远山新材料产业园项目实验车间建设项目环境影响报告表

建设项目环境影响报告表项目名称：远山新材料产业园项目实验车间建设项目 建设单位：远山新材料科技有限公司 （盖章） 编制日期：2019年3月国家环境保护部制建设项目环境影响报告表编制说明 建设项目环境影响报告表由具有从事环境影响评价工作资质的单位编制。1、项目名称指项目立项批复时的名称，应不超过30个字（两个英文字段作一个汉字）。2、建设地点指项目所在地详细地址，公路、铁路应填写起止地点。 3、行业类别按国标填写。 4、总投资指项目投资总额。 5、主要环境保护目标指项目区周围一定范围内集中居民住宅区、学校、医院、保护文物、风景名胜区、水源地和生态敏感点等，应尽可能给出保护目标、性质、规模和距厂界距离等。6、结论与建议给出本项目清洁生产、达标排放和总量控制的分析结论，确定污染防治措施的有效性，说明本项目对环境造成的影响，给出建设项目环境可行性的明确结论。同时提出减少环境影响的其他建议。7、预审意见由行业主管部门填写答复意见，无主管部门项目，可不填。8、审批意见由负责审批该项目的环境保护行政主管部门批复。1一、建设项目基本情况项目名称远山新材料产业园项目实验车间建设项目建设单位 远山新材料科技有限公司法人代表张文文联系人孙国梁通讯地址山东省济宁市高新区海川路9号，远山新材料科技有限公司联系电真邮政编码272000建设地点山东省济宁市高新区海川路9号，远山新材料科技有限公司立项审批部门批准文号建设性质新建 改扩建 技改行业类别及代码 C3989 其他电子元件制造占地面积(平方米)33000绿化面积(平方米)-总投资（万元）25136环保投资（万元）300环保投资占总投资比例1.19%评价经费预期投产日期2019.7工程内容及规模：一、项目概况本项目为远山新材料科技有限公司投资25136万元在济宁市高新区海川路9号建设的远山新材料产业园项目实验车间建设项目，厂区占地面积25136平方米。公司统一社会信用代码为91370800MA3ENHUE2T。本项目厂区位置中心坐标为：116.701056E、35.430175N。根据中华人民共和国环境保护法、中华人民共和国环境影响评价法、建设项目环境保护管理条例（国务院第682号令）以及建设项目环境影响评价分类管理名录（2017年环境保护部令第44号）及关于修改部分内容的决定（生态环境部令第1号）的规定，本项目属于“二十八、计算机、通信和其他电子设备制造业83、电子元件及电子专用材料制造”中“其他”，应编制环境影响评价报告表。远山新材料科技有限公司委托我单位担本项目的环境影响评价工作，编制环境影响报告表。接受委托后，我单位立即组织有关技术人员进行了详尽的实地勘查和相关资料的收集、核实与分析工作，在此基础上，编制了本项目环境影响报告表。二、项目厂址及平面布置本项目位济宁市高新区海川路9号，厂区西侧为济宁国际商品购物中心、南侧为高新区6#写字楼、北侧和东侧为空地。该区域基础设施配套完善，交通、通讯等条件便捷，所需各种原材料及水、电等资源供应充足，是项目建设的理想地段。（具体位置见附图1-1：项目地理位置图、附图1-2：项目周边卫星遥感图）。该项目占地面积33000m2。项目区地上共3层，一层为生产区域，二层和三层为办公、仓储区域；地下1层布置冷冻机房、纯水间、配电室、机房等；气体用房设置在楼体东侧，储存生产需要的氮气、氨气和氢气。根据本产品的工艺、运输、消防的要求，结合地形等因素，按照国家有关标准和要求，对建筑物、运输、管线进行布置，能配备较为完善的供电、供水、排水、通讯等基础设施。（见附图1-3（13）：项目整体平面布置图、一层布置图、负一层布置图，二层及三层为办公区）三、产品方案及规模本项目最终产品为芯片，芯片产量300万个（主要流程为先生产氮化镓外延片，产量10000张，氮化镓外延片继续深加工得到300万个芯片）。表1-1 项目产品方案一览表序号产品名称产量单位1芯片300万个/年本次项目为远山新材料产业园项目的实验车间建设项目，后期大批量生产时将另择地址进行，届时另行进行环境影响评价。四、建设内容及规模本项目区内主体工程、辅助工程、公用工程、环保工程分类如表1-2所示。表1-2 项目组成一览表项目组成面积建设内容主体工程实验车间（地上一层）面积2200m2单层高度5m，主要设置以下功能区：MO外延生长区，布置3台MOCVD设备；测试区，布置外延片测试设备；气体纯化区，氢气、氮气、氨气纯化；黄光区，布置匀胶机、光刻机、显影机；蚀刻镀膜区，布置ICP、PECVD、金属EB（蒸镀）；清洗湿刻区，布置Plasma、清洗台等；成品仓库。