单靶镀膜工艺操作规范(doc 4页).doc

单靶镀膜工艺操作规范1. 适用范围2. 本规程规定了单靶镀膜操作的技术要求和操作步骤。3. 技术要求2.1铝靶的直径60mm；2.2压缩空气的压强应达到0.40.6Mpa；2.3镀膜操作室的室温小于35，相对湿度小于70%RH；2.4镀室内清洁，无灰尘、异物。4. 操作步骤3.1工作准备3.1.1打开压缩空气阀门，检查空气压强是否达到0.40.6Mpa。3.1.2打开冷却循环水阀门，同时检查通水状况是否良好，各水管的接头和阀门有无泄漏。3.1.3检查氩气、氮气两种气体的联接状况，看接头是否有泄漏,分别打开氩气、氮气的总阀。3.2开机3.2.1开启本机电源。3.2.2将机箱控制面板上的电源开关置于“开”的位置，手动状态下，打开“机械泵”，延时1分钟后，压差阀自动打开，按下“前级阀”按钮，当电离计显示数值低于8Pa时，开“机械泵扩散泵”，扩散泵加热。扩散泵加热温度超过160后，方可进行正常的操作。3.2.3缓慢调节氩气、氮气减压阀，得氩气、氮气的低压表读数控制在0.1-0.2MPa之间。3.2.4打开质量流量计显示器电源开关。3.2.5打开计算机电源，输入工艺卡片中规定的工艺参数。3.2.6打至 “放气”按钮，放完气后打到“停”，然后打开镀室门。3.3装管3.3.1打开转架电源开关，将合格内管插入转架插杆。装管时，预先戴好一次性手套，外层再戴上干净的细纱手套，戴好之后不许触摸其他物品，如门、车把、桌椅等。3.3.2玻璃管全部插满插杆后，观察每支管子的自转状态，确定玻璃管间无碰撞后，关闭转架电源开关，关闭镀室门。3.4粗抽真空将“前级”拨到“停”拨到“粗抽”系统进入“粗抽”，复合计开始显示读数。3.5精抽真空当复合计显示值小于8Pa时，将按钮由“粗抽”拨到 “停”然后到“前级”再到“高阀”。3.6溅射镀膜3.6.1当高真空达到工艺设定（复合计显示值）后，将按钮达到“光栏”按下“氩气”开关将质量流量计达到“自动”“阀控”。开始进氩气。3.6.2打开转架旋转电源开关、慢慢调至8010V。3.6.3当电离计显示到工艺压强时，打开靶电源，调节电流旋钮至规定电流值。直到电压达到400V，按下“运行”开始镀膜。3.6.4当镀膜机处于溅射工作状态时，操作工随时观察设备的运行状态，注意各仪器仪表显示的数值变化，严格按要求填写镀膜操作记录。3.7装配支架3.7.1装填支架前，检查支架清洗是否干净，焊接是否牢固。3.7.2支架装填到外管的圆头部，装填时应避免划伤外管的内壁。装填支架必需使用专用工具并配戴一次性手套，不得用手直接接触支架以免造成污染。3.8终止溅射镀膜 计算机程序运行到1秒后，执行如下操作：当镀室内真空度达到9.010-2Pa以上后，将“高阀”关闭，达到“前级”状态，将按钮达到“放气”放完气后达到“停”3.9出管3.9.1取管：手握已镀膜管下部垂直往上提，使管口脱离转架轴，将镀膜管移出镀室。3.9.2内外管装配：手握已镀膜内管，管口向上，管身竖直放入外管中；放入时应注意避免内管的圆头划伤外管内壁，使其轻缓下落，直至接触到支架。内管装入外管后，按住内管端口往下轻压，使支架包住圆头。3.10连续工作时重复3.33.9的操作步骤。3.11产品经自检合格后，由操作工在内管管口部位印上工号，转下工序。3.12 关机当镀膜机要停止工作时，执行如下机程序：3.12.1在镀膜机停止工作前，先关镀室门，打开 “粗抽”按钮，将镀室真空度抽到8Pa以下。3.12.2然后将“粗抽”拨到“停”拨到“前级”，将按钮“机械泵扩散泵”拨到“机械泵”，冷却（60之后）关掉“前级”关掉“机械泵”。3.12.3关两气总阀（高压、低压）。3.12.4关循环水，关电源总开关。3.12.5若设备关机后长期