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文档简介
各种工业对净化度的推荐要求 Biologicalbiohazard Clean rooms(BCRBHR) 生化净化室Cleanliness Classes by USFederal Standard 209E美国联邦标准209E制定的洁净度 标准M1.5(1)M2.5(10)M3.5(100)M4.5(1000)M5.5(10000)M6.5(100,000) Medical 医 学Special cleaning 特别手术 normal operation 普通手术 special treatment 特别治疗ICU CCU recovery room ICU CCU复原室neonatal roomclinic inspection 门诊室检查medicine room 药物室Pharmaceutical 药 剂Critical area 重要的地方controlled area 受约束的地方pathogen free animal 无病因动物SPF animal SPF 动物Antibiotic 抗生素normal medicines 普通药物preparation process 调配过程 Food 食 品Brew fermentation 酿造,发酵作用dairy products 乳酪产品food processing 食品处理paste 糖果AgricultureFarming 农业及耕作Mushroom 香菇artificial culture 人造的养殖raising 饲养 Biohazard 生物灭害Experimenting pathogen 病因实验genetic engineering 遗传学工程tumor virus 肿瘤病毒 代表: Positive Pressure Clean room 正压净化室 代表: Negative Pressure Clean room 负压净化室 Industrial Clean rooms(ICR)工业净化室Cleanliness Classes by USFederal Standard 209E美国联邦标准209E制定的洁净度 标准M1.5(1)M2.5(10)M3.5(100)M4.5(1000)M5.5(10000)M6.5(100,000)Semiconductor半导体Wafer晶片Silicon crystallization 矽 晶polishing 抛光washing 洗涤inspection 检查Process制作过程Oxidization 氧化Resist coating 防腐涂料Photo-lithography 照相石版印刷Etching washing 蚀刻洗涤Diffusion 传播Evaporation 蒸发Other其它Bonding 砌 合Molding 铸造Testing 测试Quartz tube washing 石英管洗涤 Electronics 电子LCD PDPDVD CCDMagnetic disk 磁带 磁碟CRTHigh reliable tube 高信赖筒管 Precision machinery 精密机械Gyrocompass 旋转罗盘Miniature bearing 小型轴承Parts for satellite 卫星零件Bearings 轴承Watches measurement devices 钟表 测量仪器Optical precision printing光纤及精度印刷Lens 透镜Mask for LSI LSI 的面具PC board PC 板Film 软片Precision print 精密印刷O
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