实验车间（地下一层）面积2200m2主要设置冷冻机房、纯水间、配电室、机房、氨水罐（废气处理配套）等辅助工程办公区面积4400m2地上二层、三层均设置为办公区气体用房面积100m2存放生产用的特种气体：液氮、氨气、氯气、硅烷、氢气、三氯化硼、笑气（N2O）、硅烷等生产用汽，液氮为30m3储罐1个、氢气为气瓶组（22.5m3）、硅烷为47L钢瓶、氨气为47L钢瓶（1用1备）、氯气为47L钢瓶（1瓶）、三氯化硼为5kg气瓶（1瓶）公用工程供水市政供水管网供给供电市政供电由附近电网接入，变压器总容量5430KVA，共6台，年用电量917万kWh纯水制备实验车间地下一层，制水能力5t/h，采用砂滤+碳滤+RO反渗透+EDI制备排水雨污分流；污水经污水管网送高新区第二污水处理厂处理；酸碱废气处理系统排水收集后交有处理能力的单位处理；MOCVD外延废气处理产生的废氨水委托滕州祥润化工有限公司合理化利用。储运工程化学品储存生产区试剂储存柜内成品仓库实验车间1层，MOCVD设备南侧危废仓库气体用房西侧环保工程废气MOCVD外延生长过程废气经三级含氨尾气卧式洗涤塔吸收后汇至车间碱性废气中央卧式洗涤塔进一步处理后经25m高1#排气筒排放；车间酸性废气收集至酸性废气卧式洗涤塔处理后经25m高2#排气筒排放；车间各工序产生的有机废气收集后经光催化氧化处理设备和活性炭吸附装置处理后于25m高3#排气筒排放。废水生活污水、纯水制备系统排水、清洗排水经污水管网收集后送高新区第二污水处理厂处理。酸碱废气处理系统排水收集后交有处理能力的单位处理；MOCVD外延废气处理产生的废氨水委托滕州祥润化工有限公司合理化利用。固废一般固废收集后外售。生活垃圾由环卫部门每日统一清运、处置。危险废物收集后暂存在危废仓库，委托有资质单位处理。五、主要原辅材料本项目主要原辅材料详见下表。表1-3 本项目主要原辅材料一览表序号名称年用量浓度/规格位置/最大存量外延工艺主要原料1液氮360t99.999%、30m3储罐气体用房、20吨2氨气14.4t99.999%、1m3钢瓶气体用房、2瓶，一用一备，480kg/瓶3氢气5.2t99.999%、气瓶组气体用房、22.5m34硅烷（SiH4）0.04t99.999%、47L钢瓶气体用房、2瓶、10kg/瓶5MO源（三甲基镓TMGa）43.8kg99.999%、25kg/桶试剂储存柜、1桶6蓝宝石衬底10000片99.999%、4英寸生产区储存柜、500片芯片工艺主要辅料7硫酸2.4t98%、3.75L/桶试剂储存柜、10桶8盐酸2.4t36%、3.75L/桶试剂储存柜、10桶9双氧水14.4t35%、3.75L/桶试剂储存柜、10桶10丙酮2.4t99%、3.75L/桶试剂储存柜、10桶11异丙醇2.4t99%、3.75L/桶试剂储存柜、10桶12光阻胶0.36t90%、3.75L/桶试剂储存柜、2桶13去光阻胶4.8t90%、3.75L/桶试剂储存柜、10桶14显影液7.2t90%、3.75L/桶试剂储存柜、10桶15氢氟酸2.4t49%、3.75L/桶试剂储存柜、10桶16Au24kg固体保险柜17氯气5kg99.999%、47L钢瓶气体用房、1瓶（50kg）18三氯化硼（BCl3）48kg99.999%、5kg/瓶气体用房、1瓶（5kg）19笑气（N2O）5kg99.999%、47L钢瓶气体用房、1瓶（47L）废气处理系统20硫酸1.5t30%、25L/桶试剂储存柜、5桶21氢氧化钠1.2t30%、25L/桶试剂储存柜、5桶22活性炭0.6t颗粒、25kg/袋更换时现购项目使用的原辅材料主要理化性质如下表所示： 表1-4 本项目原辅材料理化性质一览表序号名称理化性质危险特性急救措施1液氮无色无臭气体熔点：-209.8沸点： -195.6蒸汽压：1026.42kPa(-173)相对密度(水=1)：0.81(-196)相对密度(空气=1) ： 0.97，微溶于水、乙醇。第 2.2 类不燃气体(22005)若遇高热，容器内压增大，有开裂和爆炸的危险。迅速脱离现场至空气新鲜处。保持呼吸道通畅。如呼吸困难，给输氧。呼吸心跳停止时，立即进行人工呼吸和胸外心脏按压术。就医。2氨气无色有刺激性、恶臭的气体。熔点： -77.7沸点： -33.5蒸汽压:506.62kPa(4.7)，相对密度(水=1)： 0.82(-79)相对密度(空气=1)：0.6易溶于水、乙醇、乙醚。第2.3类有毒气体(23003)有毒气体，低浓度氨对粘膜有刺激作用，高浓度可造成组织溶解坏死。轻度中毒者出现流泪、咽痛、声音嘶哑、咳嗽、咯痰等；眼结膜、鼻粘膜、咽部充血、水肿；胸部 X线征象符合支气管炎或支气管周围炎。中度中毒上述症状加剧，出现呼吸困难、紫绀；胸部 X线征象符合肺炎或间质性肺炎。重度中毒可发生中毒性肺水肿，或有呼吸窘迫综合征，患者剧烈咳嗽、咯大量粉红色泡沫痰、呼吸窘迫、谵妄、昏迷、休克等。可发生喉头水肿或支气管粘膜坏死脱落窒息。高浓度氨可引起反射性呼吸停止。氨或高浓度氨可致眼灼伤；氨可致皮肤灼伤。