特气系统日常、年度维护检查表

特气系统日常维护记录表 文件编号:JSDG-04-09-712-A维护时间维护人员维护措施记录序号维护简要步骤及数据规范数据和状态记录异常情况处理记录1检查气柜排风系统,调整风量到30-50Pa2检查放空N2的流量，调整为0.25-0.35M3/H3检查CDA压力，调整到70-90PSI4检查气柜系统压缩空气、N2接头是否完好,如损坏漏气需更换5检查房门过滤网能否保持空气流通通畅,否则清洗或更换6对气柜盘面阀件、管路、钢瓶接头、管路接头进行检查有无锈蚀、穿孔现象7用相应毒性、易燃易爆气体检测仪对气柜盘面管路接头处进行检测，有无泄漏8检查紧急关断是否能正常工作9检查特气房内是否为负压。若不是进行调整10打扫特气系统卫生1112更换备件记录序号料品名称数量123说明：维护到其他项目时加在“维护简要步骤及数据规范”并记录 审核人： 审核时间：气柜气体出口压力停供和复供前记录表 文件编号:JSDG-04-09-713-A气柜名称气体名称输出压力规范气体停产前二次压力（PSI）气体复产前二次压力（PSI）HCL-1HCL35-45PSIHCL-2HCL35-45PSICL2CL225-35PSINF3NF340-55PSIHBrHBr r35-45PSINH3-1NH345-60PSINH3-2NH340-50PSISIH4-1SIH440-55PSISIH4-2SIH440-55PSI15%PH3/SIH4-115%PH3/SIH440-55PSI15%PH3/SIH4-215%PH3/SIH440-55PSIBCL3-1BCL34 - 8PSIBCL3-2BCL34 - 8PSISIH2CL2SIH2CL24 - 8PSIAr-1Ar60-80PSIAr-2Ar45-65PSIHe-1He65-80PSIHe-2He55-70PSIN2ON2O50-65PSISF6-1SF645-55PSISF6-2SF645-55PSICO2CO240-50PSIC2F6-1C2F640-60PSIC2F6-2C2F655-70PSICHF3CHF340-55PSICF4CF440-60PSI记录人记录时间： 审核人：审核时间：VMB/VMP气体出口压力停供和复供前记录表 文件编号:JSDG-04-09-714-A序号VMB/VMP序号气体名称输出压力规范（PSI）气体停产前压力（PSI）气体复产前压力（PSI）1VMP01He15-252VMP02Ar25-353VMP03C2F620-304VMP04SF620-305VMP05CHF315-256VMP06SF625-357VMP07CF425-308VMP08CF425-309VMP09He25-3010VMP10C2F625-3511VMP11N2O35-4512VMP12Ar10-2013VMB01CL210-2014VMB02HBr20-3015VMB03NF325-3516VMB04NH325-3517VMB05SIH425-3518VMB0615%PH3/SIH425-3519VMB07HCL15-2520VMB08NH320-3021VMB09HCL15-2522VMB1015%PH3/SIH420-3023VMB11SIH420-30记录人： 记录时间： 审核人：审核时间：气柜/盘面保压检查表 文件编号:JSDG-04-09-715-A序号气柜/盘面名称气体名称保压压力检查压力1234567891011121HCL-1HCL/2HCL-2HCL/3CL2CL2/4NF3NF3/5HBrHBr r/6NH3-1NH3/7NH3-2NH3/8SIH4-1SIH4/9SIH4-2SIH4/1015%PH3/SIH4-115%PH3/SIH4/1115%PH3/SIH4-215%PH3/SIH4/12BCL3-1BCL3/13BCL3-2BCL3/14SIH2CL2SIH2CL2/15Ar-1Ar/16Ar-2Ar/17He-1He/18He-2He/19N2ON2O/20SF6-1SF6/21SF6-2SF6/22CO2CO2/23C2F6-1C2F6/24C2F6-2C2F6/25CHF3CHF3/26CF4CF4/记录人审核人：审核时间：气柜/盘面至VMB/VMP保压检查表 文件编号:JSDG-04-09-716-A序号VMB/VMP序号气体名称保压压力检查压力1234567891011121VMP01He/2VMP02Ar/3VMP03C2F6/4VMP04SF6/5VMP05CHF3/6VMP06SF6/7VMP07CF4/8VMP08CF4/9VMP09He/10VMP10C2F6/11VMP11N2O/12VMP12Ar/13VMB01CL2/14VMB02HBr/15VMB03NF3/16VMB04NH3/17VMB05SIH4/18VMB0615%PH3/SIH4/19VMB07HCL/20VMB08NH3/21VMB09HCL/22VMB1015%PH3/SIH4/23VMB11SIH4/记录人审核人:审核时间:VMB/VMP至设备端保压检查表 文件编号:JSDG-04-09-717-A序号VMB/P序号气体名称对应设备保压压力检查压力12345678910111VMP01He6520、LAM-2、903E-1/-2、903-1/2VMP02Ar6520、LAM-1/-2/3VMP03C2F6903E-1/-2/-3、903-1/4VMP04SF66520/5VMP05CHF3LAM-1/-2、903E-1/-2/-3、903-1、1611-1/-2/-3/6VMP06SF6901E-1/-2、1611-1/-2/-3/7VMP07CF46520、LAM-1/-2/8VMP08CF41611-1/-2/-3/9VMP09He403-1、LAM-1、903E-3/10VMP10C2F6NOV-1/-2/-3/11VMP11N2ONOV-1/-2/-3、B炉/12VMP12ArMRC-1/-2、3180/13VMB01CL21611-1/-2/-3、6520/14VMB02HBr1611-1/-2/-3、6520/15VMB03NF3403-1、LAM-1/-2/16VMB04NH3NOV-1/-2/-3/17VMB05SIH4NOV-1/-2