蒸发镀膜机温度分布测试

蒸发镀膜机温度分布测试蒸发镀膜机温度分布测试 一 测试前准备工作 一 测试前准备工作 1 确认测试线完好 有无损伤 2 与电气工程师确认加热丝加热正常 3 确认机台热电偶安装是否到位 一般情况下 Dome 热电偶安装在腔体顶部 GENER 机竖直伸出大约 20mm OTFC 机伸出后 尾部沿 Dome 回转方向弯折 弯折后 尾部需有 6mm 为 平直 不能有弯折 Monitor 热电偶安装在中心回转底部 伸出约 5mm Wall 热电偶安装在门内 平直伸出约 10mm 热电偶均有陶瓷保护 与腔体不接触 4 依据式样书内容进行外部接线 在电控柜内有三处接线点 与测试线 Dome Monitor Wall 分别相对应 Dome TC1 Monitor TC2 Wall TC6 一般情况下 GENER 机接线处在电控柜内 OTFC 机在腔体后边 主阀上边的 电控箱内 OTFG 机在主阀侧边上方的电控箱内 5 依据式样书要求 安装合适的 Dome 一般情况下 有一体式 四分割 五分割 九分割等几种 Dome 安装时要用 酒精 杜邦纸 百洁布对 Dome 进行清洁 6 依据式样书要求进行腔体内部接线 依据客户要求 一般情况下 OTFC 系列需要 16 个点 均匀选取 4 列 每列 均匀选取 4 个点 GENER 系列一般只要 4 个点 选取 1 列 均匀选取 4 个点 特殊的也要 16 个点 Dome 上剩余的孔要用拍皱的铝箔纸贴好 铝箔纸反面与 加热丝相对应 接线要用高温胶带贴牢 使每根热电偶线都与测试基片紧密的 接触 尽量减少测量误差 7 关门 真空排气 连接电脑 测试仪 打开测试软件 待真空度到达 E 3Pa 时 进行数据测试 二 数据测试 二 数据测试 1 设定 PID 参数 所谓 PID 就是指比例动作 Proportional 简称 积分动 作 Integral 简称 微分动作 Derivative 简称 比例动作 比例动作 P P 也可以说明是一种比例带参数 其范围可以是 0 999 9 设定的越大 响应的速度就越慢 比例作用大 可以加快调节 减少误差 但是过大的比例 使系统的稳定性 下降 甚至造成系统的不稳定 积分动作 积分动作 I I 是通过积分消除偏差的动作 积分动作的强度一般用积分时间 i 表示的 越大 升温越慢 越小 升温越快 积分作用的强弱取决与积分时间常数 Ti Ti 越小 积分作用就越强 反之 Ti 大则积分作用弱 加入积分调节可使系统稳定性下降 动态响应变慢 当外部干扰发生时 比例 积分动作会受到很大的影响 发生波动 这时就要 通过微分动作 来消除外部的干扰 所谓微分动作 微分动作 D D 就是把与受干扰的温度变化速度成比例输出加到比例动作输 出上 并不是越大越好 越大响应速度就越快 但对波动的影响就越小 反之 越小响应速度就越慢 但对波动的影响就越大 P 放大时 系统动作灵敏 速度快 稳态误差小 但 P 太大时 幅值震荡的幅 度大 震荡频率小 震荡次数增加 系统达到稳定时间变长 如果 P 太小 会 反复震荡 永远也达不到设定要求 I 是解决动作响应的速度快慢的 可消除系统稳态误差 I 变大时响应速度变慢 反之则快 D 是消除静态误差的 提高系统动态特性 减少超调量和反应时间 一般 D 设置都比较小 而且对系统影响比较小 一般积分时间较大 微分时 间约是积分时间的 1 6 1 4 左右 2 待真空度到达 E 3Pa 时 打开软件 开始测试 在设定开关中将 Dome Heart Monitor Heart Wall Heart 设定为手动加热 电控柜内加热丝空气开关位于 ON 状态 Dome 空开位于 OFF 状态 防止不小心 碰到 Dome 旋转开关 使 Dome 旋转把测试线扯断 3 待加热输出功率到达 100 时 设定加热丝电压 电压设定 分为自动式与手动式 自动式自动式是通过调节电压的百分比 勾配 来调节电压大小 其最大额定电压为 200V 但一般不会超过其 55 如 Dome Wall 但 Monitor 电压一般不会超过 其 10 手动式手动式就是通过电压表来调节电压 主要是通过转动电力调整器上 DAMP 键来改 变电压的大小的 4 待测试完成 观察测试结果与式样书要求是否一致 一般情况下 Dome Hea