SEM-操作使用手册.doc

Zeiss Supra55(VP)扫描电子显微镜简明操作指南一、开机说明冷启动步骤1、 启动UPS打开墙上空气开关，确认UPS后面电池开关打开，按前面面板上On键至两个绿灯亮。2、 启动循环水冷机。按On键，确认水泵1和制冷指示灯亮。检查出水口压力在23bar。出水口压力可由压力表下方阀门调节。若有报警，检查水位，按Res键。3、 启动空气压缩机。确认空气压缩机上启动阀门上开关为“I”状态。检查输出气压为56bar。4、 确认主机后两个电源开关状态为On。此时，主机前面板上红灯亮。5、 按下黄键。说明：前级真空泵进入工作状态，分子泵、潘宁计和离子泵自动顺序启动。6、 按下绿键。按下绿键后，电脑会自动启动，输入计算机密码：7、 启动SmartSEM软件。用户名： system 密码： 8、 检查真空值，等待真空就绪。注意：当System Vacuum210-5mBar时，会自动打开CIV阀门(column isolation valve)，并启动离子泵。 当Gun Vacuum=5kV，以获得较好分辨率。对于轻元素样品，为减小电子穿透深度，可选择EHT5mm具有阴影效应，立体感较好，低倍效果好AsB一般10kV510mm反应元素衬度VPSE515mm低真空模式下形貌像4、 AsB背散射探测器使用步骤。先使用Inlens或SE2探测器调好图像，再切换至AsB探测器，打开BSD控制界面（菜单栏DetectionBSD control），设置BSD gain=High；对比度需在80左右。5、 VP模式使用。适用于不导电样品形貌观察，步骤如下：点击Vacuum面板Go to VP，设定VP target=60Pa左右。选择VPSE探测器，可调高VPSE偏压至80，以增强信号强度，若出现亮暗条纹，则适当降低VPSE偏压。调整VP target至完全消除电荷积累效应。一般6080Pa可完全消除。拍照完成后，需退出VP模式，Vacuum面板中点击Go to HV。6、 高景深模式。适用于岩石、断口等高低起落较大的样品。使用时，Aperture面板中选上High Current。使用结束后，取消High Current。7、 光阑选择。30um标准光阑：束流强度适中，分辨率最好，适用于拍高倍图像。另外，低EHT效果较好。 60、120um光阑：束流较强，分辨率稍差，适用于拍低倍图像和采集EDX、EBSD谱。五、常见问题问题解决方案样品台无法移动做初始化。若初始化长时间不结束，Stage面板上点Stage stop，报告蔡司服务工程师。样品台移动无法停止样品台状态一直是Busy按F12或操纵杆上Break键强制停止。检查操纵杆能否复位，并尝试禁用操纵杆。抽真空时间太长放气，取出样品，检查样品仓门O圈，重新抽真空。若15分钟内未能到就绪状态，报告蔡司服务工程师。循环水冷机报警检查水位，加水，按Res键。若缺水报警频繁，有漏水，报告蔡司服务工程师。电子枪真空较差Gun vacuum难以抽到510-9mBar以下，需做烘烤。灯丝正常工作时，Gun vacuum一般小于510-9mBar电脑死机按下黄键待机，等待20s后，再按绿键重启，一般重启后需做样品台初始化。图像漂移样品表面导电性或接地不好，重新制样，可蒸碳或镀金改善导电性。高倍图像有锯齿场地有振动或磁场干扰，也可能减震气垫系统漏气。图像无法存盘清理磁盘。鼠标右键点击C盘属性清理磁盘，删除所有垃圾文件。停电停电前关机。若停电时间较短，UPS电量够用，可关至待机状态。六、日常维护检查内容周期说明房间温度每天记录，严格控制在1725C房间湿度每天记录，相对湿度65%房间卫生每周清理房间灰尘系统真空极限值每周记录，极限系统真空值510-6mBar电子枪真空每周记录，灯丝开时Gun vacuum510-9mBar引出电流每周记录EHT开关前后引出电流值，EHT=10kV抽真空时间每月测试并记录，由放气状态抽到就绪状态的时间。一般不超过10分钟。样品仓每月检查清理，样品仓内或样品台上若有异物，可用吸尘器清理，或用无尘布擦。注意勿碰触探测器。样品台初始化每月若发现样品台导航器或坐标值不准确，立即做样品台初始化。氮气每月出口输出气压0.20.3Bar空气压缩机每季出口输出气压56 Bar循环水冷机每季检查水位。打开水箱旋钮，检查并加水。工作时，水压在23Bar，水温在1822C油式真空泵每季检查油位，必要时，加油。电脑每年整理文件夹；清理磁盘，删除所有临时文件和旧压缩文件。附录一、专业词汇Airlock 样品交换室Annotation 标注Aperture 光阑Bakeout 烘烤Column 镜筒Column chamber valve, Column Isolation valve (CIV) 镜筒隔离阀Cycle time 扫描循环时间EHT 加速电压Emission 发射像Extractor 引出电极Focus wobble 聚焦摇摆Freeze 冻结图片、停止扫描LUT (look u