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文档简介

研究生系列课程-半导体微纳加工技术,MEMS典型器件介绍,主要内容：MEMS概述MEMS典型器件,1,研究生系列课程-半导体微纳加工技术,-Micro-electro-mechanical-system微电子机械系统-把信息传感、处理，机械执行机构以及其他一些微器件，按照集成电路的制造原则，以高密度，低成本的方式集成在一个微系统中。,什么是MEMS?,2,MEMS的主要特点,MEMS器件的优点是体积小、重量轻、性能稳定，通过IC等工艺可批量生产，成本低，性能一致性好，功耗低，谐振频率高，响应时间短，综合集成度高，附加值高，具有多种能量转化、传输等功能，包括力、热、声、磁及化学、生物能等。微机电学作为一门新兴的交叉学科，涉及到许多科学技术领域，包括机械学、电工学、电子学、化学、计算机科学、材料学、通讯、控制等方面。研究人员需要对这些学科领域有广泛的、深入的了解，微机电系统才有可能逐步走向应用。,3,MEMS工艺的可重复性MEMS产品性能的稳定性和可靠性MEMS产品的成品率MEMS产品的封装和测试MEMS器件与电路集成形成微系统,MEMS发展面临的机遇和挑战,4,惯性MEMS器件RFMEMS器件NEMS器件和新型材料MEMS器件,MEMS器件的发展,5,惯性MEMS器件在汽车业中的应用（包括微陀螺、加速度计、压力传感器）,研究生系列课程-半导体微纳加工技术,研究生系列课程-半导体微纳加工技术,6,MEMS分类,OpticalMEMSBio-MEMSSensorsActuatorsNano-ToolsMicro-Fluidics,7,研究生系列课程-半导体微纳加工技术,研究生系列课程-半导体微纳加工技术,微型传感器,8,加速度传感器,9,Accelerometer,Sensefingers,Anchor,Proofmass,Springs,Self-test,actuators,Curlmatchingframe,proofmass,y,x,z,Tri-axismicrostage,Thin-filmz-axisaccelerometer,DRIEz-axisaccelerometer,10,微陀螺仪,J.Micromech.Microeng.18(2008)115014N-CTsaiandC-YSue,11,研究生系列课程-半导体微纳加工技术,研究生系列课程-半导体微纳加工技术,微型执行器,12,研究生系列课程-半导体微纳加工技术,研究生系列课程-半导体微纳加工技术,微型电磁马达,13,研究生系列课程-半导体微纳加工技术,研究生系列课程-半导体微纳加工技术,ElectrostaticMotors,14,研究生系列课程-半导体微纳加工技术,研究生系列课程
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