皮肤接触：立即脱去污染的衣着，应用2%硼酸液或大量清水彻底冲洗。如有不适感，就医。眼睛接触：立即提起眼睑，用大量流动清水或生理盐水彻底冲洗至少15分钟。如有不适感，就医。吸入：迅速脱离现场至空气新鲜处。保持呼吸道通畅。呼吸困难时给输氧。呼吸、心跳停止时，立即进行心肺复苏术。就医。3氢气无色、无臭的气体。很难液化。液态氢无色透明。极易扩散和渗透。微溶于水。气体相对密度：0.07爆炸极限:475第 2.1 类易燃气体(21001)单纯性窒息性气体。在高浓度时，由于空气中氧分压降低引起缺氧性窒息。在很高的分压下，呈现出麻醉作用。氢气占 4%至 74%的浓度时与空气混合或占 5%至 95%的浓度时与氯气混合时是极易爆炸的气体在热、日光或火花的刺激下易引爆。氢气的着火点为 500C。纯净的氢气与氧气的混合物燃烧时放出紫外线。吸入：迅速脱离现场至空气新鲜处。保持呼吸道通畅。如呼吸困难，给输氧。呼吸、心跳停止，立即进行心肺复苏术。就医。4硅烷无色气体，有恶臭熔点： -185沸点： -112闪点-50相对密度(水=1)： 0.68溶于苯、四氯化碳。第2.1类易燃气体(21050)眼接触：硅烷会刺激眼睛。硅烷分解产生无定型二氧化硅。眼睛接触无定型二氧化硅颗粒会引起刺激。吸入：1.吸入高浓度的硅烷会引起头痛、恶心、头晕并刺激上呼吸道。 2.硅烷会刺激呼吸系统及粘膜。过度吸入硅烷会引起肺炎和肾病，这是由于存在结晶二氧化硅的原因。 3、暴露于高浓度气体中还会由于自燃而造成热灼伤。皮肤接触:硅烷会刺激皮肤。硅烷分解产生无定型二氧化硅，皮肤接触无定型二氧化硅颗粒会引起刺激。热灼伤：由于硅烷泄漏引起人员灼伤时应由受过培训的人员进行急救，并立即寻求医疗处理。眼睛接触：立即用水冲洗最少 15分钟，水流不要太快，同时翻开眼睑。立即寻求眼科处理。吸入：将患者尽快移到空气清新处。如有必要由受过培训的人员进行输氧或人工呼吸。皮肤接触：1.用大量的水冲洗最少 15 分钟。脱掉已暴露在硅烷中或被污染的衣服，小心不要接触到眼睛。2.如果患者有持续的刺激感或其他进一步的健康影响需立即进行医疗处理5三甲基镓TMGa，在常温常压下为无色透明有毒液体。熔点： -15.8沸点： 55.8闪点： -18蒸气压：37.0kPa(30)液体密度(15，100kPa)： 1151kg/m3气体密度： 4.0kg/m3。在已烷、庚烷等脂肪族饱和烃和甲苯、二甲苯等芳香族烃中以任何比例相溶，与水激烈反应放出甲烷气。在空气中易氧化，在室温自燃，燃烧时发出金属氧化物白烟。高温时自行分解。三甲基镓的燃烧产物，能刺激和腐蚀眼、皮肤和呼吸道黏膜，损伤支气管、肺和肾，严重时可引起肺水肿。三甲基镓接触皮肤能引起组织破坏和烧伤。吸入高浓度（15mg/m3）气体会中毒。/6硫酸硫酸（化学式：H2SO4），硫的最重要的含氧酸。无水硫酸为无色油状液体，10.36时结晶，通常使用的是它的各种不同浓度的水溶液，用塔式法和接触法制取。前者所得为粗制稀硫酸，质量分数一般在75%左右；后者可得质量分数98.3%的浓硫酸，沸点338，相对密度1.84。与易燃物(如苯)和有机物(如糖、纤维素等)接触会发生剧烈反应，甚至引起燃烧。能与一些活性金属粉末发生反应，放出氢气。遇水大量放热，可发生沸溅。具有强腐蚀性。能腐蚀绝大多数金属和塑料、橡胶及涂料。 LD50：2140mg/kg(大鼠经口) LC50：510mg/m3，2小时(大鼠吸入)；320mg/m3，2小时(小鼠吸入)皮肤接触：脱去污染的衣着，立即用水冲洗至少15分钟。或用2%碳酸氢钠溶液冲洗，就医。眼睛接触：立即提起眼睑，用流动清水或生理盐水冲洗至少15分钟，就医。吸入：迅速脱离现场至空气新鲜处。呼吸困难时给输氧。给予2-4%碳酸氢钠溶液雾化吸入，就医。食入：误服者给牛奶、蛋清、植物油等口服，不可催吐，立即就医。7盐酸盐酸是无色液体（工业用盐酸会因有杂质三价铁盐而略显黄色），为氯化氢的水溶液，具有刺激性气味，一般实验室使用的盐酸为0.1mol/L，pH=1。由于浓盐酸具有挥发性，挥发出的氯化氢气体与空气中的水蒸气作用形成盐酸小液滴，所以会看到白雾。盐酸与水、乙醇任意混溶，浓盐酸稀释有热量放出，氯化氢能溶于苯。浓盐酸（发烟盐酸）会挥发出酸雾。盐酸本身和酸雾都会腐蚀人体组织，可能会不可逆地损伤呼吸器官、眼部、皮肤和胃肠等。皮肤接触：立即脱去污染的衣着，用大量流动清水冲洗至少15分钟，可涂抹弱碱性物质（如碱水、肥皂水等），就医。眼睛接触： 立即提起眼睑，用大量流动清水或生理盐水彻底冲洗至少15分钟。就医。吸入：迅速脱离现场至空气新鲜处。保持呼吸道通畅。如呼吸困难，给输氧。如呼吸停止，立即进行人工呼吸。就医。食入：用大量水漱口，吞服大量生鸡蛋清或牛奶（禁止服用小苏打等药品），就医。8双氧水过氧化氢（hydrogen peroxide），化学式H2O2。