内存ATE测试介绍.ppt

技术交流内存ATE测试 2007年3月 服务客户 精益求精 1 概览 ATE测试和ATE测试设备ATE测试设备特点HP83K T5592简介ATE测试简介 2 ATE测试 什么是ATE测试 ATE是AutomatedTestEquipment的简称 即自动测试设备 它是对内存条或SDRAM芯片的品质进行检测的测试设备 ATE测试即使用自动测试设备对内存条或SDRAM芯片的品质进行测试 3 ATE测试 ATE的工作原理 4 ATE测试设备 高档的ATE测试设备有 Verigy公司的93K系统Advantest公司的T5581 T5585 T5592系统KINGTIGER公司的KT 2APRO系统特点 精度高速度快完整的电性能 功能和时序测试及分析价格昂贵专业的厂商使用 5 T5592系统 T5592系统 6 T5592系统 7 T5592系统 8 T5592系统 9 T5592系统 10 T5592系统 11 KT 2APRO系统 12 ATE测试设备 ATE测试设备的特点 高精度的定时性能大向量内存可编程的电流负载PerPin的时序与电平 电压高价格 13 T5592简介 T5592测试系统简介 14 T5592参数简介 能够测试各种存储器 专用 最高测试频率可以达到1 066GHz定时精度达到150ps OTA 最大可测试芯片64颗 DDR内存条16条 2Station Driver与双向口分开 节约成本 存储器特点专门设计 T5592简介 15 硬件部分 T5592简介 16 ATE测试简介 ATE测试简介 17 T5592测试项目 连接性测试漏电流测试电源电流测试功能测试重要DCAC参数测试SPD的读写测试 T5592简介 18 连接性测试原理 ATE测试简介 19 ATE测试简介 漏电流测试原理 20 ATE测试简介 IDD 动态电源电流 测试原理 21 功能测试原理 时间条件电压条件波形条件逻辑值 驱动器 ATE 比较器 被测试器件 DUT 图形文件 RESULT P F 芯片电源 ATE测试简介 22 功能测试Pattern Check board ATE测试简介 23 功能测试Pattern March 6N ATE测试简介 24 DC参数测试 DC参数测试 电压参数测试 电流参数测试 测试方法 1 加电压测电流 加电流测电压2 改变DC参数 进行功能测试 找到P F转变点3 运行pattern程序 直接对参数测量 ATE测试简介 25 DC测试 ATE测试简介 目的 检测芯片的各项电气性能 VSIM ISVM DCtestunit 26 DC参数测试 电压参数测试 主要电压参数电源电压VDD VDDQ VREF输入电压VIL VIH输出电压VOL VOH 测试目的 评估DUT能正常工作的电压范围评估输入管脚区分输入逻辑状态的能力评估输出管脚的输出相应逻辑电压的能力 27 电流参数测试 主要电流参数电源电流IDD输入漏电流IIL IIH输出漏电流IOL IOH IOZ 测试目的 评估DUT的漏电流大小评估供给DUT工作时所需的电源电流大小 DC参数测试 28 工程测试 AC参数测试 AC参数测试基本原理 改变需要测试的参数 重复执行功能测试 直到测试结果由PASS转为FAIL为止 记录PASS FAIL转换点 进行必要的数学运算 得出需要测试的参数实际数值 实质是以时间条件为基础来执行功能测试 29 AC参数测试 AC参数测试目的 保证器件的时序参数满足器件SPEC的要求保证器件在不同的时序条件限制下可正常工作分析器件时序参数解决故障问题Debug 优化测试程序的工具 工程测试 30 典型AC参数的时序图 CL tRCD tRP AC参数测试 31 Shmoo图例 MarginTest 潜力测试 用于评价芯片实际能力 通常使用SHMOOPLOT工具进行分析 AC参数测试 32 Shmoo图例 二维Shmoo同时改变两个相互关联的参数 执行功能测试红色FAIL区域绿色PASS区域 AC参数测试 33 ATE测试 生产测试 massproduction 工程 评估测试 engineering evaluation ATE测试简介 34 生产测试流程 基本电性能测试 重要AC参数测试 功能测试 连接性测试 漏电流测试 IDD测试 时序宽松 时序严格 基本功能 重要的POPULARPATTE