镀膜机常见故障及分析解决预防措施.doc

镀膜机常见故障及分析解决预防措施一. 常见故障,问题及解决方法下表对一些镀膜时常见的故障、真空度问题、及掉膜和膜质问题做了一些简单分析,并给予解决方案及预防措施.故障点故障现象故障原因解决及预防措施备注1.高压和束流1.1.开枪有高压，无束流1.灯丝保险烧断2.灯丝烧断3.南光枪枪体右边引线碰到枪体底坐1.检查灯丝保险，烧断则更换2.保险正常则检查灯丝更换枪体.3.调整引线与枪体底坐的间距.在抽气前检查枪体.立即关高压1.2.开高压显示跳动幅度大，并有束流跳动1.束流控制调在手动，电位器未归零2.枪体短路3.高压电极保护罩或屏蔽碰到高压引线造成短路4.电柜故障1.电位器归零.在预熔完后应将灯丝电位器归零2.将连接灯丝变压器的高压引线取下（注意引线不能碰到机器应悬空）开高压，正常则枪体或高压电极保护罩或屏蔽短路造成3.放气检查电极保护罩或屏蔽4.检修电柜立即关高压1.3.开枪无高压，无束流1.高压保护不到位（偏转.真空.柜门）2.高压电路出问题1.检查相应的高压保护2.检修高压控制电路1.4.镀膜时高压会下跌1.真空继电器烧坏2.高压电路出问题1.更换真空继电器2.检修高压电路常见4号机1.5.镀膜时灯丝突然很亮(束流达到满格)1.BT138可控硅被击穿2.枪体短路1.更换BT1382.检查枪体常见4号机1.6有高压，有灯丝电流，无光斑1.栅极片短路2.扫描出问题或扫描线接反了1.整理枪体2.检修扫描，正确连接扫描线1.7.束流上不去，达不到以前的水平（同样功率达不到以前的速率）1.灯丝位置不正或变形2.灯丝被氧化3.连接枪体的各接头松动4.坩埚转速太快5.材料被污染6.晶片被挡住1.重新安装或更换灯丝. 为了更好的对灯丝定形及延长灯丝使用寿命,在更换新灯丝后应对灯丝进行预热处理2.更换灯丝.为防止灯丝氧化在放气前应注意检查关闭灯丝电源开关3.拧紧各连接处.4.调整坩埚转速5.取出被污染的材料或更换新材料6.调整晶片挡板位置.抽气应检 17.电柜出问题查晶片是否被挡7.检修电柜1.8.阻蒸电流调不上去1.蒸发舟烧断或松掉造成接触不良2.空气开关跳闸3.调节电流的电位器坏了4.铜电极与真空室底板下的引线接触不良1.更换蒸发舟或拧紧螺钉.为了防止接触不良，各电极和压块应清洗干净.更换在蒸发舟时应将铜压块取下砂干净再安装蒸发舟2.打开空气开关3.更换电位器4.清洁磨平接触不良的地方并拧紧螺钉1.9.速率不稳定1.晶片失效2.料面不好3.功率设置不合理4.控制参数PID设置不合理5.灯丝接触不好或老化6.高压打火1.选择好的晶片，1.2枪的速率要匹配2.料要加平整，养成停坩埚的好习惯3.预熔功率及最大功率设置合理(最大功率为略大于蒸发时所需功率）4.设置合理的PID参数5.紧固或更换灯丝6.解决打火现象1.10.高压打火1.枪体污染，杂物掉入枪体2.各接线处未拧紧3.聚四氟套管太脏4.枪体阳极，栅极变形5.高压电极太脏6.屏蔽不佳或未屏蔽7.光斑位置不合理，扫描状态不好8.2枪高压干扰9.材料污染有杂物10.高压打在10KV11.预熔不够充分12.功率设置不合理1.整理枪体，在吹枪体时应用吸尘器边吸使吹出的杂物吸走不被落在枪体里2.拧紧各连接处，使其接触良好3.清洗或更换套管，应定时清洗4.调整或更换阳极，栅极片5.更换高压电极6.调整屏蔽或加装屏蔽7.调整好光斑，检查扫描8.