台阶仪操作规程

台阶仪标准操作规程台阶仪标准操作规程 1 01 0 目的目的 为了确保使用人员对机器和设备进行正确操作 并作为初学者的学习指引 特制订此操作规范 2 02 0 职责职责 2 1 工艺部门对产品制定检查标准 2 2 对新进入操作员工进行培训和技能指导 2 3 按照标准对产品进行检查 3 03 0 文件内容文件内容 3 1 台阶仪 3 2 台阶仪操作步骤 3 2 1 单点测量 3 2 1 1 打开电脑 待电脑完全启动后 打开台阶仪电源 将待测样品放在台阶仪平台上 尽量保证在 探针的正下方 3 2 1 2 双击桌面的 图标 开启测试软件 此时测试平台自动调整 台阶仪电 源开关 焦距调节旋钮 平台微调旋钮 平台倾斜调节 3 2 1 3 打开软件后单击工具栏的 图标 探针缓缓下降 注意此过程中要随时调节测试平台的位置 保证探针落在样品上 探针在正常接触样品后会自动抬起 调节焦距旋钮 使屏幕中心的图像最 清楚 3 2 1 4 上述操作就绪后 单击工具栏 图标 新建一个文件 在转换后的界面中单击 Data File 在弹出的对话框 scan data 项中设定好文件的存储位置 3 2 1 5 然后单击工具栏中的图标 进入到参数设置界面 在 Scan Parameters 中单击任意一 个链接 弹出对话框 在 Length 中输入扫描距离 Duration 中输入扫描时间 Meas Range 中选择适当的量程 profile 中勾选 Hill Valleys 依次单击 Apply 和 OK 3 2 1 6 单击工具栏 图标切换到样品表面图像 调节平台微调旋钮使十字光标在指定的测量位置 3 2 1 7 单击工具栏的 图标运行 开始自动扫描 3 2 1 8 扫描结束 软件会自动切换到曲线数据界面 看曲线是否倾斜 若曲线水平部分 倾斜 则顺 时针调节平台水平盘 若曲线水平部分 倾斜 逆时针调节 单击 重新扫描 使曲线大致达到水平 3 2 1 9 曲线拉平处理 扫描结束后在数据界面会有两条线 和 拖动 R 和 M 将两条线分别移动到同一水平面的不同位置 拖动曲线下方的 选择适宜的宽度 3 2 1 10 右键选择 Level 将曲线拉平 3 2 1 11 计算数值 将 拖动到待测高度的位置 此时左下角 Watch List 窗口 中读出 ASH 的值并记录 单点测量结束 3 2 2 单点重复测量 3 2 2 1 前面 9 步与单点测量一致 只是在拉平处理是右键选择 Enter Software Leveling 保留参数 然后将 移动到待测量高度的位置 单击 analysis 选项选择 Analytical Function 弹出对话框 在 Height 中勾选 ASH 单击 Compute 然后单 击 图标 看到左侧 Display Parameters 中 Software Leveling 为 Enable 3 2 2 2 单击工具栏的 图标 切换到另一界面 再单击 Data file 在弹出的对话框中的 Database 项 中选中 Log 生成报告 并设定到指定的存储位置 依次单击 Apply OK 即可 在右侧 Scan Routines 窗口中 右键单击数据 选择 Copy to Range 弹出对话框 设定扫描次数 单击 OK 3 2 2 3 单击 运行扫描 此时会弹出 Dektak Database 窗口 方便查看每次扫描 结果 结束后在窗口下方的 Average 项中显示几次扫描的平均值 重复设定的测试次数后 单点重复扫描结束 3 2 3 不同点测量 3 2 3 1 只需要在多点重复测量的基础上设置停顿 在运行扫描前单击 切换到另一界面 在 timing 项上单击 弹出对话框在 Timing 选项中勾选 Adjust Position Before Each Scan 依 次单击 Apply 和 OK 即可 3 2 3 2 再单击工具栏的 图标切换到样品表面图像 调旋钮使红色光标对准扫描起始位置 鼠标右键 指到结束位置 右键选择 Update Alignment Reticule 定住绿色光标 3 2 3 3 单击 运行 在每次扫描前 会停顿弹出对话框确定扫描位置 调好后点击 Continue 同样 会弹出 Dektak Database 窗口记录每次结果 重复设定的测试次数后 不同点扫描结束 测试完毕后关闭软件 探针自动升起 取下样品 关