纯过氧化氢是淡蓝色的黏稠液体，可任意比例与水混溶，是一种强氧化剂，水溶液俗称双氧水，为无色透明液体。分子量34.01，熔点-0.43、沸点158，密度1.13g/mL健康危害：高浓度过氧化氢有强烈的腐蚀性。吸入该品蒸气或雾对呼吸道有强烈刺激性。眼直接接触液体可致不可逆损伤甚至失明。口服中毒出现腹痛、胸口痛、呼吸困难、呕吐、一时性运动和感觉障碍、体温升高等。LD50：4060mg/kg（大鼠经皮）；LC50 2000mg/m3，4h（大鼠吸入）皮肤接触：脱去被污染的衣着，用大量流动清水冲洗。眼睛接触：立即提起眼睑，用大量流动清水或生理盐水彻底冲洗至少15分钟。就医。吸入：迅速脱离现场至空气新鲜处。保持呼吸道通畅。如呼吸困难，给输氧。如呼吸停止，立即进行人工呼吸。就医。食入：饮足量温水，催吐，就医。9丙酮外观与性状：无色透明易流动液体，有芳香气味，极易挥发。熔点()：-94.6沸点()：56.5相对密度（水=1）：0.788相对蒸气密度（空气=1）：2.00饱和蒸气压(kPa)：53.32(39.5)燃烧热(kJ/mol)：1788.7临界温度()：235.5临界压力(MPa)：4.72引燃温度()：465爆炸下限%(V/V)：2.5爆炸上限%(V/V)：12.8溶解性：与水混溶，可混溶于乙醇、乙醚、氯仿、油类、烃类等多数有机溶剂。健康危害：急性中毒主要表现为对中枢神经系统的麻醉作用，出现乏力、恶心、头痛、头晕、易激动。重者发生呕吐、气急、痉挛，甚至昏迷。对眼、鼻、喉有刺激性。口服后，先有口唇、咽喉有烧灼感，后出现口干、呕吐、昏迷、酸中毒和酮症。燃爆危险：该品极度易燃，具刺激性。急性毒性：LD50: 5800mg/kg(大鼠经口)；20000mg/kg（兔经皮），LC50:无资料皮肤接触：脱去污染的衣着，用肥皂水和清水彻底冲洗皮肤。眼睛接触：提起眼睑，用流动清水或生理盐水冲洗。就医。吸入：迅速脱离现场至空气新鲜处。保持呼吸道通畅。如呼吸困难，给输氧。如呼吸停止，立即进行人工呼吸。就医。食入：饮足量温水，催吐。就医。10异丙醇无色透明液体，有似乙醇和丙酮混合物的气味，能与醇、醚、氯仿和水混溶，能溶解生物碱、橡胶、虫胶、松香、合成树脂等多种有机物和某些无机物，与水形成共沸物，不溶于盐溶液。常温下可引火燃烧，其蒸汽与空气混合易形成爆炸混合物。毒性分级：微毒类急性毒性：口服大鼠LD50:5840mg/kg；口服小鼠LC50:3600mg/kg，家兔经皮LD50为 16.4ml/kg，刺激数据 眼睛-兔子100mg/kg。高浓度蒸气具有明显麻醉作用，对眼、呼吸道的黏膜有刺激作用，能损伤视网膜及视神经。空气中最高容许浓度980mg/m3，工作场所最高容许浓度为1020mg/m3，嗅觉阈浓度1.1mg/m3，操作人员应戴防毒面具，浓度高时应戴气密式防护眼镜。11光阻胶聚甲基丙烯酸甲酯，聚甲基丙烯酸甲酯即有机玻璃，溶于有机溶剂，如苯酚，苯甲醚等，无毒； 单体是甲基丙烯酸甲酯，为无色液体，具有香味，沸点 101，密度为 0.940g/cm3(25）/12去光阻胶无色透明油状液体，微有胺的气味/13显影液乙酸正戊酯，分子式为 C7H14O2， 无色液体，有果子香味。 分子量为130.19， 闪点： -9，熔点： -78.5，沸点： 149.3。LD5016600mg/kg(大鼠经口)； LC505200ppm(大鼠吸入)；人吸入 1000mg/m38 小时，最低刺激浓度。 易燃，其蒸气与空气可形成爆炸性混合物。遇明火、高热能引起燃烧爆炸。与氧化剂能发生强烈反应。其蒸气比空气重，能在较低处扩散到相当远的地方，遇明火会引着回燃。具有腐蚀性。 燃烧（分解）产物：一氧化碳、二氧化碳。皮肤接触：脱去污染的衣着，用肥皂水和清水彻底冲洗皮肤。眼睛接触：提起眼睑，用流动清水或生理盐水冲洗。就医。吸入：迅速脱离现场至空气新鲜处。保持呼吸道通畅。如出现呼吸困难应立即就医处治。食入：如误服入口应立即就医处治。14氢氟酸氟化氢气体的水溶液，清澈，无色、发烟的腐蚀性液体，有剧烈刺激性气味。熔点-83.3，沸点19.54，闪点112.2，密度1.15g/cm。易溶于水、乙醇，微溶于乙醚。本品不燃，但能与大多数金属反应，生成氢气而引起爆炸。遇H发泡剂立即燃烧。腐蚀性极强。皮肤接触： 立即脱去污染的衣着，用大量流动清水冲洗至少15分钟并就医。眼睛接触： 立即提起眼睑，用大量流动清水或生理盐水彻底冲洗至少15分钟。就医。吸入： 迅速脱离现场至空气新鲜处。保持呼吸道通畅。呼吸困难时给输氧，不可进行人工呼吸，可能导致进行人工呼吸者本人吸入氟化氢气体。给予2-4%碳酸氢钠溶液雾化吸入。就医。食入： 用水漱口，给饮牛奶或蛋清。就医。15Au金黄色固体，分子量 196.96，熔点 1064，沸点 2807。在室温下为固体，密度高、柔软、光亮、抗腐蚀，其延展性是已知金属中最高的。