蒸镀1枪时应关闭2枪高压9.将被污染的材料去除或更换新材料10.将高压调在正确的档位（中档8KV）.在触摸屏上操作时(如调整坩埚转速时)应注意是否误碰到高压调节档位11.预熔时间及加的束流应合理（束流最后应加到接近镀第一套时所需束流坩锅转一到两圈）12.设置合理的功率,预熔功率不应太大,最大功率应与速率相匹配,注意在第一套时速率较小时功率的设置 22.扫描和光斑2.1.光斑不能调整1.扫描引线或线圈短路2.整流桥击穿3.引线或线圈断路4.遥控盒上的连线松脱或电位器坏了1.检查引线及线圈,引线间不能碰在一起,抽气前应检查引线是否互相触碰和松动2.更换整流桥3.检查引线及线圈4.接好连线或更换电位器2.2光斑及扫描状态不好1.灯丝变形2.极靴位置不正3.扫描频率不合适4.短路条多或少了,位置不好5.高压档位不对6.扫描连接线有误1.更换灯丝2.调整极靴位置.在拆下清洗时要做好记号避免安装时位置不正3.调整合适频率,频差和密度4.调整短路条的位置及数量5.调整正确的高压档位6.正确连接扫描线,维修时应做好记号3.坩埚和工转3.1坩埚转动不灵或不转1.坩埚周边间隙太小2.坩埚间隙有材料(卡料)3.轴承锈死4.减速器出问题5.电机出问题6.防污底板顶到坩埚(2枪)7.连接键脱落1.调整坩埚周边的间隙2.清理间隙中的材料.注意料不要加得太高,预熔时数量不要加得太快,防止材料飞溅掉入间隙里使坩埚卡住或转得不顺畅3.清洗或更换轴承.在打扫真空室及洗机时应将坩埚下面的料渣清除,防止料渣太多影响轴承的性能4.检查减速器5.维修或更换电机6.调整好大门底板的位置(稍高于坩埚),关门时感到异常(如较平时紧)应检查底板及防污板的位置7.重新安装好键3.2工转噪音大,晃动大1.电机轴承坏了2.大轴承干磨性能下降3.电机与减速箱连接不好4.传动齿轮磨损1.更换电机轴承2.清洗或更换大轴承3.将电机与减速箱连接好4.更换齿轮3.3工转转不了1.电机损坏2.电机与传动部分的键脱落或磨损3.传动的齿轮磨损4.单向器坏了5.电路出问题1.更换电机2.重装或更换键3.更换齿轮4.更换或维修单向器(2楼)5.检修电路 33.4.工转电压调不上,电压显示指针跳动大1.调节电位器损坏2.控制器出问题3.工转传动不稳4.碳刷接触不良5.电压表有问题1.更换电位器2.检修控制器3.维修传动部分4.整理碳刷接触面或更换5.维修或更换电压表4.阀门4.1.阀门打不开1.气压不够2.控制阀门的气动阀有问题3.阀门间互锁1.调高气压到适当位置2.维修或更换气动阀3.检查与其互锁的阀门.应注意阀门指示灯显示关闭但实际阀门并未关闭的现象4.2.阀门打开后会自动关闭1.气压不够2.气动阀阀芯内的橡皮松脱1.调高气压到合适位置2.更换阀芯或气动阀4.3.放气取膜,放气阀打不开1.高阀没关到位2.放气阀的气动阀有问题1.检查高阀没关到位的原因,不能强行手动关闭2.更换或维修气动阀5.真空度5.1.在镀膜过程中真空度突然下跌1.高阀,预阀等阀门自动关闭2.扩散泵断相或跳闸3.坩埚卡料强行转动造成漏气1.检查气压是否正常,正常则是相应的阀门问题,一般为气动阀的阀芯松脱2.合上闸刀,断相表现为三相指示灯有一或两个灯不亮,更换电炉盘3.维修坩埚,当卡料时不能强行转坩5.2.低真空突然抽不动1.机械泵掺气阀没关2.真空室门压到东西3.并路阀(旁通阀),截止阀自动关闭4.