MEMS 数字 麦克风基本知识ppt课件

MEMSMicrophone产品简介 1 体积小 2 便于SMT安装 3 耐高温 稳定性好 4 灵活的设计应用 5 兼容数字化发展 6 自动化程度高 7 适合大批量生产 MEMSMicrophone MEMSMicrophonePresentation MEMSMicrophone产品简介 MEMS麦克风是由MEMS微电容传感器 微集成转换电路 放大器 声腔及RF抗噪电路组成 MEMS微电容极头部分包含接收声音的硅振膜和硅背极 硅振膜可直接将接收到的音频信号经MEMS微电容传感器传输给微集成电路 微集成电路可将高阻的音频电信号转换并放大成低阻的音频电信号 同时经RF抗噪电路滤波 输出与手机前置电路相匹配的电信号 完成 声 电 转换 MEMSMicrophone工作原理 MEMSMicrophone产品简介 Vout SiliconBackPlate Silicondiaphragm GND RFFilter MEMSMicrophoneModuleStructure Vsupply MEMSAcousticSensor ASIC MEMSMicrophone产品简介 MEMSWafer MEMSDie MEMSMicrophoneWafer MEMSDie MEMSMicrophone产品简介 MEMSMicrophoneProfile Acousticporthole L W H 4 2 1 3 PIN FUNCTION1 OUTPUT 2 NOCONNECTION3 GROUND 4 POWER MEMSMicrophone产品简介 MEMSMicrophoneStructure 1 2 3 6 7 8 5 4 MEMSMicrophone产品简介 PerformanceComparison MEMSMicrophone产品简介 RecommendedInterfaceCircuit AACMEMSMicrophone Term3 Term2 Term4 Term1 Vref ExternalGain R1 R2 Setbycustomer R2 R1 MEMSMicrophone产品简介 SolderReflowProfile IncomingInspection WaferSawing WaferExpand SMT glueing Packaging Cutting Testing Marking Taping ShippingInspection Packing WaferFabrication Packaging WaferFoundry PickupandplaceMEMS WireBonding ReliabilityTest WaferTesting WaferInspection ProductionProcess MEMSMicrophone MEMSMicrophone产品简介 CellularPhone CDMA GSM PCS CamcorderPhone MP3Phone PDAPhoneetc Camcorder DigitalCameraetc EarPhoneMICforHeadsets MP3 Bluetooth etc NotebookComputer Desk TopComputerVideoDoorPhoneetc CordlessPhone MEMSWaferFab MEMSPackaging ApplicationofProduct MEMSMicr