其化学性质不活泼，是不活泼的金属元素。常温下不与氧气反应，只有加热和其他工序才能制造氧化金，只能溶于王水，硒酸，高氯酸等腐蚀性较强的物质中。/16氯气Cl，常温常压下为有强烈刺激性气味的黄绿色的气体。氯气密度是空气密度的2.5倍，标况下=3.21kg/m。易液化，熔沸点较低，常温常压下，熔点为-101.00，沸点-34.05，液氯是一种油状的液体，其与氯气物理性质不同，但化学性质基本相同。可溶于水，易溶于有机溶剂（例如：四氯化碳）难溶于饱和食盐水。1体积水在常温下可溶解2体积氯气，形成黄绿色氯水，密度为 3.170g/L，比空气密度大。本品不会燃烧，但可助燃。一般可燃物大都能在氯气中燃烧，一般易燃气体或蒸气也都能与氯气形成爆炸性混合物。氯气能与许多化学品如乙炔、松节油、乙醚、氨、燃料气、烃类、氢气、金属粉末等猛烈反应发生爆炸或生成爆炸性物质。它几乎对金属和非金属都有腐蚀作用。皮肤接触：立即脱出被污染的衣着，用大量流动清水冲洗。就医。眼睛接触：提起眼睑，用流动清水或生理盐水冲洗。就医。吸入：迅速脱离现场至空气新鲜处。呼吸心跳停止时，立即进行人工呼吸和胸外心脏按压术。就医。17三氯化硼分子式为BCl3，分子量为117.19。外观与性状：无色发烟液体或气体，有刺激性酸味，易潮解。分子量：117.19熔 点：-107.3沸点：12.5溶解性：溶于苯、二硫化碳相对密度（水=1）1.43；相对密度（空气=1）4.03化学反应活性很高，遇水发生爆炸性分解。与铜及其合金有可能生成具有爆炸性的氯乙炔。遇潮气时对大多数金属有强腐蚀性，也能腐蚀玻璃等。在潮湿空气中可形成白色的腐蚀性浓厚烟雾。本品不燃，具强腐蚀性，强刺激性，可致人体灼伤。皮肤接触：立即脱去污染的衣着，用大量流动清水冲洗至少15分钟。就医。眼睛接触：立即提起眼睑，用大量流动清水或生理盐水彻底冲洗至少15分钟。就医。吸入：迅速脱离现场至空气新鲜处。保持呼吸道通畅。如呼吸困难，给输氧。呼吸心跳停止时，立即进行人工呼吸。就医。食入：用水漱口，给饮牛奶或蛋清。就医。18笑气化学式N2O，又称笑气，无色有甜味气体，是一种氧化剂，在一定条件下能支持燃烧（同氧气，因为笑气在高温下能分解成氮气和氧气），但在室温下稳定，有轻微麻醉作用，并能致人发笑。熔点-90.8，沸点-88.49，临界温度36.5。一氧化二氮作为吸入麻醉剂在医药上应用已久，现在已经很少用它了。吸入一氧化二氮和空气的混合物，当其中氧浓度很低时可致窒息；吸入80%一氧化二氮和氧气的混合物引致深麻醉，苏醒后一般无后遗作用吸入：迅速脱离现场至空气新鲜处。保持呼吸道通畅。如呼吸困难，给予输氧。如呼吸停止，立即进行人工呼吸。就医。呼吸系统防护：一般不需特殊防护。高浓度接触时可佩戴自吸过滤式防毒面具(半面罩)。眼睛防护：一般不需特殊防护。身体防护：穿一般作业工作服。手防护：戴防化学品手套。其他防护：避免高浓度吸入。进入罐、限制性空间或其他高浓度区作业，须有人监护。19氢氧化钠分子式：NaOH。分子量： 40.01。无色碱性液体。易溶于水、乙醇、甘油，不溶于丙酮不燃，遇水和水蒸气大量放热，形成腐蚀性溶液，具有强腐蚀性。呼吸系统防护：必要时佩带防毒口罩。眼睛防护：戴化学安全防护眼镜。防护服：穿工作服（防腐材料制作）。小心使用，小心溅落到衣物、口鼻中。手防护：戴橡皮手套。其它：工作后，淋浴更衣。注意个人清洁卫生。六、主要设备本项目主要生产设备详见下表。表1-5 本项目主要生产设备一览表类别设备名称数量（台/套）型号备注公辅设备冷水主机2RTHDD2D2E2空调制冷空压机1VT22-8提供压缩空气纯水设备1定制（5t/h）供应纯水变压器6定制调节电压MOCVD尾气处理系统1定制处理MOCVD含氨废气，带20m3氨水储罐1个酸性废气处理系统1定制处理酸性废气碱性废气处理系统1定制处理碱性废气大宗气体供应系统1定制供应氮气、氢气特殊气体供应系统1定制供应氨气、氯气、硅烷、三氯化硼、N2O气体纯化系统1定制氨气、氮气、氢气纯化使用外延生产设备MOCVD3定制生长外延层外延片测试机1定制性能测试芯片生产设备清洗台3定制清洗芯片自动匀胶机1定制涂布光阻胶胶自动光刻机1定制黄光自动显影机1定制显影ICP1定制刻蚀PECVD1定制镀膜O2-Plasma1定制干法去光阻E-beam真空镀膜机1定制蒸镀超声波清洗机1定制清洗去光阻机1定制去光阻点测机1定制测试七、公用工程1、给排水（1）给水：项目用水由柳行街道办事处现有供水管网提供，可以保证连续稳定正常供水。新鲜水a.生活用水：项目劳动定员50人，用水量50L/人d，则生活用水量为2.5m3/d，600m3/a（年生产天数为240天）。b.MOCVD含氨尾气处理系统补充水0.7m3/d，168m3/a（年生产天数为240天）。c.酸性废气处理系统补充水0.2m3/d，48m3/a（年生产天数为240天）。