机械泵出问题5.罗茨泵出问题6.管道漏气7.机械泵上的机放阀漏气8.真空室漏气1.关闭掺气阀2.检查大门密封.关门抽气时应检查大门是否压到东西或密封圈上有杂物3.检查相应的阀门及控制阀门的气动阀和气压4.维修机械泵5.维修罗茨泵6.维修管道7.更换或维修机放阀8.按5.4步骤检漏5.3抽气慢1.真空室太脏,没换防污板2.扩散泵太久没洗3.扩散泵出气口挡油板被吸起4.机械泵没掺气5.真空测量表基准不准6.机械泵,罗茨泵有问题1.更换防污板或清洗真空室2.清洗扩散泵(大约一年洗一次)3.调整挡油板4.给机械泵掺气或换油5.调节真空表基准或更换真空表6.检修机械泵,罗茨泵 47.真空室暴露在大气时间过长或玻片未烘干8.漏气7.尽量减少敞大气时间,玻片应完全烘干8.按5.4步骤检漏5.4.真空度低1.真空表测量不准2.真空规管测量口被百叶窗挡住3.真空室大门没关好4.真空泵出问题5.管道漏气6.动密封如坩埚,工转,观察窗,挡板等密封漏气7.洗机或维修时动过的部件或附近有松动8.堵头没装好9.通了水的如坩埚,工转,探头等地方有漏点10.高阀,低阀气缸漏气11.金属焊缝漏1.更换真空表2.关闭高阀,若此时真空室真空度比较稳定,则放气调整百叶窗的位置3.用酒精注射大门密封看真空度变化,如有变化则放气整理真空室门密封4.维修或更换真空泵5.维修管道6.更换或重装动密封 快速连续转动看真空度是否有较大的变化,有则是该转动部动密封有问题7.检查动过的部件及附近,确认后紧固8.用酒精注射堵头,若真空度有变化则紧固或重装该堵头9.通过用高压气来冲水管看真空度是否有变化,有则检查水路10.通过开关高阀,低阀或用酒精注射阀门确认后更换阀体或密封圈11.用酒精注射各焊缝来确认是否有漏,有则补焊焊缝6.掉膜问题6.1.掉膜1.真空室或玻片潮湿（更换防污板后）2.玻片没洗干净3.更换新玻片,玻片上有油污4.真空度低5.打火严重,造成膜厚不均匀引起应力大6.真空室有油污7.蒸发速率过高8.脱膜剂镀得过多9.扩散泵返油造成高阀盖及冷井处有油污1.烘烤玻片及防污板的时间要适当2.用干净的布清洗好玻片,清洗时应认真仔细3.先用洗洁精清洗干净玻片,再用清水将玻片冲洗干净4.检漏5.解决打火现象6.清洗真空室7.降低速率到合适位置8.减少脱膜剂的厚度9.擦洗高阀盖及冷井.给扩散泵加热时间不能少于90分钟.6.2.周一掉膜严重且膜质不好1.洗机时产生的一些粉尘在抽气时飞到玻片上2.洗机时的潮气及防污板的潮气未干1.用酒精仔细擦干净真空室2.延长轰击时间,防污板应彻底烘干后才装入真空室7.膜质7.1.膜质发黑不亮泽1.U5材料镀少了(有时有银灰色)2.2枪光斑能量太散(扫描频率有问题)3.U3材料镀多了(膜质稀烂)4.2枪坩埚位置不合适5.U5材料太旧或氧化6.真空度低1.适当增加U5厚度2.调节光斑和扫描频率3.适当减少U3厚度4.将2枪坩埚位置移到适当位置5.更换新料6.检查真空度7.2.膜发银1.U5材料镀多了2.跳程序或假速率造成U5材料没镀上或镀少3.U3材料蒸发过快造成U5没镀上或镀少1.适当减少U5厚度2.发现时应适当加镀一些U5,在镀2.6层时应特别注意有无此现象3.镀U3材料时速率不要过高,镀完U3材料时应稍微停顿5秒再镀U57.3.膜质发硬,打卷1.玻片太脏2.玻片表面光洁度差3.U3材料镀的过少1.仔细清洗玻片,玻片放入真空室经抽气未使用应更换或清洗后才能使用.