JJF 1739-2019 数字式激光球面干涉仪校准规范

中华人民共和国国家计量技术规范 JJF17392019 数字式激光球面干涉仪校准规范 CalibrationSpecificationforDigitalLaserSphericalInterferometers 2019-09-27发布 2019-12-27实施 国 家 市 场 监 督 管 理 总 局 发 布 JJF17392019数字式激光球面干涉仪校准规范 CalibrationSpecificationforDigital JJF1739 2019 LaserSphericalInterferometers 归 口 单 位 全国几何量工程参量计量技术委员会 : 主要起草单位 中国科学院光电技术研究所 : 中国测试技术研究院 参加起草单位 中国计量科学研究院 : 苏州慧利仪器有限责任公司 本规范委托全国几何量工程参量计量技术委员会负责解释 JJF17392019本规范主要起草人 : 侯 溪 中国科学院光电技术研究所 ( ) 全海洋 中国科学院光电技术研究所 ( ) 冉 庆 中国测试技术研究院 ( ) 宋伟红 中国科学院光电技术研究所 ( ) 参加起草人 : 康岩辉 中国计量科学研究院 ( ) 韩 森 苏州慧利仪器有限责任公司 ( ) JJF17392019 目 录 引言 () 范围1 (1) 引用文件2 (1) 术语和定义3 (1) 面形偏差3.1 (1) 峰谷值3.2 (1) 值3.3 PVr (1) 球面元件F 数3.4 (1) 概述4 (1) 计量特性5 (2) 示值误差5.1 (2) 测量重复性5.2 (2) 校准条件6 (2) 环境条件6.1 (2) 校准用标准器6.2 (2) 校准项目和校准方法7 (3) 示值误差7.1 (3) 测量重复性7.2 (5) 校准结果表达8 (5) 复校时间间隔9 (5)附录 值 A PVr (6)附录 三位置法公式推导 B (7)附录 数字式激光球面干涉仪直接比较法校准不确定度评定示例 C (9)附录 数字式激光球面干涉仪三位置法校准不确定度评定示例 D (11)附录 校准证书信息及内页格式 E (15) JJF17392019 引 言 本规范的编写以 国家计量校准规范编写规则 JJF10712010 、JJF10012011 通用计 量 术 语 及 定 义 和 测 量 不 确 定 度 评 定 与 表 示 为 基 础 和 JJF1059.12012 依据 。 本规范为首次发布 。 JJF17392019 数字式激光球面干涉仪校准规范 1 范围 本规范适用于数字式激光球面干涉仪的校准 。 2 引用文件 本规范引用了下列文件 : 平面等厚干涉仪校准规范 JJF11002016 光学零件的面形偏差 GB/T28312009 光学和光子学 光学元件和光学系统的干涉测量 第 部分 ISO14999-4:2015 4 : 规定的公差说明和评估ISO10110 (OpticsandphotonicsInterferometricmeasurement ofopticalelementsandopticalsystemsPart4:Interpretationandevaluationoftoler- ancesspecifiedinISO10110) 凡是注日期的引用文件 仅注日期的版本适用于本规范 凡是不注日期的引用文 , ; 件 其最新版本 包括所有的修改单 适用本规范 , ( ) 。 3 术语和定义 界定的及以下术语和定义适用于本规范 GB/T28312009、ISO14999-4:2015 。 面形偏差 3.1 surfaceformdeviation 被测光学表面相对于参考光学表面的偏差 。 峰谷值 3.2 peak-to-valley(PV)value 面形偏差最大值减去最小值 简称 值 , PV 。 值 3.3 PVr robustpeak-to-valley(PVr)value 面形偏差的 项 多项式拟合面 值加上 倍拟合残差 面形偏差减去 36 Zernike PV 3 ( 项 多项式拟合面 的均方根值 36 Zernike ) 。 注: 多项式定义按 : 附录 标准定义。 Zernike ISO14999-4 2015 B 球面元件F 数 F 3.4 numberofsphericaloptics 球面曲率半径与通光口径的比值 。 注:被测球面元件F 数应当小于或等于数字式激光球面干涉仪球面镜头F 数,才能实现数字式 激光球面干涉仪全口径校准。建议选取F 数最接近 (略小于)被校准数字式激光球面干涉仪球面镜 头F 数的被测球面元件,同时光腔长度应尽可能短以提升测量重复性。 4 概述 数字式激光球面