d.碱性废气处理系统用水补充水0.2m3/d，48m3/a（年生产天数为240天）。 e.车间空调恒温系统补充水150m3/d，36000m3/a（年生产天数为240天） 上述四个工序所需新鲜水共计153.6m3/d，36864m3/a。纯水a.芯片生产用水：芯片生产工艺中涉及清洗工序，清洗工序中酸洗过程需要部分纯水、最后一步还需要纯水洗。根据企业提供资料，酸洗过程配制酸液用纯水0.05m3/d，纯水清洗工序用量为19.95m3/d，两项共计20m3/d，4800m3/a（年生产天数为240天）。b.循环冷却水：项目MOCVD外延片生长工艺完成后，需冷却取片，采用循环冷却水冷却。循环冷却系统为闭路循环，企业考虑到采用新鲜水作为循环冷却水时管路内会出现结垢现象，故而采用纯水，纯水中已去除掉钙镁等无机盐离子，不易出现结垢。因为水分的蒸发损耗，每10天补充5m3水（0.5m3/d），每年补充120m3。综上两个工序工序纯水20.5m3/d，4920m3/a。本项目纯水制备能力为5t/h，制水设备的制备工艺如下：图1-4 纯水制备工艺纯水制备效率为75%，则制备20.5m3/d纯水，需要消耗27.3m3/d新鲜水，6552m3/a（年生产天数为240天）。综合两项，项目合计新鲜水用水量为180.9m3/d，43416m3/a。（2）排水：项目排水采用雨污分流制。雨水经厂区现有的雨水管网，排出厂外。职工生活污水产生量2.0m3/d（480m3/a），生活污水经化粪池滞留收集后排入市政污水管网送高新区第二污水处理厂处理。 车间空调恒温系统补充水全部蒸发损耗。 MOCVD含氨尾气处理系统用水吸收氨气，吸收液即为氨水，尾气处理系统可设定吸收液浓度，达到系统设定浓度8%后，该部分氨水（177.8t/a）委托滕州祥润化工有限公司合理化利用。注：三甲基镓和硅烷（除去与笑气反应消耗的硅烷）在外延生长分别与氨气反应共计消耗氨气约30kg/a，由于参加反应的氨气的输入属于大大过量的状态，绝大部分氨气进入尾气中，氨气进入含氨尾气处理系统，该系统为三级水吸收塔，吸收后泵入氨水储罐（20m3）。则根据企业提供资料每天需通入氨气60kg，共计14400kg/a，进入尾气的氨气为14370kg，99%（14226.3kg/a）被吸收变为碱性废水，则产生碱性废水的量为177.8t/a，其中含新鲜水163.6t/a酸性废气处理系统（控制pH67）吸收酸性气体，废水中主要含有的污染物为盐类、氟化物；同理碱性废气处理系统（控制pH78）吸收碱性气体，废水中主要含有的污染物为盐类。防止系统结垢堵塞，系统设置TDS（溶解性总固体）检测装置，在TDS2000的情况下排放。根据企业提供资料，平均酸性废气处理系统排水量为0.1m3/d、碱性废气处理系统排水量为0.1m3/d，二者共计48m3/a。该部分废水收集至负一层废水箱内，委托有相关废水处理能力的单位处理。纯水制备系统排放废水6.8m3/d（1632m3/a），该部分水主要含有钙镁离子等，排入污水管网，送入高新区第二污水处理厂处理。芯片生产工序中酸洗部分消耗的纯水0.05m3/d（12m3/a）进入废酸液中，收集后交有资质单位处理。纯水清洗工序在清洗时芯片表面已采用氮气吹干，污染物含量很低，该部分废水（19m3/d，4560m3/a）排入污水管网，与其他各项废水一同送入高新区第二污水处理厂处理。本项目污水总排放量为6672m3/a。表1-6 项目给、排水平衡一览表项目给水量排水量处理方式m3/dm3/am3/dm3/a生活用水2.56002.0480排入管网，送高新区第二污水处理厂处理车间空调恒温系统补充水1503600000/MOCVD含氨尾气处理系统补充水0.71680.68163.6委托滕州祥润化工有限公司合理化利用酸性废气处理系统补充水0.2480.124委托有相关废水处理能力的单位处理碱性废气处理系统补充水0.2480.124纯水制备27.365526.81632排入管网，送高新区第二污水处理厂处理1945600.0512进入废酸中，作为危废委托有资质单位处理合计30.9741628.686895.6/注：上表中代表纯水制备系统本身的排水量，为芯片生产过程纯水清洗过程产生的废水，为芯片生产过程进入酸液作为危废处理的排水量。项目给排水平衡图如下：图1-5 项目水平衡图 m3/a2、用电项目生产、办公均采用电能。项目电源使用现有供电线路供电，变压器总容量5430KVA，共6台，年用电量917万kWh。3、供热本项目生活办公及生产均使用电能，不建锅炉等燃煤、生物质设施。4、其他职工人数：本项目职工人数为50人。工作制度：项目全年生产时间为240天，实行8h工作制。