 18 24 8PNL 底铜 1OZ 2 取飞靶的 1 5 8 板测试 3 最小孔径 0 2mm 板厚 1 6mm TP 厚径比 5 1 常规要求 85 3 3 测试项目及数据分析 电镀洗槽 docx 电镀开缸 docx 3 3 1 均镀能力测试 1 测试点位置如下图所示 夹板位 2 均镀能力测试结果见下表 以整飞巴数据为准 镀铜厚度 单位 m 项目 123456789MAXMINAVE均匀性均匀性 36 236 634 232 533 73334 632 934 37 336 935 635 53434 234 63233 6 36 736 635 53534 53631 831 831 3 34 233 733 83334 334 633 630 730 2 36 632 833 139 134 934 438 931 931 8 37 236 533 6353537 532 731 430 9 39 236 138 636 133 337 936 732 935 A 面 36 536 336 733 734 833 135 232 731 9 39 230 234 686 90 86 90 36 335 735 33534 834 732 432 431 6 37 535 238 233 934 13634 532 632 6 39 438 137 334 23433 532 231 931 6 3634 533 434 534 734 633 832 231 9 32 933 434 633 7353632 833 635 9 36 334 734 333 133 233 932 234 135 6 38 536 236 637 432 537 23832 835 9 B 面 39 136 937 832 633 730 634 43133 3 39 430 634 687 20 87 20 备注 1 试板开料 18 24 8PNL 电流密度 18ASF 电镀时间 75min 2 每片板用铜厚测试仪测试 9 个点 3 计算公式 镀铜均匀性 1 MAX MIN 2 AVE 100 4 接受标准 镀铜均匀性常规要求 85 即测试结果合格 3 3 2 深镀能力测试 1 深度切片测试数据点位置如图所示 A1 A3 B1 B4 1 2 3 4 5 6 7 8 9 备注 A1 A2 A3 A4 点的数据为 表面电铜的厚度 B1 B2 B3 B4 C1 C2 孔内 电铜厚度 C1 C2 B2 B3 A2 A4 2 深镀能力测试结果见下表 项目孔铜厚测量结果表面铜厚测量结果 孔及取板编号 B1 C1 B2 B3 C2 B4 最小值 A1 A2 A3 A4 平均值 深镀能深镀能 力力 0 2mm 1 板 34 0832 7335 2435 7633 5734 632 7335 4736 3135 4735 4735 6891 73 91 73 0 2mm 5 板 32 0828 5330 5730 7327 732 5727 732 9633 7932 1232 1232 7484 61 84 61 0 2mm 8 板 33 7635 0832 0833 7630 3733 5730 3735 4735 4734 6334 6335 0586 65 86 65 0 3mm 1 板 35 6334 7335 2835 3634 0835 8634 0836 3136 3136 3136 3136 3193 86 93 86 0 3mm 5 板 34 4130 2134 0832 4431 0533 5730 2136 3132 9636 1533 7934 886 81 86 81 0 3mm 8 板 35 2831 8935 2436 9232 7236 9231 8936 1535 4739 6736 1536 8686 52 86 52 平均值 31 16 35 2488 36 88 36 1 取孔径 0 2 0 3mm 板厚 1 6mm 2 孔口表铜铜厚均值 35 24 m 3 计算公式 镀铜深镀能力 孔铜最小值 表铜平均值 100 备注 4 镀铜深镀能力平均值为 88 36 常规要求 85 即测试结果合格 3 取 0 2 0 3mm 两种最小孔径切片观察深镀能力 如下图 全孔图片 图一 以上为孔径 0 2mm 切片数据 全孔图片 局部放大图及测量数据 图二 以上为孔径 0 3mm 切片数据 3 3 3 镀铜延展性测试 延展性要求 12 Sample NameDirectionThickness mm Tensile Strength N mm2 Elongation 未焗1 1 H0 0439265 4415 35 未焗1 2 H0 0461264 0415 90 未焗1 3 H0 0488264 0316 64 未焗2 1 H0 0391276 1112 49 未焗2 2 H0 0456268 6915 87 未焗2 3 H0 0477269 9716 57 局部放大图及测量数据 已焗1 1 H0 0470258 6217 96 已焗1 2 H0 0436258 3515 35 已焗1 3 H0 0476261 1715 90 已焗1 4 H0 0426259 8015 92 已焗2 1 H0 0445276 0316 50 已焗2 2 H0 0489266 4615 75 已焗2 3 H0 0382279 6712 18 已焗2 4 H0 0482272 2616 35 备注镀铜延展性测试结果均在12 以上 测试结果合格 3 3 4热应力测试 结果如下 测试条件 浸锡温度 288 10S 次 3 次 如图所示 切片图片一 切片图片二 3 3 5小结 1 均镀能力 以上数据体现 8 铜缸均匀性测试平均为 87 均匀性良好 2 深镀能力 以上数据体现 8 铜缸深镀能力测试深镀能力最小 84 61 最大 93 86 平均值为 88 36 深镀能力大于 85 深镀能力良好 3 镀铜延展性 以上数据体现 8 镀铜缸延展性测试结果均在 12 以上 镀铜延展 性良好 4 热应力实验 浸锡温度 288 10S 次 3 次 结果无孔角断裂及孔壁分离现象 五 成本评估五 成本评估 需跟进批量生产 确定耗量标准 再进行成本评估 六 环境评估六 环境评估 药水可直接排入废水处理池 进行综合处理 废气由专用抽风管道抽至废气塔进行处理 七 技术服务七 技术服务 热应力切 片图 无 孔角断裂 及孔壁分 离现象 药水供应商恒侨公司设有驻厂工程师 出现品质异常随时可至我司生产现场处理 技 术服务达到我司