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文档简介

CF制程简介,1,课程内容,课程目标,了解CF基本制程了解CFCOA生产流程,1.CF定义及作用2.CF结构介绍及说明3.制程流程说明4.CFCOA生产流程介绍,2,Part1.CF定义及作用,3,CF(ColorFilter)即：彩色滤光片。是组合TFT-LCD其中的一个零组件，其主要的功能是让液晶显示器能产生彩色画面，若无彩膜，则看到的电视显示将是黑白的。,4,Part2.CF结构介绍,5,众所周知，自然界的三原色为红、绿、蓝，通过对三原色进行混色，并调整其亮度(灰阶)可以呈现不同的色彩。,6,BM：黑色矩阵，用来掩挡漏光PS：感光间隙子，用来支撑与维持Cellgap均匀ITO：用来作CF侧通用电极RGB：起主要作用的RGB三种色阻分布排列,7,Part3.制程流程说明,8,BM制程包括：玻璃清洗BM光阻涂布真空干燥预烘烤与冷却紫外线曝光显影烘烤。,9,RGBLayer为相似制程，与BM相同，区别在于所用光阻及曝光用的光罩不同。RLayer红色光阻涂布,10,GLayer绿色光阻涂布,11,BLayer蓝色光阻涂布,12,ITO制程为物理溅镀过程，包括前清洗ITO溅镀后洗净烘烤,13,Part4.CFCOA生产流程介绍,14,PS是在CF与Array基板中支撑Cellgap的柱状pattern。有一定的弹性回复力，可以承担一定的压力。PS呈透明状，减少对
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