七、项目选址及建设可行性分析1、项目与产业政策符合性分析本项目为远山新材料产业园项目实验车间建设项目，属于产业结构调整指导目录（2011年本）（2013年修正）中的鼓励类第二十八条、信息产业“22、半导体、光电子器件、新型电子元器件等电子产品用材料 ”，符合国家的产业政策。2、项目选址与区域规划的符合性本项目位济宁市高新区海川路9号，本次为实验车间建设项目，在该处进行外延片及芯片生产工艺的研究实验，符合高新区总体规划。（附件：柳行街道办事处出具的证明） 3、建设项目与限制用地项目目录和禁止用地项目目录符合性分析本项目系租赁济宁高新控股集团有限公司用房，不占基本农田用地，项目区用地为工业用地，根据限制用地项目目录（2012年本）和禁止用地项目目录（2012年本），本项目的建设不属于限制用地和禁止用地范围。（附件：租赁协议）4、“三线一单”相符性分析结合关于以改善环境质量为核心加强环境影响评价管理的通知（环环评2016150 号）要求，本项目与生态保护红线、环境质量底线、资源利用上线和环境准入负面清单符合性分析情况如下：（1）生态保护红线根据济宁市生态保护红线规划（2016-2020），本项目不在济宁市生态保护红线范围内。本项目距离泗河兖州段生物多样性维护、水源涵养生态保护红线区，最近距离为330m。项目中心坐标：东经116.701056、北纬35.430175，不在上述生态保护红线区范围内，符合山东省生态保护红线规划（2016-2020 年）要求。（详见附图1-6：泗河兖州段以东水源涵养、生物多样性维护生态保护红线区）（2）环境质量底线根据 公布的环境质量资料，济宁市环境质量良好。该项目运营过程中会产生一定的污染物，如废气、污水、噪声、固废等，采取相应的污染防治措施后， 各类污染物能够做到达标排放或零排放，不会对周围环境造成不良影响，不会降低当地环境质量。（3）资源利用上线本项目运营过程中主要用水为生活用水及生产用水，依托市政供水管网；项目原辅材料均为外购，本项目不会突破当地资源利用上线。（4）环境准入负面清单济宁高新区规划主导产业包括工程机械与园区配套园、吟龙片区、创新创业园、科技新城商业文化配套中心、电子信息产业软件园、汽车及零件部园、滨河片区、蓼河新城片区、新兴产业园、水博园以及洸河片区。本项目属于产业结构调整指导目录（2011年本）（2013年修正）中的鼓励类第二十八条、信息产业“22、半导体、光电子器件、新型电子元器件等电子产品用材料 ”，符合高新区产业政策，不在区域投资项目负面清单范围内，可按程序办理环评审批。综上所述，本项目符合“三线一单”的要求。5、项目与关于以改善环境质量为核心加强环境影响评价管理的通知（环环评2016150号）符合性分析 本项目与关于以改善环境质量为核心加强环境影响评价的通知（环评2016150号）符合性分析见表1-7。 表1-7 本项目与环环评2016150号文符合情况序号具体要求本工程情况符合性1生态保护红线是生态空间范围内具有特殊重要生态功能必须实行强制性严格保护的区域。相关规划环评应将生态空间管控作为重要内容，规划区域涉及的生态保护红线的，在规划环评结论和审查意见中应落实生态保护红线的管理要求，提出相应对策措施。除受自然条件限制、确实无法避让的铁路、公路、航道、防洪、管道、干渠、通讯、输变电等重要基础设施项目外，在生态保护红线范围内，严控各类开发建设活动，依法不予审批新建工业项目和矿产开发项目的环评文件。项目区周边最近生态保护红线区为泗河兖州段生物多样性维护、水源涵养生态保护红线区，直线距离约330m，不在生态保护红线范围内。符合2环境质量底线是国家和地方设置的大气、水和土壤环境质量目标，也是改善环境质量的基准线。有关规划环评应落实区域环境质量目标管理要求，提出区域或者行业污染物排放总量管控建议以及优化区域或行业发展布局、结构和规模的对策措施。项目环评应对照区域环境质量目标，深入分析预测项目建设对环境质量的影响，强化污染防治措施和污染物排放控制要求。本项目已对照区域环境质量目标，深入分析预测项目建设对环境质量的影响，强化污染防治措施和污染物排放控制要求符合3资源是环境的载体，资源利用上线是各地区能源、水、土地等资源消耗不得突破的“天花板”。相关规划环评应依据有关资源利用上线，对规划实施以及规划内项目的资源开发利用，区分不同行业，从能源资源开发等量或减量替代、开采方式和规模控制、利用效率和保护措施等方面提出建议，为规划编制和审批决策提供重要依据。本项目所在地资源完全能够满足本项目需求符合4环境准入负面清单是基于生态保护红线、环境质量底线和资源利用上线，以清单方式列出的禁止、限制等差别化环境准入条件和要求。要在规划环评清单式管理试点的基础上，从布局选址、资源利用效率、资源配置方式等方面入手，制定环境准入负面清单，充分发挥负面清单对产业发展和项目准入的指导和约束作用。