电子厂房洁净室系统ppt课件

.1,电子厂洁净室系统简介,.2,大纲,HJTC/R介紹,洁净室系统型式,为何需要CleanRoom,洁净室的定义洁净等级定义制程线宽与洁净度之关系,CleanRoom之环境因子,影响C/R洁净度的环境因子,风管系统FFU系統轴流风机系统,架构表及主要系统介绍Layout说明MAU与空气循环系统,.3,洁净室的定义,洁净室为将一定空间范围内之空气中的微尘粒子、有害空气、细菌等之污染物排除，并将室内之温湿度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音震动及照明、静电控制在某一需求范围内，而给于特别设计之房间以符合制程工艺之需求,.4,洁净等级,.5,制程线宽与洁净度之关系,.6,污染物大小,.7,影响C/R洁净度之环境因子,温度湿度压力微尘粒子照度微振动噪声静电化学物质,.8,洁净室空调系统型式,风管系统FFU系統轴流风机系统,以风管输送洁净空气循环空调箱兼处理外气,天花空间为微负压气室独立设置外气空调箱,天花空间为正压气室独立设置外气空调箱,.9,风管系统(循环空调箱兼处理外气),洁净度、温度及湿度控制,.10,FFU系統(独立设置外气空调箱),洁净度控制,温度控制,湿度控制,温度控制,.11,轴流风机系统(独立设置外气空调箱),洁净度控制,温度控制,湿度控制,温度控制,.12,架构表及主要系统设备介绍,LIGHTINGSPEAKERFFUHARMONICMAU&DCBANK&HARMONICFILTERHVACMONITORFFUMONITORION.SYS.FMS,ARCH,HVAC,FIREPROTECTION,ELEC/CONTROL,ELEC,CHEMICAL,C/R,HVAC,DI,ARCH,HJTFAB8NPROJECT,P-P,EPOXYCOATINGRAISEDFLOORCEILINGGRIDSYS.PARTITIONAIRSHWOR/AIRLOCKTOOLFOUNDATIONVIRBRATIONDEFENCE,MAUSYS.FFUSYS2ndCHWDRYCOILAIRWASHERSYS.,FIRESPRINKLERDESMOKESYS.ADRANCEDETECTORSYS.AIRSAMPLINGSYS.,CDAPCWPVHVBAIW,.13,HJTC/R主要洁净需求,CleanlinessTemperatureHumidity,100230.5455%RH,1000232455%RH,0.1230.5455%RH,100002324510%RH,.14,电子厂平面配置概念图,FAB2,FAB1,SB,OB,CUB,WH,.15,SUBFAB（MASKSHOP),.16,RAP,.17,FAB、SB3F、G/R,.18,TRUSS、SB4F-TESTAREA,.19,电子厂剖面概念图,RAISEDFLOOR,COIL,COIL,DESMOKEFAN,DESMOKEFAN,.20,MAU+空气循环系统,外气空调箱功能压力之控制湿度之控制外气微尘粒之预处理气态分子之控制,空气循环系统功能洁净度之控制溫度之控制湿度