R2D标准操作规程.doc

天威新能源（成都）电池有限公司文件编号版 次扩散车间R2D标准操作规程生效日期1 目的1.1 为确保设备正常进行，符合技术要求。1.2 为本工序生产人员提供基本的技术指导文件。2 范围2.1 适用于扩散车间内R2D机台操作。2.2 本文适用于扩散从事生产操作岗位人员。3 职责 3.1 由电池设备部设备人员制定本文件，如需要修改，由电池生产部工序长提出本文件的修改申请。3.2 电池生产部生产人员必须严格按照本文件的规定进行操作。3.3 品管部负责按照本文件要求对生产人员进行检查、监督。4 设备、工模具、材料4.1 设备R2D机台。4.2 工模具抬舟手柄、石英舟。4.3 材料PVC手套、口罩、全面罩。5 内容5.1 R2D机台基本介绍 R2D机台是用于生产时，装载以及卸载产品的机器。如图一。 图一 机台 编制：校对：审核：标准化： 批准：发送部门份 数图二 机台介绍在使用R2D之前，一定要熟悉机台各个部件。R2D有三个冷却架，及三个shelf,由下往上是 shelf_1、shelf_2、shelf_3，用于石英舟备料或者冷却炉体内出来的高温石英舟。4个机台按钮、一个急停按钮、一个轨迹球鼠标、一个键盘和一台标准PC机。冷却架shelf及其状态炉体及其状态信息窗口停止按钮运行按钮加载起始位置模式转换按钮暂停按钮复位按钮加载终点位置5.2 软件介绍图三 软件界面介绍如图三所示，各个按钮功用。5.3 操作规程上料准备：上料手柄准备（手柄必须完好无损）、满载硅片的完好石英舟。上料：拉起上料手柄的当片，使用石英舟套在两个孔当中，方下当片，测试手柄是否会脱落。在不会脱落的情况下，轻抬起石英舟，轻放与Shuttle上面，在放的时候，需保持石英舟与shuttle的平行（如图四），石英舟脚均匀的放于shuttle的挡板两侧（如图五），并轻抬靠近炉体的一方，看松紧程度是否合适（如果太紧，容易造成石英舟的舟脚断裂或隐裂）。）平行的抬舟图四 平行抬舟图五 舟脚均匀的放置加载：将机台控制模式切换为自动状态下，点击加载按钮（如图六），如果有空闲炉管，物料则自动加载进炉体，进行工艺。在炉管完全为工艺状态时，则加载到shelf上面，进行待料状态，直到炉管待料时，进行自动加载。暂停/重新开始开始卸载加载按键行动指示图六 基本按键卸载：在物料工艺完成出舟并在shelf上冷却过后，需要卸载的情况下，点击start按键（如图六），机台开始自动卸载物料。注：以上5.3全是在自动状态下执行。手动卸料和加载物料：在手动状态下，可以将物料送如任意空闲位置。如图七和图八，在手动选择好位置过后，点击go按钮即可运行。 图七 起始位置选择 图八 终点位置选择6 安全及注意事项操作人员注意事项：1) 操作人员在操作前需接受相关技术培训并得到允可才能进行操作；2) 操作时需要注意不要过于毛躁，在确认石英舟安全的套上手柄过后，才能抬起石英舟，在搬动时，轻抬轻放；3) 操作人员在设备运行过程当中，勿接近传动部件；4) 如果出现以外事故，可以使用暂停按键或者急停按钮；5) 在出现报警如：memory mismatch for boat shelf 时，应检查石英舟舟脚是否压住感应sensor，如果没有压住，则调整石英舟的位置，使其压住sensor；6) 在操作过程当中，如过遇见不能处理的问题，应通知当班设备人员解决；7 支持性文件