本项目不属于环境准入负面清单所列项目符合6、本项目与重点流域水污染防治规划（2016-2020年）符合性分析根据重点流域水污染防治规划(2016-2020年)（环水体2017142号），拟建项目所在济宁市属于重点流域中的淮河流域。本项目与该规划的符合情况见表1-8。表1-8 项目与重点流域水污染防治规划(2016-2020年)的符合性分析要求符合性（一）促进产业转型发展严格环境准入。根据控制单元水质目标和主体功能区规划要求，细化功能分区，实施差别化环境准入政策。江苏太湖流域停止审批增加氮磷污染物排放的新建工业项目，沿江地区严格限制新建高污染化工项目，沿海地区严格控制新建医药、农药和染料中间体项目；提高贵州乌江、清水江流域新建磷化工项目磷石膏综合利用率；福建闽江水口电站以上流域范围禁止新建、扩建制革项目，严控新建、扩建植物制浆、印染项目，九龙江北溪江东北引桥闸以上、西溪桥闸以上流域范围禁止新建、扩建造纸、制革、电镀、漂染行业工业项目。拟建项目为远山新材料产业园项目实验车间建设项目，不在以上禁止新建项目之列。优化空间布局。新建企业原则上均应建在工业集聚区。推进企业向依法合规设立、环保设施齐全、符合规划环评要求的工业集聚区集中，并实施工业集聚区生态化改造。七大重点流域干流及一级支流沿岸，切实开展石油加工、化学原料和化学品制造、医药制造、化学纤维制造、有色金属冶炼、纺织印染等重点行业企业的空间分布优化，合理布局生产装置及危险化学品仓储等设施。造纸、印染等重点行业主要分布区域新建、改建、扩建该行业项目要实行污染物排放减量置换。有序推进产业梯度转移，强化承接产业转移区域的环境监管。完善工业园区污水集中处理设施。实行“清污分流、雨污分流”，实现废水分类收集、分质处理，入园企业应在达到国家或地方规定的排放标准后接入集中式污水处理设施处理，园区集中式污水处理设施总排口应安装自动监控系统、视频监控系统，并与环境保护主管部门联网。强化水环境承载能力约束作用。建立水环境承载能力监测评价体系，实行承载能力监测预警，已超过承载能力的地区要统筹衔接水污染物排放总量和水功能区限制纳污总量，实施水污染物削减方案，加快调整发展规划和产业结构。现状水质劣于类的优先控制单元全部实施行业内新建项目重点污染物排放减量置换。黄河流域湟水河、渭河、汾河等重要支流要控制造纸、煤炭和石油开采、氮肥化工、煤化工及金属冶炼等行业发展速度和经济规模。项目不属于造纸、印染等重污染项目。全面取缔“十小”企业。全面排查装备水平低、环保设施差的小型工业企业。按照水污染防治法律法规要求，以广东省电镀、四川省造纸、河北省制革、山西省炼焦等为重点，全部取缔不符合国家产业政策的小型造纸、制革、印染、染料、炼焦、炼硫、炼砷、炼油、电镀、农药等严重污染水环境的生产项目。项目为远山新材料产业园项目实验车间建设项目，不属于“十小”企业。（二）提升工业清洁生产水平依法实施强制性清洁生产审核。以区域性特征行业为重点，鼓励污染物排放达到国家或者地方排放标准的企业自愿开展清洁生产审核。2017 年底前，造纸行业力争完成纸浆无元素氯漂白改造或采取其他低污染制浆技术，钢铁企业焦炉完成干熄焦技术改造，氮肥行业尿素生产完成工艺冷凝液水解解析技术改造，印染行业实施低排水染整工艺改造，制药（抗生素、维生素）行业实施绿色酶法生产技术改造，制革行业实施铬减量化技术改造。本项目不属于实施强制性清洁生产审核的行业。（三）实施工业污染源全面达标排放计划加强工业污染源排放情况监管。2018 年底前，各地完成所有行业污染物排放情况评估工作，全面排查工业污染源超标排放、偷排偷放等问题。根据区域污染排放特点与环境质量改善要求，逐步实现将所有工业污染源纳入在线监控范围，及时发现超标排放行为。深化网格化监管制度，将监管责任落实到具体责任人，全面落实“双随机”制度，加强日常环境执法工作。本项目为新建项目，外排废水经管网排入高新区第二污水处理厂处理，可达标排放。酸碱废气处理系统排水收集后交有处理能力的单位处理；MOCVD外延废气处理产生的废氨水委托滕州祥润化工有限公司合理化利用。加大超标排放整治力度。对超标和超总量的企业予以“黄牌”警示，一律限制生产或停产整治，明确落实整改的措施、责任和时限；对整治仍不能达到要求且情节严重的企业予以“红牌”处罚，依法提请地方人民政府责令限期停业、关闭；对城市建成区内污染超标企业实施有序搬迁改造或依法关闭。持续保持环境执法高压态势，依法严肃查处偷排偷放、数据造假、屡查屡犯的企业；对涉嫌犯罪的人员，依法移送司法机关；及时向社会公布违法企业及其法人和主要责任人名单、违法事实和处罚措施等信息，充分发挥负面典型案例的震慑警示作用。地方各级环保部门根据关于对环境保护领域失信生产经营单位及其有关人员开展联合惩戒的合作备忘录（发改财金20161580号）的要求，加强与相关部门的协调配合，依法依规对违法排污单位及相关人员实施联合惩戒。“十三五”期间，每年分季度向社会公布“黄牌”和“红牌