应打扫完真空室卫生后再装玻片,减少污染2.更换好的玻片3.适当增加U3厚度8.膜厚控制仪8.1.晶片失效1.晶片使用寿命已到2.晶片压簧损坏3.连接探头的各接触点接触不良4.探头冷却水过小或水温过高5.探头挡板碰到工1.更换好的晶片.在用超声波清洗晶片时应注意打晶片的时间及方法,延长晶片的使用寿命2.更换晶片压簧.在取压簧时应轻拿轻放3.整理各连接处4.调大探头冷却水流量或开启冷冻机降水温,水温小于28度5.调在探头挡板与工转的距离8.2.开始镀膜控制仪无工作1.程序清零2.没选择到镀膜程1.重新设置程序.在操作膜厚控制仪时动作不应过快,控制仪要有良好的接地2.选择好镀膜程序.在调程序时应注意光标是否在对应的镀膜程序上8.3.手动遥控盒不受控1.连接控制仪的接头没接好2.遥控盒上的按键的接线脱焊1.接好接头2.焊好接线.在用遥控时应注意连线不要用力过大拉扯连线9.其他9.1.开枪镀膜时发现膜厚仪上没速率显示1.晶片被挡住2.枪挡板未打开3.高压没开1.放气整理.关门抽气时应检查晶片是否被挡2.修理挡板3.打开高压 64.束流控制调在手动4.将束流控制调的自动9.2.枪挡板打不开1.气压不够2.控制挡板的气动阀坏了3.气缸与挡板轴的连接键或螺钉脱落1.调高气压到合适位置2.维修或更换气动阀3.重新装上键或螺钉二. 一些基础知识及注意事项和应急措施1. 膜厚控制仪1.1. 控制参数Soak power1-预熔功率1 约为蒸发功率的一半Soak power2-预熔功率2 也称预蒸镀功率 略小于最大功率Maxpower -最大功率 Dep Rate -蒸发速率Final Thk -膜厚（波长） Soak time-预熔时间Rise time -功率上升时间 Density -材料密度1.2. 检测膜厚原理 通过改变探头上晶片的频率（由于膜的蒸发改变了其重量，所以其震动频率发生变化）来计算膜厚，而探头所处的位置和工具因数的设置都影响到测试精度，探头的位置和测试膜厚的关系如小： (1).探头高了,测试得到的厚度实际得到的膜厚(玻片上厚度) (3).工具因数调高,相当于探头位置降低,所以膜厚要增加2. 膜和材料间的关系2.1.U5吸收杂光,影响膜质和亮度.镀的过多,膜会发银;镀的过少,膜发黑,不亮泽,有银色;没镀上,则为银白 2.2.U3脱膜剂,影响膜质.镀的过多,膜质稀烂,易脱落;镀的过少,膜会打卷,发硬 2.3.SiO2决定颜色 2.4.U6基层,影响膜的鲜艳度和亮度3. 均匀性 3.1.径向均匀性:同一玻片上部与下部的不均匀,与光斑的调节、材料的料面、坩埚转速和转向、玻片的曲率有关 3.2.重复均匀性:同一锅膜的每一套间的不均匀,与真空度的高低、操作者看颜色有关 3.3.整体均匀性:同一套膜四块玻片上的均匀性,与光斑的稳定性、工转的转速和蒸发速率的匹配、真空度的高低、径向均匀性有关4. 灯丝问题 4.1.放气时要记住关灯丝电源,以免氧化灯丝 4.2.初次使用或更换新灯丝,应进行灯丝预热定型处理,以防灯丝加热过快变形.预热时,高压关闭,直接加热灯丝,缓慢加灯丝电流,由几安培加至15A时,维持3-5分钟 4.3.灯丝安装a.灯丝不宜太高或太低:太高会造成光斑不可调,容易打烂栅极和阳极片;太低会造成光斑能量太散,不易蒸发b.栅极片应略低于阳极片c.各个压块、引线的接触面应清洗干净避免造成接触不