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厂务系统概述,0.电子厂名言,0.电子厂名言,唯一的不变就是永远在变唯一确定的就是还没决定所以接下来介绍的在现场都不是绝对的,1.厂务系统功能,1.1水系统在制程中的功能,1.2气体系统在制程中的功能,1.3化学系统在制程中的功能,1.4真空系统在制程中的功能,1.5排气/排水系统在制程中的功能,2.厂务系统使用材质,2.1水系统使用材质,2.2气体系统使用材质-(除特气外机台端都可能用Teflon软管),2.3化学系统使用材质,2.4真空系统使用材质,PumpLine制程高真空,SUS316BA/EP,GEX一般排气,镀锌螺旋风管,2.5排气系统使用材质,Solvent有机排气,SUS304全焊式不锈钢风管,Acid/Ak酸碱排气,不锈钢TeflonCoating风管(Tefpass),2.6排水系统使用材质,Drain一般排水,PVC/PVCSCH80,Solvent有机排水,SUS304不锈钢管,Acid/Ak酸碱排水,PVCSCH80/PVDF/PTFE/PFA,3.厂务系统流程,3.1制程冷却水系统简略流程,3.2冰水系统简略流程,3.3纯水系统简略流程,3.4自来水/回收水系统简略流程,3.5CDA/GN2/PN2系统简略流程,3.6其他大宗气体/特气系统简略流程,3.7高真空/排气系统简略流程,3.8真空系统简略流程,3.9化学系统简略流程,3.10
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