特殊气体供应系统ppt课件

特殊气体介绍,.,Pressureunit:（压力单位）psig表压，psia绝对压力psia=psig+14.71bar=105Pa=1.0197Kg/cm2=14.504psi=0.987atm1atm=14.7psiFlowrateunit:（流量单位）sccm毫升/分钟slpm升/分钟1slpm=1000sccmS表示标准状态，即：1大气压，20。Weightunit:（重量单位）1Kg=2.2Lbs,压力/重量单位,.,化学品及企业标识:化学品名称,企业名称,企业应急电话等危险性概述:危险性类别(8大类)，侵入途径，健康危害等急救措施:皮肤接触，眼睛接触，吸入等消防措施:危险特性，有害燃烧产物，灭火方法及灭火剂，灭火注意事项等泄露应急处理:应急处理和消除方法等操作处置与储存:操作注意事项，储存注意事项等接触控制/个体防护:最高容许浓度TLV，呼吸系统防护,眼睛防护，身体防护等理化特性:PH值，沸点（），相对蒸气密度（空气=1）等废弃处置：废弃物性质，废弃处置方法，废弃注意事项等法规信息：国内化学品安全管理法规，国际法规等,MSDS物质安全资料表,.,SMIC的特殊气体分为四种:惰性气体毒性气体腐蚀性气体可燃性/毒性气体,气体的定义,.,在SMIC总共有41种特殊气体:14种惰性气体CF4,CHF3,C4F8,C2F6,SF6,CO2,C3F8,0.5%O2/He,20%O2/N2,30%O2/He,1.2%Kr/Ne,1.2%He/N2,100ppmXe/Ar/Ne,99.5%He/N26种毒性气体SiH4,1%PH3/N2,1%PH3/H2,CO,0.7%AsH3/H2，B2H68种腐蚀性气体ClF3,NH3,SiF4,HCl,Cl2,HBr,0.9%F2/1.2%Kr/Ne,0.9%F2/3.5%Ar/Ne10种可燃性/毒性气体NO,SiH2Cl2(DCS),N2O,NF3,10%CH4/Ar,CH3F,CH2F2,C4F6,4%H2/N2,5%H2/He,CH4Sub-Fab(腐蚀性)C5F8,BCl3和WF6,气体的定义,.,气体房包括CQC(连续质量控制)房,纯化器房,惰性气体房,毒性气体房,腐蚀性气体房和可燃性/毒性气体房.气体房布置图如附件:,气体房布置图,.,特殊气体通过气瓶柜输送到特殊气体分配器VMB/VMP,然后送到机台端给制程用特使气体供应系统包括3部分:气瓶柜气体供应的源头,供应稳定压力的气体VMB/VMP气体分配器,装有阀门来控制每一路气体管道机台特殊气体的最终用户,特使气体供应系统,.,G/C气瓶柜,VMB/VMP,Tools机台,1stFloorGasRoom1楼气体房,2ndFloorSub-Fab2楼次洁净室,3rdFloorCleanRoom3楼洁净室,特殊气体供应流程图,.,气体房,.,FAB1特气气瓶柜,.,气瓶柜流程图(AirLiquid),.,所有气瓶柜在零中断的情况下自动切换,在紧急情况下会自动停止供气.我们也可在必要条件下手动操作气瓶柜.,气瓶柜,.,对高压的气体,我们使用压力传感器来监测气瓶内气体的状况.当气瓶压力达到低设定时,气瓶会从一侧切到另一侧,同时也会释放出警报.当送气压力达到低设定时,气瓶也会从一侧切到另一侧.,气瓶柜,.,对液态的气体,我们用磅秤来监测气瓶内气体的状况.当气瓶压力达到低设定时,气瓶会从一侧切到另一侧,同时也会释放出警报.当磅秤出现问题时,气瓶也会根据气瓶压力的状况从一侧切到另一侧.,气瓶柜,.,FAB2BSGS大宗特殊气体供应包括:CO2,C2F6,N2O,NF3,SiH4Y气瓶供应包括:CO2,C2F6,N2O气瓶组供应包括:NF3,SiH4,FAB2大宗特殊气体供应简介,.,大宗特殊气体供应-Y气瓶,.,大宗特殊气体供应-气瓶组,.,在SMIC,共有6种气体需要安装双套管:SiH4,CO,1%PH3/N2,1%PH3/H2,0.7%AsH3/H2,ClF3因此类气体比其它的气体更具危险性,所以我们使用双套管来确保安全.针对ClF3这种特气,因为需要加热,但真空是绝热的,所以我们在内外套管之间通入70psi的PN2来传热.,特殊气体双套管,.,双层管示意图,通常,在双套管的中央应保持负压.我们在双套管的中央安装一块压力表,当压力表的压力上升时,说明内管中的真实气体有泄漏.,特殊气体双套管,.,特殊气体供应系统介绍,由于WF6和ClF3这二种气体的腐蚀性特强，如果在新的管路中注入纯度很高的这类气体，它们会破坏管路的内表面。所以，我们先用N2和它们进行混合后，再注入管路中，让新的管路适应这类气体