SEM和TEM各自的优缺点和使用条件

SEMSEM和和TEMTEM各自的优缺点和使用条件各自的优缺点和使用条件 姓名姓名 谭谭 伟伟 学号 学号 0015000150 SEMSEM 即扫描电子显微镜 是1965年发明的较现代的细胞生物学研究工具 主要是利用二次电子信号成像来观察样品的表面形态 即用极狭窄的电子束去 扫描样品 通过电子束与样品的相互作用产生各种效应 其中主要是样品的二 次电子发射 二次电子能够产生样品表面放大的形貌像 这个像是在样品被扫 描时按时序建立起来的 即使用逐点成像的方法获得放大像 SEMSEM的优点的优点 一 能够直接观察样品表面的结构 样品的尺寸可大至120mm 80mm 50mm 二 样品制备过程简单 不用切成薄片 三 样品可以在样品室中作三度空间的平移和旋转 因此 可以从各种角度对样品 进行观察 四 景深大 图象富有立体感 扫描电镜的景深较光学显微镜大几百倍 比透射电 镜大几十倍 五 图象的放大范围广 分辨率也比较高 可放大十几倍到几十万倍 它基本上包 括了从放大镜 光学显微镜直到透射电镜的放大范围 分辨率介于光学显微镜 与透射电镜之间 可达3nm 六 电子束对样品的损伤与污染程度较小 七 在观察形貌的同时 还可利用从样品发出的其他信号作微区成分分析 SEMSEM的缺点的缺点 异常反差 由于荷电效应 二次电子发射受到不规则影响 造成图像一部分异常亮 另一 部分变暗 图像畸形 由于静电场作用使电子束被不规则地偏转 结果造成图像畸变或出现阶段差 图像漂移 由于静电场作用使电子束不规则偏移引起图像的漂移 亮点与亮线 带电样品常常发生不规则放电 结果图像中出现不规则的亮点和亮线 TEMTEM 即透射电子显微镜 简称透射电镜 是把经加速和聚集的电子束投射 到非常薄的样品上 电子与样品中的原子碰撞而改变方向 从而产生立体角散 射 散射角的大小与样品的密度 厚度相关 因此可以形成明暗不同的影像 通常 透射电子显微镜的分辨率为0 1 0 2nm 放大倍数为几万 百万倍 用 于观察超微结构 即小于0 2微米 光学显微镜下无法看清的结构 又称 亚显 微结构 TEMTEM的优点的优点 光学镜和透射电子显微镜都使用用薄片的样品 而透射电子显 微镜的优点是 它比光学显微镜更大程度的放大标本 放大10000倍或以上是 可能的 这使科学家可以看到非常小的结构 对于生物学家 如线粒体和细胞 器 细胞 内部运作都清晰可见 透射电镜标本的晶体结构提供了出色的分辨 率 甚至可以显示样本内的原子排列 TEMTEM的缺点的缺点 透射电子显微镜需要在一个真空室制备标本 由于这一要求 在显微镜可以用来观察活标本 如原生动物 一些微妙的样品也可能被损 坏的电子束 必须先用化学染色或涂层来保护他们 这种治疗有时会破坏试样 使用条件使用条件 在以存储器器件为代表的集成电路芯片的电子显微分析中 扫 描电子显微镜由于使用方便 往往是微观分析的首选 另外不需要得到体内信 号 结构信号 制样方便 制样周期短 需要非破坏性的分析的样品表面结构 保存好 没有变形和污染 样品干燥并且有良好导电性能使用SEM比较合适 对于目标更小的分析需求以及要求高精度的场合 则必须进行TEM分析 那 些需要你得到样品内部结构的也需要选用TEM 以前TEM只是作为一种重要的科 研仪器 然而当今的半导体制造由于采用了各种先进技术 器具逐渐缩小 TEM 得到了更多的应用 在